4 அங்குல SiC வேஃபர்ஸ் 6H அரை-இன்சுலேட்டிங் SiC அடி மூலக்கூறுகள் முதன்மை, ஆராய்ச்சி மற்றும் போலி தரம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தின் வளர்ச்சிக்குப் பிறகு வெட்டுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டுதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பிற செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் அரை-காப்பீடு செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு உருவாகிறது. ஒரு அடுக்கு அல்லது பல அடுக்கு படிக அடுக்கு அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கப்படுகிறது, அது எபிடாக்ஸியாக தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது, பின்னர் மைக்ரோவேவ் RF சாதனம் சுற்று வடிவமைப்பு மற்றும் பேக்கேஜிங் ஆகியவற்றை இணைப்பதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. 2inch 3inch 4incgh 6inch 8 inch தொழில்துறை, ஆராய்ச்சி மற்றும் சோதனை தர அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை கிரிஸ்டல் அடி மூலக்கூறுகளாக கிடைக்கிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு

தரம்

ஜீரோ MPD உற்பத்தி தரம் (Z கிரேடு)

நிலையான உற்பத்தி தரம்(பி கிரேடு)

போலி கிரேடு (டி கிரேடு)

 
விட்டம் 99.5 மிமீ~100.0 மிமீ  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
வேஃபர் நோக்குநிலை  

 

ஆஃப் அச்சு : 4.0° நோக்கி< 1120 > ±0.5° க்கு 4H-N, ஆன் அச்சில் : <0001>±0.5° க்கு 4H-SI

 
  4H-SI

≤1செ.மீ-2

≤5 செ.மீ-2

≤15 செ.மீ-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
முதன்மை பிளாட் நோக்குநிலை

{10-10} ±5.0°

 
முதன்மை பிளாட் நீளம் 32.5 மிமீ ± 2.0 மிமீ  
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நீளம் 18.0 மிமீ ± 2.0 மிமீ  
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நோக்குநிலை

சிலிக்கான் முகம்: 90° CW. பிரைம் பிளாட் ±5.0° இலிருந்து

 
எட்ஜ் விலக்கு

3 மி.மீ

 
LTV/TTV/Bow/Warp ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

முரட்டுத்தனம்

சி முகம்

    போலிஷ் Ra≤1 nm

சி முகம்

CMP Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

உயர் தீவிர ஒளி மூலம் விளிம்பு விரிசல்

இல்லை

ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ 10 மிமீ, ஒற்றை

நீளம்≤2 மிமீ

 
ஹெக்ஸ் தட்டுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம் ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05% ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.1%  
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள்

இல்லை

ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%  
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள் ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05% ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤3%  
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு கீறல்கள்  

இல்லை

ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1*செதில் விட்டம்  
தீவிர ஒளி மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் உயர் ≥0.2 மிமீ அகலம் மற்றும் ஆழம் எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை 5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ஒவ்வொன்றும் ≤1 மிமீ  
அதிக தீவிரத்தினால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு

இல்லை

 
பேக்கேஜிங்

மல்டி-வேஃபர் கேசட் அல்லது ஒற்றை வேஃபர் கொள்கலன்

 

விரிவான வரைபடம்

விரிவான வரைபடம் (1)
விரிவான வரைபடம் (2)

  • முந்தைய:
  • அடுத்து:

  • உங்கள் செய்தியை இங்கே எழுதி எங்களுக்கு அனுப்பவும்