8 இன்ச் சிலிக்கான் வேஃபர் பி/என்-வகை (100) 1-100Ω போலி மீட்டெடுப்பு அடி மூலக்கூறு
செதில் பெட்டி அறிமுகம்
8-இன்ச் சிலிக்கான் செதில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இத்தகைய சிலிக்கான் செதில்கள் பொதுவாக நுண்செயலிகள், நினைவக சில்லுகள், சென்சார்கள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்கள் உட்பட பல்வேறு வகையான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. 8-இன்ச் சிலிக்கான் செதில்கள் பொதுவாக ஒப்பீட்டளவில் பெரிய அளவிலான சில்லுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, பெரிய பரப்பளவு மற்றும் ஒரு சிலிக்கான் செதில்களில் அதிக சில்லுகளை உருவாக்கும் திறன் உள்ளிட்ட நன்மைகள், உற்பத்தித் திறனை அதிகரிக்க வழிவகுக்கும். 8 அங்குல சிலிக்கான் செதில் நல்ல இயந்திர மற்றும் இரசாயன பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது, இது பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
தயாரிப்பு அம்சங்கள்
8" P/N வகை, பாலிஷ் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் செதில் (25 பிசிக்கள்)
நோக்குநிலை: 200
எதிர்ப்பாற்றல்: 0.1 - 40 ஓம்•செ.மீ (இது தொகுதிக்கு தொகுதி மாறுபடலாம்)
தடிமன்: 725+/-20um
பிரைம்/மானிட்டர்/டெஸ்ட் கிரேடு
பொருள் பண்புகள்
அளவுரு | சிறப்பியல்பு |
வகை/டோபண்ட் | பி, போரான் என், பாஸ்பரஸ் என், ஆன்டிமனி என், ஆர்சனிக் |
நோக்குநிலைகள் | <100>, <111> வாடிக்கையாளரின் விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப நோக்குநிலைகளை குறைக்கவும் |
ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | 1019வாடிக்கையாளரின் விவரக்குறிப்புக்கு பிபிஎம்ஏ தனிப்பயன் சகிப்புத்தன்மை |
கார்பன் உள்ளடக்கம் | < 0.6 பிபிஎம்ஏ |
இயந்திர பண்புகள்
அளவுரு | பிரதம | மானிட்டர்/ டெஸ்ட் ஏ | சோதனை |
விட்டம் | 200 ± 0.2 மிமீ | 200 ± 0.2மிமீ | 200 ± 0.5 மிமீ |
தடிமன் | 725±20µm (தரநிலை) | 725±25µm(தரநிலை) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (தரநிலை) |
டிடிவி | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
வில் | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
மடக்கு | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
எட்ஜ் ரவுண்டிங் | SEMI-STD | ||
குறியிடுதல் | முதன்மை SEMI-பிளாட் மட்டும், SEMI-STD குடியிருப்புகள் ஜீடா பிளாட், நாட்ச் |
அளவுரு | பிரதம | மானிட்டர்/ டெஸ்ட் ஏ | சோதனை |
முன் பக்க அளவுகோல்கள் | |||
மேற்பரப்பு நிலை | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் |
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
மாசுபடுதல் துகள்கள்@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
மூடுபனி, குழிகள் ஆரஞ்சு தோல் | இல்லை | இல்லை | இல்லை |
பார்த்தேன், மார்க்ஸ் சண்டைகள் | இல்லை | இல்லை | இல்லை |
பின் பக்க அளவுகோல் | |||
பிளவுகள், காக்கை கால்கள், சாக்குகள், கறைகள் | இல்லை | இல்லை | இல்லை |
மேற்பரப்பு நிலை | காஸ்டிக் பொறிக்கப்பட்ட |