வளர்ந்த சபையர் பவுல் இங்காட் படிக கை முறை
விரிவான வரைபடம்
கண்ணோட்டம்
A நீலக்கல் பவுல்இது அலுமினிய ஆக்சைட்டின் (Al₂O₃) ஒரு பெரிய, வளர்ந்த ஒற்றை படிகமாகும், இது சபையர் செதில்கள், ஆப்டிகல் ஜன்னல்கள், தேய்மான-எதிர்ப்பு பாகங்கள் மற்றும் ரத்தின வெட்டுதல் ஆகியவற்றிற்கான அப்ஸ்ட்ரீம் மூலப்பொருளாக செயல்படுகிறது.மோஸ் 9 கடினத்தன்மை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை(உருகுநிலை ~2050 °C), மற்றும்அகண்ட அலைவரிசை வெளிப்படைத்தன்மைUV முதல் நடுத்தர IR வரை, நீலக்கல் என்பது நீடித்து உழைக்கும் தன்மை, தூய்மை மற்றும் ஒளியியல் தரம் ஆகியவை இணைந்திருக்க வேண்டிய அளவுகோல் பொருளாகும்.
தொழில்துறை நிரூபிக்கப்பட்ட வளர்ச்சி முறைகளால் தயாரிக்கப்பட்ட நிறமற்ற மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட சபையர் பவுல்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம், உகந்ததாகGaN/AlGaN எபிடாக்ஸி, துல்லிய ஒளியியல், மற்றும்உயர் நம்பகத்தன்மை கொண்ட தொழில்துறை கூறுகள்.
ஏன் எங்களிடமிருந்து சபையர் பவுல்
-
முதலில் படிகத் தரம்:குறைந்த உள் அழுத்தம், குறைந்த குமிழி/ஸ்ட்ரை உள்ளடக்கம், கீழ்நோக்கி வெட்டுதல் மற்றும் எபிடாக்ஸிக்கான இறுக்கமான நோக்குநிலை கட்டுப்பாடு.
-
செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மை:உங்கள் விண்ணப்பத்திற்கான அளவு, அழுத்தம் மற்றும் செலவை சமநிலைப்படுத்த KY/HEM/CZ/Verneuil வளர்ச்சி விருப்பங்கள்.
-
அளவிடக்கூடிய வடிவியல்:உருளை வடிவ, கேரட் வடிவ அல்லது தொகுதி பவுல்கள் தனிப்பயன் பிளாட்டுகள், விதை/முனை சிகிச்சைகள் மற்றும் குறிப்பு தளங்கள்.
-
கண்டுபிடிக்கக்கூடியது & மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடியது:தொகுதி பதிவுகள், அளவியல் அறிக்கைகள் மற்றும் உங்கள் விவரக்குறிப்புக்கு ஏற்ப ஏற்றுக்கொள்ளும் அளவுகோல்கள்.
வளர்ச்சி தொழில்நுட்பங்கள்
-
KY (கைரோபௌலோஸ்):பெரிய விட்டம் கொண்ட, குறைந்த அழுத்த பவுல்கள்; எபி-கிரேடு வேஃபர்கள் மற்றும் ஒளியியலுக்கு ஏற்றது, அங்கு பைர்ஃபிரிங்கன்ஸ் சீரான தன்மை முக்கியமானது.
-
HEM (வெப்பப் பரிமாற்றி முறை):சிறந்த வெப்ப சாய்வு மற்றும் அழுத்தக் கட்டுப்பாடு; தடிமனான ஒளியியல் மற்றும் பிரீமியம் எபி மூலப்பொருட்களுக்கு கவர்ச்சிகரமானது.
-
CZ (சோக்ரால்ஸ்கி):நோக்குநிலை மற்றும் இனப்பெருக்கத்தின் வலுவான கட்டுப்பாடு; நிலையான, அதிக மகசூல் தரும் துண்டு துண்டாக வெட்டுவதற்கு நல்ல தேர்வு.
