3 அங்குல 76.2 மிமீ 4H-அரை SiC அடி மூலக்கூறு வேஃபர் சிலிக்கான் கார்பைடு அரை-அவமானப்படுத்தும் SiC வேஃபர்கள்
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு
3-அங்குல 4H அரை-காப்பிடப்பட்ட SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) அடி மூலக்கூறு வேஃபர்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்திப் பொருளாகும். 4H என்பது டெட்ராஹெக்ஸாஹெட்ரல் படிக அமைப்பைக் குறிக்கிறது. அரை-காப்பு என்பது அடி மூலக்கூறு அதிக எதிர்ப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்னோட்ட ஓட்டத்திலிருந்து ஓரளவு தனிமைப்படுத்தப்படலாம் என்பதைக் குறிக்கிறது.
இத்தகைய அடி மூலக்கூறு செதில்கள் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன: அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த கடத்தல் இழப்பு, சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை. சிலிக்கான் கார்பைடு பரந்த ஆற்றல் இடைவெளியைக் கொண்டிருப்பதாலும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக மின்சார புல நிலைமைகளைத் தாங்கக்கூடியதாலும், 4H-SiC அரை-காப்பிடப்பட்ட செதில்கள் சக்தி மின்னணுவியல் மற்றும் ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
4H-SiC அரை-காப்பிடப்பட்ட வேஃபர்களின் முக்கிய பயன்பாடுகள் பின்வருமாறு:
1--பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்: 4H-SiC வேஃபர்களைப் பயன்படுத்தி MOSFETகள் (மெட்டல் ஆக்சைடு செமிகண்டக்டர் ஃபீல்ட் எஃபெக்ட் டிரான்சிஸ்டர்கள்), IGBTகள் (இன்சுலேட்டட் கேட் பைபோலார் டிரான்சிஸ்டர்கள்) மற்றும் ஷாட்கி டையோட்கள் போன்ற பவர் ஸ்விட்சிங் சாதனங்களை தயாரிக்கலாம். இந்த சாதனங்கள் அதிக மின்னழுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் குறைந்த கடத்தல் மற்றும் ஸ்விட்சிங் இழப்புகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் அதிக செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன.
2--ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) சாதனங்கள்: 4H-SiC அரை-இன்சுலேட்டட் வேஃபர்களைப் பயன்படுத்தி அதிக சக்தி, அதிக அதிர்வெண் RF சக்தி பெருக்கிகள், சிப் ரெசிஸ்டர்கள், வடிகட்டிகள் மற்றும் பிற சாதனங்களை உருவாக்கலாம். சிலிக்கான் கார்பைடு அதன் பெரிய எலக்ட்ரான் செறிவூட்டல் சறுக்கல் விகிதம் மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக சிறந்த உயர்-அதிர்வெண் செயல்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
3--ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்: 4H-SiC அரை-இன்சுலேட்டட் வேஃபர்களைப் பயன்படுத்தி உயர்-சக்தி லேசர் டையோடுகள், UV ஒளி கண்டறிதல் கருவிகள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை தயாரிக்கலாம்.
சந்தை திசையைப் பொறுத்தவரை, பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், RF மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறைகள் வளர்ந்து வருவதால் 4H-SiC அரை-இன்சுலேட்டட் வேஃபர்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு ஆற்றல் திறன், மின்சார வாகனங்கள், புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் மற்றும் தகவல் தொடர்பு உள்ளிட்ட பல்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருப்பதே இதற்குக் காரணம். எதிர்காலத்தில், 4H-SiC அரை-இன்சுலேட்டட் வேஃபர்களுக்கான சந்தை மிகவும் நம்பிக்கைக்குரியதாக உள்ளது மற்றும் பல்வேறு பயன்பாடுகளில் வழக்கமான சிலிக்கான் பொருட்களை மாற்றும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
விரிவான வரைபடம்


