12 அங்குல SIC அடி மூலக்கூறு சிலிக்கான் கார்பைடு பிரைம் தர விட்டம் 300மிமீ பெரிய அளவு 4H-N உயர் சக்தி சாதன வெப்பச் சிதறலுக்கு ஏற்றது
தயாரிப்பு பண்புகள்
1. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 3 மடங்கு அதிகமாகும், இது அதிக சக்தி சாதன வெப்பச் சிதறலுக்கு ஏற்றது.
2. அதிக முறிவு புல வலிமை: முறிவு புல வலிமை சிலிக்கானை விட 10 மடங்கு அதிகம், இது உயர் அழுத்த பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
3.அகலமான பட்டை இடைவெளி: பட்டை இடைவெளி 3.26eV (4H-SiC), அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அதிர்வெண் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
4. அதிக கடினத்தன்மை: மோஸ் கடினத்தன்மை 9.2, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை.
5. வேதியியல் நிலைத்தன்மை: வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான சூழலில் நிலையான செயல்திறன்.
6. பெரிய அளவு: 12 அங்குல (300மிமீ) அடி மூலக்கூறு, உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துதல், அலகு செலவைக் குறைத்தல்.
7.குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி: குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் அதிக நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கான உயர்தர ஒற்றை படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம்.
தயாரிப்பு முக்கிய பயன்பாட்டு திசை
1. பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்:
மோஸ்ஃபெட்டுகள்: மின்சார வாகனங்கள், தொழில்துறை மோட்டார் டிரைவ்கள் மற்றும் மின் மாற்றிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
டையோட்கள்: ஷாட்கி டையோட்கள் (SBD) போன்றவை, திறமையான திருத்தம் மற்றும் மின் விநியோகங்களை மாற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
2. Rf சாதனங்கள்:
Rf சக்தி பெருக்கி: 5G தொடர்பு அடிப்படை நிலையங்கள் மற்றும் செயற்கைக்கோள் தொடர்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மைக்ரோவேவ் சாதனங்கள்: ரேடார் மற்றும் வயர்லெஸ் தொடர்பு அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது.
3. புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள்:
மின்சார இயக்கி அமைப்புகள்: மின்சார வாகனங்களுக்கான மோட்டார் கட்டுப்படுத்திகள் மற்றும் இன்வெர்ட்டர்கள்.
சார்ஜிங் பைல்: வேகமாக சார்ஜ் செய்யும் கருவிகளுக்கான பவர் மாட்யூல்.
4. தொழில்துறை பயன்பாடுகள்:
உயர் மின்னழுத்த இன்வெர்ட்டர்: தொழில்துறை மோட்டார் கட்டுப்பாடு மற்றும் ஆற்றல் மேலாண்மைக்கு.
ஸ்மார்ட் கிரிட்: HVDC டிரான்ஸ்மிஷன் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் டிரான்ஸ்பார்மர்களுக்கு.
5. விண்வெளி:
உயர் வெப்பநிலை மின்னணுவியல்: விண்வெளி உபகரணங்களின் உயர் வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
6. ஆராய்ச்சித் துறை:
புதிய குறைக்கடத்தி பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் மேம்பாட்டிற்கான பரந்த பட்டை இடைவெளி குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சி.
12-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு என்பது உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக முறிவு புல வலிமை மற்றும் பரந்த பட்டை இடைவெளி போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்ட ஒரு வகையான உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பொருள் அடி மூலக்கூறு ஆகும். இது மின் மின்னணுவியல், ரேடியோ அதிர்வெண் சாதனங்கள், புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள், தொழில்துறை கட்டுப்பாடு மற்றும் விண்வெளி ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அடுத்த தலைமுறை திறமையான மற்றும் உயர் சக்தி மின்னணு சாதனங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதற்கான ஒரு முக்கிய பொருளாகும்.
சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள் தற்போது AR கண்ணாடிகள் போன்ற நுகர்வோர் மின்னணு சாதனங்களில் குறைவான நேரடி பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருந்தாலும், திறமையான மின் மேலாண்மை மற்றும் மினியேட்டரைஸ் செய்யப்பட்ட மின்னணு சாதனங்களில் அவற்றின் திறன் எதிர்கால AR/VR சாதனங்களுக்கான இலகுரக, உயர் செயல்திறன் கொண்ட மின் விநியோக தீர்வுகளை ஆதரிக்கக்கூடும். தற்போது, சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறின் முக்கிய வளர்ச்சி புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள், தகவல் தொடர்பு உள்கட்டமைப்பு மற்றும் தொழில்துறை ஆட்டோமேஷன் போன்ற தொழில்துறை துறைகளில் குவிந்துள்ளது, மேலும் குறைக்கடத்தித் துறையை மிகவும் திறமையான மற்றும் நம்பகமான திசையில் உருவாக்க ஊக்குவிக்கிறது.
XKH விரிவான தொழில்நுட்ப ஆதரவு மற்றும் சேவைகளுடன் உயர்தர 12 "SIC அடி மூலக்கூறுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, அவற்றுள்:
1. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உற்பத்தி: வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு எதிர்ப்புத் திறன், படிக நோக்குநிலை மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை அடி மூலக்கூறை வழங்க வேண்டும்.
