6 இன்ச் N-வகை அல்லது P-வகை சிலிக்கான் செதில் CZ Si செதில்
செதில் பெட்டி அறிமுகம்
சிலிக்கான் செதில்களின் விவரக்குறிப்புகள்:
6 இன்ச் சிலிக்கான் செதில் வளர்ச்சி: CZ, MCZ, FZ.
6 சிலிக்கான் வேஃபர் கிரேடு: பிரைம், டெஸ்ட், டம்மி போன்றவை
6 இன்ச் சிலிக்கான் செதில் விட்டம்: 6 இன்ச்/150 மிமீ.
6 இன்ச் சிலிக்கான் செதில் தடிமன்: 200~ 3000um.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் பினிஷ்: கட், லேப்ட், எட்ச், எஸ்எஸ்பி, டிஎஸ்பி போன்றவை.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் நோக்குநிலை: (100) (111) (110) (531) (553) போன்றவை.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் ஆஃப் கட்: 4 டிகிரி வரை.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் வகை/டோபண்ட்: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் ரெசிஸ்டிவிட்டி: CZ/MCZ: 0.001 முதல் 1000 ஓம்-செ.மீ. FZ: 20k ஓம்-செமீ வரை.
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் மெல்லிய படங்கள்: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. போன்றவை, பூச்சு தடிமன் 20.000A/5% வரை.
(b)LPCVD/PECVD: ஆக்சைடு, நைட்ரைடு, siC, முதலியன,200.000A/3% வரை பூச்சு தடிமன்.
(c) சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்கள் மற்றும் எபிடாக்சியல் சேவைகள் (SOS, GaN, GOI போன்றவை).
6 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் செயல்முறைகள்: a.DSP, அல்ட்ரா மெல்லிய, அல்ட்ரா பிளாட் போன்றவை.
பி.குறைத்தல், முதுகு அரைத்தல், டைசிங், போன்றவை. MEMS.
2010 முதல், ஷாங்காய் XKH மெட்டீரியல் டெக். கோ., லிமிடெட் வாடிக்கையாளர்களுக்கு விரிவான 4-இன்ச் வேஃபர் சிலிக்கான் வேஃபர் தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, பிழைத்திருத்த நிலை செதில்கள் டம்மி வேஃபர், சோதனை நிலை வேஃபர்கள் டெஸ்ட் வேஃபர், தயாரிப்பு நிலை வேஃபர்கள் பிரைம் வேஃபர், அத்துடன் சிறப்பு வேஃபர்கள், ஆக்சைடு வேஃபர்ஸ் ஆக்சைடு, நைட்ரைடு செதில்கள் Si3N4, அலுமினியம் பூசப்பட்ட செதில்கள், செப்பு முலாம் பூசப்பட்ட சிலிக்கான் செதில்கள், SOI வேஃபர், MEMS கண்ணாடி, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அல்ட்ரா-தடிமனான மற்றும் அல்ட்ரா-பிளாட் செதில்கள் போன்றவை. டைசிங், MEMS மற்றும் பிற செயலாக்க மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்.