-
வெர்னுயில் (சுடர்-இணைவு):செலவு குறைந்த, அதிக செயல்திறன்; பொது ஒளியியல், இயந்திர பாகங்கள் மற்றும் ரத்தின முன்வடிவங்களுக்கு ஏற்றது.
படிக நோக்குநிலை, வடிவியல் & அளவு
-
நிலையான நோக்குநிலைகள்: சி-பிளேன் (0001), ஏ-பிளேன் (11-20), ஆர்-தளம் (1-102), மீ-தளம் (10-10); தனிப்பயன் விமானங்கள் கிடைக்கின்றன.
-
நோக்குநிலை துல்லியம்:Laue/XRD ஆல் ≤ ±0.1° (கோரிக்கையின் பேரில் இறுக்கமானது).
-
வடிவங்கள்:உருளை அல்லது கேரட் வகை பவுல்கள், சதுர/செவ்வகத் தொகுதிகள் மற்றும் தண்டுகள்.
-
வழக்கமான அளவு உறை: Ø30–220 மி.மீ., நீளம் 50–400 மிமீ(பெரியது/சிறியது ஆர்டர் செய்ய செய்யப்பட்டது).
-
முடிவு/குறிப்பு அம்சங்கள்:விதை/முனை முக இயந்திரம், குறிப்பு பிளாட்டுகள்/நோட்சுகள் மற்றும் கீழ்நிலை சீரமைப்புக்கான ஃபிடியூஷியல்கள்.
பொருள் & ஒளியியல் பண்புகள்
-
கலவை:ஒற்றை-படிக Al₂O₃, மூலப்பொருள் தூய்மை ≥ 99.99%.
-
அடர்த்தி:~3.98 கிராம்/செ.மீ³
-
கடினத்தன்மை:மோஸ் 9
-
ஒளிவிலகல் குறியீடு (589 நானோமீட்டர்): nₒ (எண்ₒ)≈ 1.768,எண்ₑ≈ 1.760 (எதிர்மறை ஒற்றை அச்சு; Δn ≈ 0.008)
-
பரிமாற்ற சாளரம்: UV முதல் ~5 µm வரை(தடிமன் மற்றும் அசுத்தத்தைப் பொறுத்து)
-
வெப்ப கடத்துத்திறன் (300 K):~25 W·மீ⁻¹·கே⁻¹
-
CTE (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (நோக்குநிலை சார்ந்தது)
-
யங்கின் மாடுலஸ்:~345 ஜிபிஏ
-
மின்சாரம்:அதிக மின்கடத்தா தன்மை (பொதுவாக ≥ 10¹⁴ Ω·செ.மீ.)
தரங்களும் விருப்பங்களும்
-
எபிடாக்ஸி தரம்:அதிக மகசூல் தரும் GaN/AlGaN MOCVD வேஃபர்களுக்கு (கீழ்நோக்கி 2–8 அங்குலம் மற்றும் அதற்கு மேல்) மிகக் குறைந்த குமிழ்கள்/ஸ்ட்ரை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட அழுத்த பைர்ஃபிரிங்கன்ஸ்.
-
ஒளியியல் தரம்:ஜன்னல்கள், லென்ஸ்கள் மற்றும் IR காட்சிப் பகுதிகளுக்கு உயர் உள் பரிமாற்றம் மற்றும் ஒருமைப்பாடு.
-
பொது/இயந்திர தரம்:கடிகார படிகங்கள், பொத்தான்கள், உடைகள் பாகங்கள் மற்றும் உறைகளுக்கான நீடித்த, செலவு-உகந்த மூலப்பொருள்.
