4 அங்குல அரை-அவமானகரமான SiC வேஃபர்கள் HPSI SiC அடி மூலக்கூறு பிரைம் உற்பத்தி தரம்
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) என்பது கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் ஆகிய தனிமங்களால் ஆன ஒரு கூட்டு குறைக்கடத்திப் பொருளாகும், மேலும் இது உயர் வெப்பநிலை, உயர் அதிர்வெண், உயர் சக்தி மற்றும் உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கான சிறந்த பொருட்களில் ஒன்றாகும். பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருளுடன் (Si) ஒப்பிடும்போது, சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தடைசெய்யப்பட்ட பட்டை அகலம் சிலிக்கானை விட மூன்று மடங்கு அதிகம்; வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 4-5 மடங்கு அதிகம்; முறிவு மின்னழுத்தம் சிலிக்கானை விட 8-10 மடங்கு அதிகம்; மற்றும் எலக்ட்ரான் செறிவூட்டல் சறுக்கல் விகிதம் சிலிக்கானை விட 2-3 மடங்கு அதிகம், இது உயர் சக்தி, உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் ஆகியவற்றிற்கான நவீன தொழில்துறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது, மேலும் இது முக்கியமாக அதிவேக, உயர் அதிர்வெண், உயர் சக்தி மற்றும் ஒளி உமிழும் மின்னணு கூறுகளை உருவாக்கப் பயன்படுகிறது, மேலும் அதன் கீழ்நிலை பயன்பாட்டுப் பகுதிகளில் ஸ்மார்ட் கிரிட், புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள், ஒளிமின்னழுத்த காற்றாலை, 5G தொடர்புகள் போன்றவை அடங்கும். மின் சாதனங்களின் துறையில், சிலிக்கான் கார்பைடு டையோட்கள் மற்றும் MOSFETகள் வணிக ரீதியாகப் பயன்படுத்தத் தொடங்கியுள்ளன.
SiC வேஃபர்கள்/SiC அடி மூலக்கூறின் நன்மைகள்
அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தடைசெய்யப்பட்ட பட்டை அகலம் சிலிக்கானை விட 2-3 மடங்கு அதிகம், எனவே எலக்ட்ரான்கள் அதிக வெப்பநிலையில் குதிக்கும் வாய்ப்பு குறைவு மற்றும் அதிக இயக்க வெப்பநிலையைத் தாங்கும், மேலும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 4-5 மடங்கு அதிகம், இது சாதனத்திலிருந்து வெப்பத்தை வெளியேற்றுவதை எளிதாக்குகிறது மற்றும் அதிக வரம்புக்குட்பட்ட இயக்க வெப்பநிலையை அனுமதிக்கிறது. உயர் வெப்பநிலை பண்புகள் சக்தி அடர்த்தியை கணிசமாக அதிகரிக்கலாம், அதே நேரத்தில் வெப்பச் சிதறல் அமைப்புக்கான தேவைகளைக் குறைத்து, முனையத்தை மிகவும் இலகுவாகவும் மினியேச்சரைஸ் செய்யவும் உதவும்.
உயர் மின்னழுத்த எதிர்ப்பு. சிலிக்கான் கார்பைடின் முறிவு புல வலிமை சிலிக்கானை விட 10 மடங்கு அதிகம், இது அதிக மின்னழுத்தங்களைத் தாங்க உதவுகிறது, இதனால் உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.
உயர் அதிர்வெண் எதிர்ப்பு. சிலிக்கான் கார்பைடு சிலிக்கானை விட இரண்டு மடங்கு செறிவூட்டல் எலக்ட்ரான் சறுக்கல் விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது, இதன் விளைவாக அதன் சாதனங்கள் பணிநிறுத்த செயல்பாட்டில் தற்போதைய இழுவை நிகழ்வில் இல்லை, சாதன மாறுதல் அதிர்வெண்ணை திறம்பட மேம்படுத்தி, சாதன மினியேச்சரைசேஷனை அடைய முடியும்.
குறைந்த ஆற்றல் இழப்பு. சிலிக்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது சிலிக்கான் கார்பைடு மிகக் குறைந்த ஆன்-ரெசிஸ்டன்ஸைக் கொண்டுள்ளது, குறைந்த கடத்தல் இழப்பு; அதே நேரத்தில், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அதிக அலைவரிசை கசிவு மின்னோட்டத்தையும், மின் இழப்பையும் கணிசமாகக் குறைக்கிறது; கூடுதலாக, பணிநிறுத்த செயல்பாட்டில் உள்ள சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்கள் தற்போதைய இழுவை நிகழ்வில் இல்லை, குறைந்த மாறுதல் இழப்பு.
விரிவான வரைபடம்
