கேரியருக்கான 156மிமீ 159மிமீ 6 இன்ச் சபையர் வேஃபர்C-பிளேன் டிஎஸ்பி டிடிவி
விவரக்குறிப்பு
பொருள் | 6-இன்ச் சி-பிளேன்(0001) சபையர் வேஃபர்ஸ் | |
கிரிஸ்டல் பொருட்கள் | 99,999%, உயர் தூய்மை, மோனோகிரிஸ்டலின் Al2O3 | |
தரம் | பிரைம், எபி-ரெடி | |
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை | சி-பிளேன்(0001) | |
M-அச்சு 0.2 +/- 0.1° நோக்கி சி-பிளேன் ஆஃப்-ஆங்கிள் | ||
விட்டம் | 100.0 மிமீ +/- 0.1 மிமீ | |
தடிமன் | 650 μm +/- 25 μm | |
முதன்மை பிளாட் நோக்குநிலை | சி-பிளேன்(00-01) +/- 0.2° | |
சிங்கிள் சைட் பாலிஷ் | முன் மேற்பரப்பு | எபி-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட, Ra <0.2 nm (AFM மூலம்) |
(SSP) | பின் மேற்பரப்பு | நல்ல நிலம், Ra = 0.8 μm முதல் 1.2 μm வரை |
டபுள் சைட் பாலிஷ் | முன் மேற்பரப்பு | எபி-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட, Ra <0.2 nm (AFM மூலம்) |
(டிஎஸ்பி) | பின் மேற்பரப்பு | எபி-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட, Ra <0.2 nm (AFM மூலம்) |
டிடிவி | < 20 μm | |
வில் | < 20 μm | |
போர் | < 20 μm | |
சுத்தம் / பேக்கேஜிங் | 100 ஆம் வகுப்பு க்ளீன்ரூம் சுத்தம் மற்றும் வெற்றிட பேக்கேஜிங், | |
ஒரு கேசட் பேக்கேஜிங்கில் 25 துண்டுகள் அல்லது ஒற்றை துண்டு பேக்கேஜிங். |
கைலோபோலோஸ் முறை (KY முறை) தற்போது சீனாவில் பல நிறுவனங்களால் மின்னணு மற்றும் ஒளியியல் தொழில்களில் பயன்படுத்த நீலக்கல் படிகங்களை உற்பத்தி செய்ய பயன்படுத்தப்படுகிறது.
இந்த செயல்பாட்டில், உயர் தூய்மையான அலுமினிய ஆக்சைடு 2100 டிகிரி செல்சியஸுக்கு மேல் வெப்பநிலையில் ஒரு சிலுவையில் உருகப்படுகிறது. பொதுவாக சிலுவை டங்ஸ்டன் அல்லது மாலிப்டினத்தால் ஆனது. ஒரு துல்லியமாக சார்ந்த விதை படிகம் உருகிய அலுமினாவில் மூழ்கியுள்ளது. விதை படிகம் மெதுவாக மேல்நோக்கி இழுக்கப்படுகிறது மற்றும் ஒரே நேரத்தில் சுழற்றப்படலாம். வெப்பநிலை சாய்வு, இழுக்கும் வீதம் மற்றும் குளிரூட்டும் வீதம் ஆகியவற்றை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், உருகியதில் இருந்து ஒரு பெரிய, ஒற்றை-படிக, கிட்டத்தட்ட உருளை இங்காட்டை உருவாக்க முடியும்.
ஒற்றை படிக சபையர் இங்காட்கள் வளர்ந்த பிறகு, அவை உருளை கம்பிகளில் துளையிடப்படுகின்றன, பின்னர் அவை விரும்பிய சாளர தடிமனுக்கு வெட்டப்பட்டு இறுதியாக விரும்பிய மேற்பரப்பு பூச்சுக்கு மெருகூட்டப்படுகின்றன.