4 அங்குல SiC வேஃபர்கள் 6H செமி-இன்சுலேட்டிங் SiC அடி மூலக்கூறுகள் பிரைம், ஆராய்ச்சி மற்றும் போலி தரம்

குறுகிய விளக்கம்:

அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தின் வளர்ச்சியின் பின்னர் வெட்டுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பிற செயலாக்க தொழில்நுட்பம் மூலம் அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு உருவாகிறது. எபிடாக்ஸியாக தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் அடி மூலக்கூறில் ஒரு அடுக்கு அல்லது பல அடுக்கு படிக அடுக்கு வளர்க்கப்படுகிறது, பின்னர் மைக்ரோவேவ் RF சாதனம் சுற்று வடிவமைப்பு மற்றும் பேக்கேஜிங்கை இணைப்பதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. 2 அங்குலம் 3 அங்குலம் 4 அங்குலம் 6 அங்குலம் 8 அங்குல தொழில்துறை, ஆராய்ச்சி மற்றும் சோதனை தர அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறுகளாகக் கிடைக்கிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு

தரம்			பூஜ்ஜிய MPD உற்பத்தி தரம் (Z தரம்)			நிலையான உற்பத்தி தரம் (பி தரம்)		போலி தரம் (D தரம்)
விட்டம்			99.5 மிமீ~100.0 மிமீ
	4H-SI க்கு		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
வேஃபர் நோக்குநிலை			அச்சுக்கு வெளியே: 4.0° நோக்கி< 1120 > ±0.5° 4H-N, அச்சில்: <0001> 4H-SIக்கு ±0.5°
	4H-SI க்கு		≤1 செ.மீ.^-2			≤5 செ.மீ.^-2		≤15 செ.மீ.^-2
	4H-SI க்கு		≥1E9 Ω·செ.மீ.					≥1E5 Ω·செ.மீ.
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை		{10-10} ±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்		32.5 மிமீ±2.0 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்		18.0 மிமீ±2.0 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை		சிலிக்கான் முகப்பு மேல்நோக்கி: 90° CW. பிரைம் பிளாட் ±5.0° இலிருந்து
விளிம்பு விலக்கு		3 மிமீ
எல்டிவி/டிடிவி/வில்/வார்ப்		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
கரடுமுரடான தன்மை			சி முகம்				போலிஷ்		ரா≤1 நானோமீட்டர்
			முகம்	சி.எம்.பி.	ரா≤0.2 நானோமீட்டர்					ரா≤0.5 நானோமீட்டர்
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் விளிம்பு விரிசல்கள்		யாரும் இல்லை						ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ 10 மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2 மிமீ
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் ஹெக்ஸ் தட்டுகள்		ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.05%						ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.1%
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் பாலிடைப் பகுதிகள்		யாரும் இல்லை						ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤3%
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள்		ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤0.05%						ஒட்டுமொத்த பரப்பளவு ≤3%
அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஒளியால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு கீறல்கள்		யாரும் இல்லை						ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1＊ வேஃபர் விட்டம்
எட்ஜ் சிப்ஸ் ஹை பை இன்டென்சிட்டி லைட்		எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை ≥0.2 மிமீ அகலம் மற்றும் ஆழம்						5 அனுமதிக்கப்பட்டவை, ஒவ்வொன்றும் ≤1 மிமீ
அதிக தீவிரத்தால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு		யாரும் இல்லை
பேக்கேஜிங்		மல்டி-வேஃபர் கேசட் அல்லது ஒற்றை வேஃபர் கொள்கலன்