தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவ சபையர் ஆப்டிகல் ஜன்னல்கள் சபையர் கூறுகள் துல்லியமான பாலிஷிங் மூலம்
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
நீலக்கல் ஜன்னல் | |
பரிமாணம் | 8-400மிமீ |
பரிமாண சகிப்புத்தன்மை | +0/-0.05மிமீ |
மேற்பரப்பு தரம் (கீறல் மற்றும் தோண்டுதல்) | 40/20 |
மேற்பரப்பு துல்லியம் | λ/10per@633nm |
தெளிவான துளை | > எபிசோடுகள்85%,> 90% |
இணைநிலை சகிப்புத்தன்மை | ±2''-±3'' |
சாய்வு | 0.1-0.3மிமீ |
பூச்சு | வாடிக்கையாளர் வேண்டுகோளின் பேரில் AR/AF/ |
முக்கிய அம்சங்கள்
1. பொருள் மேன்மை
· மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப பண்புகள்: 35 W/m·K (100°C இல்) வெப்ப கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகிறது, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (5.3×10⁻⁶/K) உடன் விரைவான வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் ஒளியியல் சிதைவைத் தடுக்கிறது. 1000°C இலிருந்து அறை வெப்பநிலைக்கு வினாடிகளில் வெப்ப அதிர்ச்சி மாற்றங்களின் போது கூட பொருள் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.
· வேதியியல் நிலைத்தன்மை: நீண்ட காலத்திற்கு செறிவூட்டப்பட்ட அமிலங்கள் (HF தவிர்த்து) மற்றும் காரங்கள் (pH 1-14) ஆகியவற்றிற்கு வெளிப்படும் போது பூஜ்ஜிய சிதைவை நிரூபிக்கிறது, இது வேதியியல் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
· ஒளியியல் சுத்திகரிப்பு: மேம்பட்ட C-அச்சு படிக வளர்ச்சியின் மூலம், 0.1%/செ.மீ.க்குக் குறைவான சிதறல் இழப்புகளுடன் காணக்கூடிய நிறமாலையில் (400-700nm) 85% பரிமாற்றத்தை அடைகிறது.
· விருப்பமான ஹைப்பர்-ஹெமிஸ்பெரிக்கல் பாலிஷ் 1064nm இல் மேற்பரப்பு பிரதிபலிப்புகளை ஒரு மேற்பரப்பிற்கு <0.2% ஆகக் குறைக்கிறது.
2.துல்லிய பொறியியல் திறன்கள்
· நானோ அளவிலான மேற்பரப்பு கட்டுப்பாடு: காந்தவியல் பூச்சு (MRF) ஐப் பயன்படுத்தி, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை <0.3nm Ra ஐ அடைகிறது, இது 1064nm இல் LIDT 10J/cm² ஐ விட அதிகமாக இருக்கும் உயர்-சக்தி லேசர் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் முக்கியமானது, 10ns துடிப்புகள்.
· சிக்கலான வடிவியல் உற்பத்தி: <100nm அம்சத் தெளிவுத்திறனுடன் மைக்ரோஃப்ளூய்டிக் சேனல்கள் (50μm அகல சகிப்புத்தன்மை) மற்றும் டிஃப்ராக்டிவ் ஆப்டிகல் கூறுகளை (DOE) உருவாக்குவதற்கான 5-அச்சு மீயொலி இயந்திரத்தை உள்ளடக்கியது.
· அளவியல் ஒருங்கிணைப்பு: 3D மேற்பரப்பு குணாதிசயத்திற்காக வெள்ளை-ஒளி இடைச்செருகல் அளவீடு மற்றும் அணு விசை நுண்ணோக்கி (AFM) ஆகியவற்றை இணைத்து, 200மிமீ அடி மூலக்கூறுகளில் <100nm PV வடிவ துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
முதன்மை பயன்பாடுகள்
1. பாதுகாப்பு அமைப்புகள் மேம்பாடு
· ஹைப்பர்சோனிக் வாகன குவிமாடங்கள்: தேடுபவர் தலைகளுக்கு MWIR பரிமாற்றத்தைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், மேக் 5+ காற்றழுத்த சுமைகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிறப்பு நானோகாம்போசிட் விளிம்பு முத்திரைகள் 15G அதிர்வு சுமைகளின் கீழ் சிதைவைத் தடுக்கின்றன.
· குவாண்டம் உணர்திறன் தளங்கள்: அல்ட்ரா-லோ பைர்ஃபிரிங்கன்ஸ் (<5nm/cm) பதிப்புகள் நீர்மூழ்கிக் கப்பல் கண்டறிதல் அமைப்புகளில் துல்லியமான காந்த அளவீட்டை செயல்படுத்துகின்றன.
2.தொழில்துறை செயல்முறை கண்டுபிடிப்பு
· செமிகண்டக்டர் எக்ஸ்ட்ரீம் UV லித்தோகிராபி: <0.01nm மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கொண்ட தரம் AA பளபளப்பான ஜன்னல்கள் ஸ்டெப்பர் அமைப்புகளில் EUV (13.5nm) சிதறல் இழப்புகளைக் குறைக்கின்றன.