-
ஊக்கமருந்து/நிறம்:
-
நிறமற்றது(தரநிலை)
Cr:Al₂O₃(ரூபி),டை:அல்₂ஓ₃(Ti:sapphire) முன்வடிவங்கள்
மற்ற குரோமோபோர்கள் (Fe/Ti) கோரிக்கையின் பேரில்
-
பயன்பாடுகள்
குறைக்கடத்தி: GaN LEDகள், மைக்ரோ-LEDகள், பவர் HEMTகள், RF சாதனங்கள் (சபையர் வேஃபர் மூலப்பொருள்) ஆகியவற்றிற்கான அடி மூலக்கூறுகள்.
ஒளியியல் & ஃபோட்டானிக்ஸ்: உயர் வெப்பநிலை/அழுத்த ஜன்னல்கள், IR காட்சிப் பகுதிகள், லேசர் குழி ஜன்னல்கள், கண்டறிதல் உறைகள்.
நுகர்வோர் மற்றும் அணியக்கூடிய பொருட்கள்: வாட்ச் படிகங்கள், கேமரா லென்ஸ் கவர்கள், கைரேகை சென்சார் கவர்கள், பிரீமியம் வெளிப்புற பாகங்கள்.
தொழில்துறை & விண்வெளி: முனைகள், வால்வு இருக்கைகள், சீல் வளையங்கள், பாதுகாப்பு ஜன்னல்கள் மற்றும் கண்காணிப்பு துறைமுகங்கள்.
லேசர்/படிக வளர்ச்சி: டோப் செய்யப்பட்ட பவுல்களிலிருந்து டை: சபையர் மற்றும் ரூபி ஹோஸ்ட்கள்.
ஒரு பார்வை தரவு (வழக்கமானது, குறிப்புக்காக)
| அளவுரு | மதிப்பு (வழக்கமானது) |
|---|---|
| கலவை | ஒற்றை-படிக Al₂O₃ (≥ 99.99% தூய்மை) |
| நோக்குநிலை | c / a / r / m (கோரிக்கையின் பேரில் தனிப்பயன்) |
| குறியீட்டு @ 589 நானோமீட்டர் | nₒ (எண்ₒ)≈ 1.768,எண்ₑ≈ 1.760 (ஆங்கிலம்) |
| பரிமாற்ற வரம்பு | ~0.2–5 µm (தடிமன் சார்ந்தது) |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | ~25 W·m⁻¹·K⁻¹ (300 கி) |
| CTE (20–300 °C) | ~5–8 × 10⁻⁶/கி |
| யங்கின் மாடுலஸ் | ~345 ஜிபிஏ |
| அடர்த்தி | ~3.98 கிராம்/செ.மீ³ |
| கடினத்தன்மை | மோஸ் 9 |
| மின்சாரம் | மின்காப்பு; கன அளவு மின்தடை ≥ 10¹⁴ Ω·செ.மீ. |
சபையர் வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறை
-
படிக வளர்ச்சி
உயர்-தூய்மை அலுமினா (Al₂O₃) உருக்கப்பட்டு, ஒற்றை சபையர் படிக இங்காட்டாக வளர்க்கப்படுகிறது, இதைப் பயன்படுத்திகைரோபௌலோஸ் (KY) or சோக்ரால்ஸ்கி (CZ)முறை. -
இங்காட் செயலாக்கம்
இங்காட் ஒரு நிலையான வடிவத்திற்கு இயந்திரமயமாக்கப்படுகிறது - டிரிம்மிங், விட்டம் வடிவமைத்தல் மற்றும் முனை-முக செயலாக்கம். -
வெட்டுதல்
நீலக்கல் இங்காட் மெல்லிய செதில்களாக வெட்டப்படுகிறது, அதைப் பயன்படுத்திவைர கம்பி ரம்பம். -
இரட்டை பக்க லேப்பிங்
வேஃபரின் இருபுறமும் ரம்பக் குறிகளை நீக்கி, சீரான தடிமனை அடைய மடிக்கப்படுகிறது. -
பற்றவைத்தல்
வேஃபர்கள் வெப்ப சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றனஉள் அழுத்தத்தை விடுவித்தல்மற்றும் படிக தரம் மற்றும் வெளிப்படைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. -
