2 இன்ச் SiC இங்காட் Dia50.8mmx10mmt 4H-N மோனோகிரிஸ்டல்

சுருக்கமான விளக்கம்:

2 அங்குல SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) இங்காட் என்பது 2 அங்குல விட்டம் அல்லது விளிம்பு நீளம் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உருளை அல்லது தொகுதி வடிவ ஒற்றைப் படிகத்தைக் குறிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு இங்காட்கள் பவர் எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கான தொடக்கப் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம்

SiC இன் பண்புகள் ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதை கடினமாக்குகின்றன. வளிமண்டல அழுத்தத்தில் Si : C = 1 : 1 இன் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதத்துடன் திரவ கட்டம் இல்லை என்பதும், நேரடி வரைதல் முறை மற்றும் மிகவும் முதிர்ந்த வளர்ச்சி முறைகள் மூலம் SiC ஐ வளர்க்க முடியாது என்பதும் இதற்கு முக்கிய காரணமாகும். குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் முக்கிய அம்சங்களான வீழ்ச்சி குரூசிபிள் முறை. கோட்பாட்டளவில், Si : C = 1 : 1 இன் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் விகிதத்துடன் கூடிய ஒரு தீர்வு, அழுத்தம் 10E5atm ஐ விட அதிகமாகவும், வெப்பநிலை 3200℃ ஐ விட அதிகமாகவும் இருக்கும்போது மட்டுமே பெற முடியும். தற்போது, முக்கிய முறைகளில் PVT முறை, திரவ-நிலை முறை மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை நீராவி-கட்ட இரசாயன படிவு முறை ஆகியவை அடங்கும்.

நாங்கள் வழங்கும் SiC செதில்கள் மற்றும் படிகங்கள் முக்கியமாக இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) மூலம் வளர்க்கப்படுகின்றன, மேலும் PVT பற்றிய சுருக்கமான அறிமுகம் பின்வருமாறு:

இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) முறையானது 1955 இல் லீலி கண்டுபிடித்த வாயு-கட்ட பதங்கமாதல் நுட்பத்திலிருந்து உருவானது, இதில் SiC தூள் ஒரு கிராஃபைட் குழாயில் வைக்கப்பட்டு, SiC தூள் சிதைந்து விழுமியமாக்குவதற்கு அதிக வெப்பநிலைக்கு சூடேற்றப்பட்டது, பின்னர் கிராஃபைட் குழாய் குளிர்விக்கப்படுகிறது, மேலும் SiC தூளின் சிதைந்த வாயு-கட்ட கூறுகள் கிராஃபைட் குழாயின் சுற்றியுள்ள பகுதியில் SiC படிகங்களாக டெபாசிட் செய்யப்பட்டு படிகமாக்கப்படுகின்றன. இந்த முறையானது பெரிய அளவிலான SiC ஒற்றை படிகங்களைப் பெறுவது கடினம் மற்றும் கிராஃபைட் குழாயின் உள்ளே படிவு செயல்முறையைக் கட்டுப்படுத்துவது கடினம் என்றாலும், இது அடுத்தடுத்த ஆராய்ச்சியாளர்களுக்கு யோசனைகளை வழங்குகிறது.

YM தைரோவ் மற்றும் பலர். ரஷ்யாவில் இந்த அடிப்படையில் விதை படிகத்தின் கருத்தை அறிமுகப்படுத்தியது, இது SiC படிகங்களின் கட்டுப்பாடற்ற படிக வடிவம் மற்றும் அணுக்கரு நிலை ஆகியவற்றின் சிக்கலைத் தீர்த்தது. அடுத்தடுத்த ஆராய்ச்சியாளர்கள் தொடர்ந்து மேம்படுத்தி, இறுதியில் இன்று தொழில்துறையில் பயன்படுத்தப்படும் உடல் நீராவி பரிமாற்ற (PVT) முறையை உருவாக்கினர்.

ஆரம்பகால SiC படிக வளர்ச்சி முறையாக, PVT தற்போது SiC படிகங்களுக்கான மிக முக்கிய வளர்ச்சி முறையாகும். மற்ற முறைகளுடன் ஒப்பிடுகையில், இந்த முறை வளர்ச்சி உபகரணங்கள், எளிய வளர்ச்சி செயல்முறை, வலுவான கட்டுப்பாடு, முழுமையான மேம்பாடு மற்றும் ஆராய்ச்சி ஆகியவற்றிற்கான குறைந்த தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் ஏற்கனவே தொழில்மயமாக்கப்பட்டுள்ளது.