2. செயல்முறை உகப்பாக்கம்: தயாரிப்பு செயல்திறனை மேம்படுத்த எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, சாதன உற்பத்தி மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கான தொழில்நுட்ப ஆதரவை வாடிக்கையாளர்களுக்கு வழங்குதல்.
3. சோதனை மற்றும் சான்றிதழ்: அடி மூலக்கூறு தொழில்துறை தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்ய கடுமையான குறைபாடு கண்டறிதல் மற்றும் தர சான்றிதழை வழங்குதல்.
4. ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு ஒத்துழைப்பு: தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளை ஊக்குவிக்க வாடிக்கையாளர்களுடன் இணைந்து புதிய சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களை உருவாக்குதல்.
தரவு விளக்கப்படம்
1 2 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறு விவரக்குறிப்பு | |||||
தரம் | ZeroMPD உற்பத்தி தரம் (Z தரம்) | நிலையான உற்பத்தி தரம் (பி தரம்) | போலி தரம் (டி தரம்) | ||
விட்டம் | 3 0 0 மிமீ~305 மிமீ | ||||
தடிமன் | 4எச்-என் | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI க்கு | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
வேஃபர் நோக்குநிலை | அச்சுக்கு வெளியே: 4.0° நோக்கி <1120 >±0.5° 4H-N, அச்சில்: <0001> 4H-SIக்கு ±0.5° | ||||
நுண்குழாய் அடர்த்தி | 4எச்-என் | ≤0.4செ.மீ-2 | ≤4 செ.மீ-2 | ≤25செ.மீ-2 | |
4H-SI க்கு | ≤5செ.மீ-2 | ≤10செ.மீ-2 | ≤25செ.மீ-2 | ||
மின்தடை | 4எச்-என் | 0.015~0.024 Ω·செ.மீ. | 0.015~0.028 Ω·செ.மீ. | ||
4H-SI க்கு | ≥1E10 Ω·செ.மீ. | ≥1E5 Ω·செ.மீ. | |||
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | {10-10} ±5.0° | ||||
முதன்மை தட்டையான நீளம் | 4எச்-என் | பொருந்தாது | |||
4H-SI க்கு | உச்சநிலை | ||||
விளிம்பு விலக்கு | 3 மிமீ | ||||
எல்டிவி/டிடிவி/வில்/வார்ப் | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
கரடுமுரடான தன்மை | போலிஷ் Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | ரா≤0.5 நானோமீட்டர் | ||||
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் விளிம்பு விரிசல்கள் அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் ஹெக்ஸ் தட்டுகள் அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் பாலிடைப் பகுதிகள் காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள் அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு கீறல்கள் | யாரும் இல்லை ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.05% யாரும் இல்லை ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.05% யாரும் இல்லை | ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ 20 மிமீ, ஒற்றை நீளம் ≤2 மிமீ ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.1% ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤3% ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤3% ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1× வேஃபர் விட்டம் | |||
உயர் அடர்த்தி ஒளியால் எட்ஜ் சிப்ஸ் | எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை ≥0.2மிமீ அகலம் மற்றும் ஆழம் | 7 அனுமதிக்கப்பட்டவை, ஒவ்வொன்றும் ≤1 மிமீ | |||
(TSD) த்ரெட்டிங் ஸ்க்ரூ இடப்பெயர்வு | ≤500 செ.மீ-2 | பொருந்தாது | |||
(BPD) அடிப்பகுதி தள இடப்பெயர்வு | ≤1000 செ.மீ-2 | பொருந்தாது | |||
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு | யாரும் இல்லை | ||||
பேக்கேஜிங் | மல்டி-வேஃபர் கேசட் அல்லது ஒற்றை வேஃபர் கொள்கலன் | ||||
குறிப்புகள்: | |||||
1 விளிம்பு விலக்கு பகுதியைத் தவிர, முழு வேஃபர் மேற்பரப்பிற்கும் குறைபாடு வரம்புகள் பொருந்தும். 2 கீறல்கள் Si முகத்தில் மட்டுமே சரிபார்க்கப்பட வேண்டும். 3 இடப்பெயர்ச்சி தரவு KOH பொறிக்கப்பட்ட செதில்களிலிருந்து மட்டுமே. |
பெரிய அளவு, குறைந்த குறைபாடுகள் மற்றும் அதிக நிலைத்தன்மை கொண்ட 12-அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளின் முன்னேற்றத்தை ஊக்குவிப்பதற்காக XKH தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டில் முதலீடு செய்யும், அதே நேரத்தில் XKH நுகர்வோர் மின்னணுவியல் (AR/VR சாதனங்களுக்கான மின் தொகுதிகள் போன்றவை) மற்றும் குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங் போன்ற வளர்ந்து வரும் பகுதிகளில் அதன் பயன்பாடுகளை ஆராய்கிறது. செலவுகளைக் குறைத்து திறனை அதிகரிப்பதன் மூலம், XKH குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு செழிப்பைக் கொண்டுவரும்.
விரிவான வரைபடம்