· அணு உலை கண்காணிப்பு: நியூட்ரான்-வெளிப்படையான வகைகள் (Al₂O₃ ஐசோடோபிகல் முறையில் சுத்திகரிக்கப்பட்டது) ஜெனரல் IV உலை மையங்களில் நிகழ்நேர காட்சி கண்காணிப்பை வழங்குகின்றன.
3.வளர்ந்து வரும் தொழில்நுட்ப ஒருங்கிணைப்பு
· விண்வெளி அடிப்படையிலான ஆப்டிகல் தொடர்புகள்: கதிர்வீச்சு-கடினப்படுத்தப்பட்ட பதிப்புகள் (1Mrad காமா வெளிப்பாட்டிற்குப் பிறகு) LEO செயற்கைக்கோள் லேசர் குறுக்கு இணைப்புகளுக்கு 80% க்கும் அதிகமான பரிமாற்றத்தைப் பராமரிக்கின்றன.
· பயோபோடோனிக்ஸ் இடைமுகங்கள்: பயோ-இனெர்ட் மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் தொடர்ச்சியான குளுக்கோஸ் கண்காணிப்புக்காக பொருத்தக்கூடிய ராமன் நிறமாலை சாளரங்களை செயல்படுத்துகின்றன.
4. மேம்பட்ட ஆற்றல் அமைப்புகள்
· இணைவு உலை கண்டறிதல்: டோகாமாக் நிறுவல்களில் பல அடுக்கு கடத்தும் பூச்சுகள் (ITO-AlN) பிளாஸ்மா பார்வை மற்றும் EMI கவசம் இரண்டையும் வழங்குகின்றன.
· ஹைட்ரஜன் உள்கட்டமைப்பு: கிரையோஜெனிக்-தர பதிப்புகள் (20K க்கு சோதிக்கப்பட்டன) திரவ H₂ சேமிப்பு காட்சிப் பகுதிகளில் ஹைட்ரஜன் சிதைவைத் தடுக்கின்றன.
XKH சேவைகள் & விநியோக திறன்கள்
1. தனிப்பயன் உற்பத்தி சேவைகள்
· வரைதல் அடிப்படையிலான தனிப்பயனாக்கம்: தரமற்ற வடிவமைப்புகள் (1 மிமீ முதல் 300 மிமீ பரிமாணங்கள்), 20 நாள் விரைவான டெலிவரி மற்றும் 4 வாரங்களுக்குள் முதல் முறை முன்மாதிரி ஆகியவற்றை ஆதரிக்கிறது.
· பூச்சு தீர்வுகள்: பிரதிபலிப்பு இழப்புகளைக் குறைக்க பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு (AR), கறைபடிதல் எதிர்ப்பு (AF) மற்றும் அலைநீள-குறிப்பிட்ட பூச்சுகள் (UV/IR).
· துல்லிய மெருகூட்டல் & சோதனை: அணு-நிலை மெருகூட்டல் ≤0.5 nm மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அடைகிறது, இடைச்செருகல் அளவீடு λ/10 தட்டையான இணக்கத்தை உறுதி செய்கிறது.
2. விநியோகச் சங்கிலி & தொழில்நுட்ப ஆதரவு
· செங்குத்து ஒருங்கிணைப்பு: படிக வளர்ச்சியிலிருந்து (சோக்ரால்ஸ்கி முறை) வெட்டுதல், மெருகூட்டுதல் மற்றும் பூச்சு வரை முழு செயல்முறை கட்டுப்பாடு, பொருள் தூய்மை (வெற்றிடம்/எல்லை இல்லாதது) மற்றும் தொகுதி நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
· தொழில் ஒத்துழைப்பு: விண்வெளி ஒப்பந்தக்காரர்களால் சான்றளிக்கப்பட்டது; உள்நாட்டு மாற்றீட்டிற்கான சூப்பர்லட்டீஸ் ஹீட்டோரோஸ்ட்ரக்சர்களை உருவாக்க CAS உடன் கூட்டு சேர்ந்தது.
3. தயாரிப்பு போர்ட்ஃபோலியோ & தளவாடங்கள்
· நிலையான சரக்கு: 6-அங்குலம் முதல் 12-அங்குல வேஃபர் வடிவங்கள்; யூனிட் விலை 43 முதல் 82 வரை (அளவு/பூச்சு சார்ந்தது), அதே நாள் ஷிப்பிங்.
· பயன்பாட்டு-குறிப்பிட்ட வடிவமைப்புகளுக்கான தொழில்நுட்ப ஆலோசனை (எ.கா., வெற்றிட அறைகளுக்கான படிநிலை ஜன்னல்கள், வெப்ப அதிர்ச்சி-எதிர்ப்பு கட்டமைப்புகள்).

