8 அங்குல சிலிக்கான் வேஃபர் P/N-வகை (100) 1-100Ω போலி மீட்டெடுப்பு அடி மூலக்கூறு
வேஃபர் பெட்டி அறிமுகம்
8-அங்குல சிலிக்கான் வேஃபர் என்பது பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு பொருளாகும், மேலும் இது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இத்தகைய சிலிக்கான் வேஃபர்கள் பொதுவாக நுண்செயலிகள், நினைவக சில்லுகள், சென்சார்கள் மற்றும் பிற மின்னணு சாதனங்கள் உட்பட பல்வேறு வகையான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. 8-அங்குல சிலிக்கான் வேஃபர்கள் பொதுவாக ஒப்பீட்டளவில் பெரிய அளவிலான சில்லுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதில் பெரிய மேற்பரப்பு பகுதி மற்றும் ஒற்றை சிலிக்கான் வேஃபரில் அதிக சில்லுகளை உருவாக்கும் திறன் உள்ளிட்ட நன்மைகள் உள்ளன, இது உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்க வழிவகுக்கிறது. 8-அங்குல சிலிக்கான் வேஃபர் நல்ல இயந்திர மற்றும் வேதியியல் பண்புகளையும் கொண்டுள்ளது, இது பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
தயாரிப்பு பண்புகள்
8" P/N வகை, பாலிஷ் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் வேஃபர் (25 பிசிக்கள்)
நோக்குநிலை: 200
மின்தடை: 0.1 - 40 ஓம்•செ.மீ (இது தொகுதிக்கு தொகுதி மாறுபடலாம்)
தடிமன்: 725+/-20um
பிரைம்/மானிட்டர்/சோதனை தரம்
பொருள் பண்புகள்
அளவுரு | பண்பு |
வகை/டோபண்ட் | பி, போரான் என், பாஸ்பரஸ் என், ஆன்டிமனி என், ஆர்சனிக் |
திசைகள் | <100>, <111> வாடிக்கையாளரின் விவரக்குறிப்புகளின்படி நோக்குநிலைகளைத் துண்டிக்கவும் |
ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | 1019வாடிக்கையாளரின் விவரக்குறிப்புப்படி ppmA தனிப்பயன் சகிப்புத்தன்மைகள் |
கார்பன் உள்ளடக்கம் | < 0.6 பிபிஎம்ஏ |
இயந்திர பண்புகள்
அளவுரு | பிரைம் | கண்காணிப்பு/சோதனை A | சோதனை |
விட்டம் | 200±0.2மிமீ | 200 ± 0.2மிமீ | 200 ± 0.5 மிமீ |
தடிமன் | 725±20µm (நிலையானது) | 725±25µm(நிலையானது) 450±25µm 625±25µமீ 1000±25µமீ 1300±25µமீ 1500±25 µமீ | 725±50µm (நிலையானது) |
டிடிவி | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
வில் | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
மடக்கு | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
விளிம்பு வட்டமிடுதல் | அரை-எஸ்டிடி | ||
குறியிடுதல் | முதன்மை SEMI-பிளாட் மட்டும், SEMI-STD பிளாட்கள் ஜெய்டா பிளாட், நாட்ச் |
அளவுரு | பிரைம் | கண்காணிப்பு/சோதனை A | சோதனை |
முன் பக்க அளவுகோல்கள் | |||
மேற்பரப்பு நிலை | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் செய்யப்பட்டது | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் செய்யப்பட்டது | கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் செய்யப்பட்டது |
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை | < 2 அ° | < 2 அ° | < 2 அ° |
மாசுபாடு துகள்கள்@ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
மூடுபனி, குழிகள் ஆரஞ்சு தோல் | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை |
சா, மார்க்ஸ் கோடுகள் | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை |
பின் பக்க அளவுகோல்கள் | |||
விரிசல்கள், காகத்தின் கால்கள், ரம்பக் குறிகள், கறைகள் | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை |
மேற்பரப்பு நிலை | காஸ்டிக் பொறிக்கப்பட்டது |
விரிவான வரைபடம்


