8 இன்ச் SiC உற்பத்தி தர செதில் 4H-N SiC அடி மூலக்கூறு

குறுகிய விளக்கம்:

8-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறுகள் பவர் MOSFETகள் (மெட்டல் ஆக்சைடு செமிகண்டக்டர் ஃபீல்ட் எஃபெக்ட் டிரான்சிஸ்டர்கள்), ஷாட்கி டையோட்கள் மற்றும் பிற சக்தி குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் போன்ற உயர்-சக்தி மின்னணு சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

பின்வரும் அட்டவணை எங்கள் 8inch SiC செதில்களின் விவரக்குறிப்புகளைக் காட்டுகிறது:

8 இன்ச் N-வகை SiC DSP விவரக்குறிப்புகள்
எண்	பொருள்	அலகு	உற்பத்தி	ஆராய்ச்சி	போலி
1: அளவுருக்கள்
1.1	பலவகை	--	4H	4H	4H
1.2	மேற்பரப்பு நோக்குநிலை	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2:மின் அளவுரு
2.1	ஊக்க மருந்து	--	n-வகை நைட்ரஜன்	n-வகை நைட்ரஜன்	n-வகை நைட்ரஜன்
2.2	எதிர்ப்புத்திறன்	ஓம் · செ.மீ	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: இயந்திர அளவுரு
3.1	விட்டம்	mm	200 ± 0.2	200 ± 0.2	200 ± 0.2
3.2	தடிமன்	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	நாட்ச் நோக்குநிலை	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	நாட்ச் ஆழம்	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	எல்டிவி	μm	≤5(10மிமீ*10மிமீ)	≤5(10மிமீ*10மிமீ)	≤10(10மிமீ*10மிமீ)
3.6	டிடிவி	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	வில்	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	வார்ப்	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	ரா≤0.2	ரா≤0.2	ரா≤0.2
4: அமைப்பு
4.1	நுண்குழாய் அடர்த்தி	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	உலோக உள்ளடக்கம்	அணுக்கள்/செமீ2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.முன் தரம்
5.1	முன்	--	Si	Si	Si
5.2	மேற்பரப்பு பூச்சு	--	Si-Face CMP	Si-Face CMP	Si-Face CMP
5.3	துகள்	ea/wafer	≤100(அளவு≥0.3μm)	NA	NA
5.4	கீறல்	ea/wafer	≤5,மொத்த நீளம்≤200mm	NA	NA
5.5	விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள் / விரிசல்கள் / கறைகள் / மாசுபாடு	--	இல்லை	இல்லை	NA
5.6	பாலிடைப் பகுதிகள்	--	இல்லை	பகுதி ≤10%	பகுதி ≤30%
5.7	முன் குறித்தல்	--	இல்லை	இல்லை	இல்லை
6: பின் தரம்
6.1	பின் பூச்சு	--	சி-முகம் எம்.பி	சி-முகம் எம்.பி	சி-முகம் எம்.பி
6.2	கீறல்	mm	NA	NA	NA
6.3	பின்புற குறைபாடுகள் விளிம்பு சில்லுகள் / உள்தள்ளல்கள்	--	இல்லை	இல்லை	NA
6.4	முதுகு முரட்டுத்தனம்	nm	ரா≤5	ரா≤5	ரா≤5
6.5	பின் குறியிடுதல்	--	நாட்ச்	நாட்ச்	நாட்ச்
7:விளிம்பு
7.1	விளிம்பு	--	சேம்ஃபர்	சேம்ஃபர்	சேம்ஃபர்
8: தொகுப்பு
8.1	பேக்கேஜிங்	--	வெற்றிடத்துடன் எபி-ரெடி பேக்கேஜிங்	வெற்றிடத்துடன் எபி-ரெடி பேக்கேஜிங்	வெற்றிடத்துடன் எபி-ரெடி பேக்கேஜிங்
8.2	பேக்கேஜிங்	--	மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங்	மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங்	மல்டி-வேஃபர் கேசட் பேக்கேஜிங்