6 அங்குல SiC எபிடாக்ஸி வேஃபர் N/P வகை தனிப்பயனாக்கப்பட்டதை ஏற்றுக்கொள்கிறது

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வேஃபர் தயாரிப்பு செயல்முறை என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். பின்வருவன தொடர்புடைய தொழில்நுட்பக் கொள்கைகள் மற்றும் தயாரிப்பு செயல்முறை படிகள்:

தொழில்நுட்பக் கொள்கை:

வேதியியல் நீராவி படிவு: குறிப்பிட்ட எதிர்வினை நிலைமைகளின் கீழ், வாயு கட்டத்தில் மூலப்பொருள் வாயுவைப் பயன்படுத்தி, அது சிதைக்கப்பட்டு, விரும்பிய மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க அடி மூலக்கூறில் படிகிறது.

வாயு-கட்ட வினை: பைரோலிசிஸ் அல்லது விரிசல் வினை மூலம், வாயு கட்டத்தில் உள்ள பல்வேறு மூலப்பொருள் வாயுக்கள் வினை அறையில் வேதியியல் ரீதியாக மாற்றப்படுகின்றன.

தயாரிப்பு செயல்முறை படிகள்:

அடி மூலக்கூறு சிகிச்சை: எபிடாக்சியல் வேஃபரின் தரம் மற்றும் படிகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு சுத்தம் மற்றும் முன் சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படுகிறது.

எதிர்வினை அறை பிழைத்திருத்தம்: எதிர்வினை அறையின் வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் ஓட்ட விகிதம் மற்றும் பிற அளவுருக்களை சரிசெய்து, எதிர்வினை நிலைமைகளின் நிலைத்தன்மையையும் கட்டுப்பாட்டையும் உறுதி செய்தல்.

மூலப்பொருள் வழங்கல்: தேவையான எரிவாயு மூலப்பொருட்களை எதிர்வினை அறைக்குள் வழங்குதல், தேவைக்கேற்ப ஓட்ட விகிதத்தைக் கலந்து கட்டுப்படுத்துதல்.

எதிர்வினை செயல்முறை: வினை அறையை சூடாக்குவதன் மூலம், வாயு மூலப்பொருள் அறையில் ஒரு வேதியியல் வினைக்கு உட்படுகிறது, இது விரும்பிய படிவை உருவாக்குகிறது, அதாவது சிலிக்கான் கார்பைடு படலம்.

குளிர்வித்தல் மற்றும் இறக்குதல்: வினையின் முடிவில், வெப்பநிலை படிப்படியாகக் குறைக்கப்பட்டு வினை அறையில் உள்ள படிவுகளை குளிர்வித்து திடப்படுத்துகிறது.

எபிடாக்சியல் வேஃபர் அனீலிங் மற்றும் பிந்தைய செயலாக்கம்: டெபாசிட் செய்யப்பட்ட எபிடாக்சியல் வேஃபர் அதன் மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்காக அனீல் செய்யப்பட்டு பிந்தைய செயலாக்கப்படுகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வேஃபர் தயாரிப்பு செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட படிகள் மற்றும் நிபந்தனைகள் குறிப்பிட்ட உபகரணங்கள் மற்றும் தேவைகளைப் பொறுத்து மாறுபடலாம்.மேற்கண்டவை ஒரு பொதுவான செயல்முறை ஓட்டம் மற்றும் கொள்கை மட்டுமே, குறிப்பிட்ட செயல்பாட்டை உண்மையான சூழ்நிலைக்கு ஏற்ப சரிசெய்து மேம்படுத்த வேண்டும்.