விளிம்பு அரைத்தல்
மேலும் செயலாக்கத்தின் போது சில்லுகள் மற்றும் விரிசல்களைத் தடுக்க வேஃபர் விளிம்புகள் சாய்வாகக் கட்டப்பட்டுள்ளன. -
மவுண்டிங்
துல்லியமான மெருகூட்டல் மற்றும் ஆய்வுக்காக வேஃபர்கள் கேரியர்கள் அல்லது ஹோல்டர்களில் பொருத்தப்படுகின்றன. -
DMP (இரட்டை பக்க இயந்திர பாலிஷிங்)
மேற்பரப்பு மென்மையை மேம்படுத்த வேஃபர் மேற்பரப்புகள் இயந்திரத்தனமாக மெருகூட்டப்படுகின்றன. -
CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்)
வேதியியல் மற்றும் இயந்திர செயல்களை இணைத்து ஒரு நுட்பமான மெருகூட்டல் படிநிலையை உருவாக்குகிறது.கண்ணாடி போன்ற மேற்பரப்பு. -
காட்சி ஆய்வு
ஆபரேட்டர்கள் அல்லது தானியங்கி அமைப்புகள் புலப்படும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைச் சரிபார்க்கின்றன. -
தட்டையான தன்மை ஆய்வு
பரிமாண துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக தட்டையான தன்மை மற்றும் தடிமன் சீரான தன்மை அளவிடப்படுகிறது. -
ஆர்.சி.ஏ சுத்தம் செய்தல்
நிலையான வேதியியல் சுத்தம் கரிம, உலோக மற்றும் துகள் மாசுபாடுகளை நீக்குகிறது. -
ஸ்க்ரப்பர் சுத்தம் செய்தல்
இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங் மீதமுள்ள நுண்ணிய துகள்களை நீக்குகிறது. -
மேற்பரப்பு குறைபாடு ஆய்வு
தானியங்கி ஒளியியல் ஆய்வு கீறல்கள், குழிகள் அல்லது மாசுபாடு போன்ற நுண்ணிய குறைபாடுகளைக் கண்டறிகிறது.

-
படிக வளர்ச்சி
உயர்-தூய்மை அலுமினா (Al₂O₃) உருக்கப்பட்டு, ஒற்றை சபையர் படிக இங்காட்டாக வளர்க்கப்படுகிறது, இதைப் பயன்படுத்திகைரோபௌலோஸ் (KY) or சோக்ரால்ஸ்கி (CZ)முறை. -
இங்காட் செயலாக்கம்
இங்காட் ஒரு நிலையான வடிவத்திற்கு இயந்திரமயமாக்கப்படுகிறது - டிரிம்மிங், விட்டம் வடிவமைத்தல் மற்றும் முனை-முக செயலாக்கம். -
வெட்டுதல்
நீலக்கல் இங்காட் மெல்லிய செதில்களாக வெட்டப்படுகிறது, அதைப் பயன்படுத்திவைர கம்பி ரம்பம். -
இரட்டை பக்க லேப்பிங்
வேஃபரின் இருபுறமும் ரம்பக் குறிகளை நீக்கி, சீரான தடிமனை அடைய மடிக்கப்படுகிறது. -
பற்றவைத்தல்
வேஃபர்கள் வெப்ப சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றனஉள் அழுத்தத்தை விடுவித்தல்மற்றும் படிக தரம் மற்றும் வெளிப்படைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. -
விளிம்பு அரைத்தல்
மேலும் செயலாக்கத்தின் போது சில்லுகள் மற்றும் விரிசல்களைத் தடுக்க வேஃபர் விளிம்புகள் சாய்வாகக் கட்டப்பட்டுள்ளன. -
மவுண்டிங்
