6 இன்ச் SiC Epitaxiy வேஃபர் N/P வகை ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டது

6inch SiC Epitaxiy wafer N/P வகை ஏற்றுக்கொள்ளும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பிரத்யேக படம்

குறுகிய விளக்கம்:

ஒரு 4, 6, 8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வேஃபர் மற்றும் எபிடாக்சியல் ஃபவுண்டரி சேவைகள், உற்பத்தி (600V~3300V) மின் சாதனங்கள் SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT மற்றும் பல.

600V முதல் 3300V வரை SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO & IGBT உள்ளிட்ட பவர் சாதனங்களின் புனைகதைகளுக்கு 4-இன்ச் மற்றும் 6-இன்ச் SiC எபிடாக்சியல் செதில்களை வழங்க முடியும்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வேஃபரின் தயாரிப்பு செயல்முறை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி ஒரு முறையாகும்.பின்வருபவை தொடர்புடைய தொழில்நுட்பக் கொள்கைகள் மற்றும் தயாரிப்பு செயல்முறை படிகள்:

தொழில்நுட்பக் கொள்கை:

இரசாயன நீராவி படிவு: வாயு கட்டத்தில் மூலப்பொருளான வாயுவைப் பயன்படுத்தி, குறிப்பிட்ட எதிர்வினை நிலைமைகளின் கீழ், அது சிதைந்து, தேவையான மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகிறது.

வாயு-கட்ட எதிர்வினை: பைரோலிசிஸ் அல்லது விரிசல் எதிர்வினை மூலம், வாயு கட்டத்தில் உள்ள பல்வேறு மூலப்பொருள் வாயுக்கள் எதிர்வினை அறையில் வேதியியல் ரீதியாக மாற்றப்படுகின்றன.

தயாரிப்பு செயல்முறை படிகள்:

அடி மூலக்கூறு சிகிச்சை: எபிடாக்சியல் செதில்களின் தரம் மற்றும் படிகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு சுத்தம் மற்றும் முன் சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படுகிறது.

எதிர்வினை அறை பிழைத்திருத்தம்: எதிர்வினை நிலைகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் கட்டுப்பாட்டை உறுதிப்படுத்த, எதிர்வினை அறை மற்றும் பிற அளவுருக்களின் வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் ஓட்ட விகிதத்தை சரிசெய்யவும்.

மூலப்பொருள் வழங்கல்: தேவையான வாயு மூலப்பொருட்களை எதிர்வினை அறைக்குள் வழங்குதல், தேவைக்கேற்ப ஓட்ட விகிதத்தைக் கலந்து கட்டுப்படுத்துதல்.

எதிர்வினை செயல்முறை: எதிர்வினை அறையை சூடாக்குவதன் மூலம், விரும்பிய வைப்புத்தொகையை, அதாவது சிலிக்கான் கார்பைடு படலத்தை உருவாக்க, வாயு மூலப்பொருள் அறையில் இரசாயன எதிர்வினைக்கு உட்படுகிறது.

குளிர்வித்தல் மற்றும் இறக்குதல்: எதிர்வினையின் முடிவில், வெப்பநிலை படிப்படியாகக் குறைக்கப்பட்டு, எதிர்வினை அறையில் உள்ள வைப்புகளை குளிர்வித்து திடப்படுத்துகிறது.

எபிடாக்சியல் வேஃபர் அனீலிங் மற்றும் பிந்தைய செயலாக்கம்: டெபாசிட் செய்யப்பட்ட எபிடாக்சியல் செதில் அதன் மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்காக அனீல் செய்யப்பட்டு பிந்தைய செயலாக்கம் செய்யப்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் செதில் தயாரிப்பு செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட படிகள் மற்றும் நிபந்தனைகள் குறிப்பிட்ட உபகரணங்கள் மற்றும் தேவைகளைப் பொறுத்து மாறுபடலாம்.மேற்கூறியவை ஒரு பொதுவான செயல்முறை ஓட்டம் மற்றும் கொள்கை மட்டுமே, குறிப்பிட்ட செயல்பாடு உண்மையான சூழ்நிலைக்கு ஏற்ப சரிசெய்யப்பட்டு மேம்படுத்தப்பட வேண்டும்.