துல்லியமான மெருகூட்டல் மற்றும் ஆய்வுக்காக வேஃபர்கள் கேரியர்கள் அல்லது ஹோல்டர்களில் பொருத்தப்படுகின்றன. -
DMP (இரட்டை பக்க இயந்திர பாலிஷிங்)
மேற்பரப்பு மென்மையை மேம்படுத்த வேஃபர் மேற்பரப்புகள் இயந்திரத்தனமாக மெருகூட்டப்படுகின்றன. -
CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்)
வேதியியல் மற்றும் இயந்திர செயல்களை இணைத்து ஒரு நுட்பமான மெருகூட்டல் படிநிலையை உருவாக்குகிறது.கண்ணாடி போன்ற மேற்பரப்பு. -
காட்சி ஆய்வு
ஆபரேட்டர்கள் அல்லது தானியங்கி அமைப்புகள் புலப்படும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைச் சரிபார்க்கின்றன. -
தட்டையான தன்மை ஆய்வு
பரிமாண துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக தட்டையான தன்மை மற்றும் தடிமன் சீரான தன்மை அளவிடப்படுகிறது. -
ஆர்.சி.ஏ சுத்தம் செய்தல்
நிலையான வேதியியல் சுத்தம் கரிம, உலோக மற்றும் துகள் மாசுபாடுகளை நீக்குகிறது. -
ஸ்க்ரப்பர் சுத்தம் செய்தல்
இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங் மீதமுள்ள நுண்ணிய துகள்களை நீக்குகிறது. -
மேற்பரப்பு குறைபாடு ஆய்வு
தானியங்கி ஒளியியல் ஆய்வு கீறல்கள், குழிகள் அல்லது மாசுபாடு போன்ற நுண்ணிய குறைபாடுகளைக் கண்டறிகிறது. 
நீலக்கல் பவுல் (ஒற்றை-படிக Al₂O₃) — அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்
கேள்வி 1: சபையர் பவுல் என்றால் என்ன?
A: அலுமினிய ஆக்சைட்டின் (Al₂O₃) வளர்ந்த ஒற்றைப் படிகம். இது சபையர் செதில்கள், ஆப்டிகல் ஜன்னல்கள் மற்றும் அதிக தேய்மானம் கொண்ட கூறுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் அப்ஸ்ட்ரீம் "இங்காட்" ஆகும்.
கேள்வி 2: ஒரு பவுல் வேஃபர்கள் அல்லது ஜன்னல்களுடன் எவ்வாறு தொடர்புடையது?
A: எபி-கிரேடு வேஃபர்கள் அல்லது ஆப்டிகல்/மெக்கானிக்கல் பாகங்களை உருவாக்க பவுல் நோக்குநிலை → வெட்டப்பட்டது → மடிக்கப்பட்டது → மெருகூட்டப்பட்டது. மூல பவுலின் சீரான தன்மை கீழ்நிலை விளைச்சலை கடுமையாக பாதிக்கிறது.
கேள்வி 3: என்னென்ன வளர்ச்சி முறைகள் உள்ளன, அவை எவ்வாறு வேறுபடுகின்றன?
A: KY (கைரோபௌலோஸ்)மற்றும்ஹெம்அதிக மகசூல்,குறைந்த மன அழுத்தம்பவுல்ஸ் - எபிடாக்ஸி மற்றும் உயர்நிலை ஒளியியலுக்கு விரும்பப்படுகிறது.CZ (சோக்ரால்ஸ்கி)சிறப்பாக வழங்குகிறதுநோக்குநிலை கட்டுப்பாடுமற்றும் நிறைய-நிறைய நிலைத்தன்மை.வெர்னியூல் (சுடர்-இணைவு) is செலவு குறைந்தபொது ஒளியியல் மற்றும் ரத்தின முன்வடிவங்களுக்கு.
கேள்வி 4: நீங்கள் என்ன நோக்குநிலைகளை வழங்குகிறீர்கள்? பொதுவாக என்ன துல்லியம் உள்ளது?
A: c-தளம் (0001), a-தளம் (11-20), r-தளம் (1-102), m-தளம் (10-10), மற்றும் பழக்கவழக்கங்கள். நோக்குநிலை துல்லியம் பொதுவாக≤ ±0.1°Laue/XRD ஆல் சரிபார்க்கப்பட்டது (கோரிக்கையின் பேரில் இறுக்கமானது).
பொறுப்பான உள்-வீட்டு ஸ்கிராப் மேலாண்மையுடன் கூடிய ஆப்டிகல்-தர படிகங்கள்
எங்கள் அனைத்து சபையர் பவுல்களும் தயாரிக்கப்படுகின்றனஒளியியல் தரம், அதிக பரிமாற்றம், இறுக்கமான ஒருமைப்பாடு மற்றும் தேவைப்படும் ஒளியியல் மற்றும் மின்னணுவியலுக்கான குறைந்த உள்ளடக்கம்/குமிழி மற்றும் இடப்பெயர்வு அடர்த்தியை உறுதி செய்கிறது. விதையிலிருந்து பவுல் வரை படிக நோக்குநிலை மற்றும் பைர்ஃபிரிங்கன்ஸை நாங்கள் கட்டுப்படுத்துகிறோம், முழு அளவிலான தடமறிதல் மற்றும் ஓட்டங்கள் முழுவதும் நிலைத்தன்மையுடன். பரிமாணங்கள், நோக்குநிலைகள் (c-, a-, r-plane), மற்றும் சகிப்புத்தன்மைகள் உங்கள் டவுன்ஸ்ட்ரூம் ஸ்லைசிங்/பாலிஷிங் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.
முக்கியமாக, விவரக்குறிப்பு குறைவாக இருக்கும் எந்தவொரு பொருளும்முழுவதுமாக வீட்டிலேயே செயலாக்கப்பட்டதுஒரு மூடிய-லூப் பணிப்பாய்வின் மூலம் - வரிசைப்படுத்தப்பட்டு, மறுசுழற்சி செய்யப்பட்டு, பொறுப்புடன் அகற்றப்படும் - எனவே கையாளுதல் அல்லது இணக்கச் சுமைகள் இல்லாமல் நம்பகமான தரத்தைப் பெறுவீர்கள். இந்த அணுகுமுறை ஆபத்தைக் குறைக்கிறது, முன்னணி நேரங்களைக் குறைக்கிறது மற்றும் உங்கள் நிலைத்தன்மை இலக்குகளை ஆதரிக்கிறது.
| இங்காட் வெயிட் பேண்ட் (கிலோ) | 2″ | 4″ | 6″ | 8″ | 12″ | குறிப்புகள் |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10–30 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | வரம்புக்குட்பட்டது/சாத்தியமானது | வழக்கமானதல்ல | பயன்படுத்தப்படவில்லை | சிறிய வடிவ துண்டு துண்டாக வெட்டுதல்; 6″ பயன்படுத்தக்கூடிய விட்டம்/நீளத்தைப் பொறுத்தது. |
| 30–80 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | வரம்புக்குட்பட்டது/சாத்தியமானது | வழக்கமானதல்ல | பரந்த பயன்பாடு; அவ்வப்போது 8″ பைலட் லாட்கள். |
| 80–150 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | வழக்கமானதல்ல | 6–8″ உற்பத்திக்கு நல்ல சமநிலை. |
| 150–250 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | வரையறுக்கப்பட்ட/ஆராய்ச்சி&மேம்பாடு | இறுக்கமான விவரக்குறிப்புகளுடன் ஆரம்ப 12″ சோதனைகளை ஆதரிக்கிறது. |
| 250–300 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | வரையறுக்கப்பட்டது/கண்டிப்பாகக் குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது | அதிக அளவு 8″; தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட 12″ ரன்கள். |
| >300 | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | பொருத்தமானது | எல்லைப்புற அளவுகோல்; 12″ அளவு கடுமையான சீரான தன்மை/மகசூல் கட்டுப்பாட்டுடன் சாத்தியமானது. |











