இரட்டை நிலைய சதுர இயந்திரம் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் கம்பி செயலாக்கம் 6/8/12 அங்குல மேற்பரப்பு தட்டையானது Ra≤0.5μm
உபகரண பண்புகள்:
(1) இரட்டை நிலைய ஒத்திசைவு செயலாக்கம்
· இரட்டை செயல்திறன்: இரண்டு சிலிக்கான் தண்டுகளை (Ø6"-12") ஒரே நேரத்தில் செயலாக்குவது சிம்ப்ளக்ஸ் உபகரணங்களுடன் ஒப்பிடும்போது உற்பத்தித்திறனை 40%-60% அதிகரிக்கிறது.
· சுயாதீன கட்டுப்பாடு: ஒவ்வொரு நிலையமும் வெவ்வேறு சிலிக்கான் கம்பி விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப வெட்டு அளவுருக்களை (பதற்றம், ஊட்ட வேகம்) சுயாதீனமாக சரிசெய்ய முடியும்.
(2) உயர் துல்லிய வெட்டு
· பரிமாண துல்லியம்: சதுர பட்டை பக்க தூர சகிப்புத்தன்மை ± 0.15 மிமீ, வரம்பு ≤ 0.20 மிமீ.
· மேற்பரப்பு தரம்: வெட்டு விளிம்பு உடைப்பு <0.5மிமீ, அடுத்தடுத்த அரைக்கும் அளவைக் குறைக்கவும்.
(3) அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு
· தகவமைப்பு வெட்டுதல்: சிலிக்கான் கம்பி உருவ அமைப்பின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு, வெட்டும் பாதையின் மாறும் சரிசெய்தல் (வளைந்த சிலிக்கான் கம்பியைச் செயலாக்குதல் போன்றவை).
· தரவு கண்காணிப்பு: MES அமைப்பு நறுக்குதலை ஆதரிக்க ஒவ்வொரு சிலிக்கான் கம்பியின் செயலாக்க அளவுருக்களையும் பதிவு செய்யவும்.
(4) குறைந்த நுகர்வு செலவு
· வைர கம்பி நுகர்வு: ≤0.06 மீ/மிமீ (சிலிக்கான் கம்பி நீளம்), கம்பி விட்டம் ≤0.30மிமீ.
· குளிரூட்டி சுழற்சி: வடிகட்டுதல் அமைப்பு சேவை ஆயுளை நீட்டித்து கழிவு திரவ வெளியேற்றத்தைக் குறைக்கிறது.
தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பாட்டு நன்மைகள்:
(1) வெட்டும் தொழில்நுட்ப உகப்பாக்கம்
- பல-வரி வெட்டுதல்: 100-200 வைரக் கோடுகள் இணையாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் வெட்டு வேகம் ≥40மிமீ/நிமிடம்.
- பதற்றக் கட்டுப்பாடு: கம்பி உடைப்பு அபாயத்தைக் குறைக்க மூடிய வளைய சரிசெய்தல் அமைப்பு (±1N).
(2) இணக்கத்தன்மை நீட்டிப்பு
- பொருள் தழுவல்: TOPCon, HJT மற்றும் பிற உயர் திறன் கொண்ட பேட்டரி சிலிக்கான் கம்பிகளுடன் இணக்கமான P-வகை/N-வகை மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானை ஆதரிக்கவும்.
- நெகிழ்வான அளவு: சிலிக்கான் கம்பி நீளம் 100-950 மிமீ, சதுர கம்பி பக்க தூரம் 166-233 மிமீ சரிசெய்யக்கூடியது.
(3) ஆட்டோமேஷன் மேம்படுத்தல்
- ரோபோ ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல்: சிலிக்கான் கம்பிகளை தானியங்கியாக ஏற்றுதல்/இறக்குதல், ≤3 நிமிடங்களுக்கு மேல் அடிக்கவும்.
- அறிவார்ந்த நோயறிதல்: திட்டமிடப்படாத வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்க முன்கணிப்பு பராமரிப்பு.
(4) தொழில்துறை தலைமை
- வேஃபர் ஆதரவு: சதுர தண்டுகளுடன் ≥100μm மிக மெல்லிய சிலிக்கானை செயலாக்க முடியும், துண்டு துண்டாக மாறும் விகிதம் <0.5%.
- ஆற்றல் நுகர்வு உகப்பாக்கம்: சிலிக்கான் கம்பியின் ஒரு யூனிட்டுக்கு ஆற்றல் நுகர்வு 30% குறைக்கப்படுகிறது (பாரம்பரிய உபகரணங்களுடன் ஒப்பிடும்போது).
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:
அளவுருவின் பெயர் | குறியீட்டு மதிப்பு |
பதப்படுத்தப்பட்ட பார்களின் எண்ணிக்கை | 2 துண்டுகள்/தொகுப்பு |
செயலாக்க பட்டை நீள வரம்பு | 100~950மிமீ |
எந்திர விளிம்பு வரம்பு | 166~233மிமீ |
வெட்டும் வேகம் | ≥40மிமீ/நிமிடம் |
வைர கம்பி வேகம் | 0~35மீ/வி |
வைர விட்டம் | 0.30 மிமீ அல்லது அதற்கும் குறைவாக |
நேரியல் நுகர்வு | 0.06 மீ/மிமீ அல்லது அதற்கும் குறைவாக |
இணக்கமான வட்ட கம்பி விட்டம் | முடிக்கப்பட்ட சதுர கம்பி விட்டம் +2 மிமீ, பாலிஷ் செய்யும் தேர்ச்சி விகிதத்தை உறுதி செய்யவும். |
அதிநவீன உடைப்பு கட்டுப்பாடு | மூல விளிம்பு ≤0.5மிமீ, சிப்பிங் இல்லை, உயர் மேற்பரப்பு தரம் |
வில் நீள சீரான தன்மை | சிலிக்கான் கம்பி சிதைவைத் தவிர, ப்ரொஜெக்ஷன் வரம்பு <1.5மிமீ |
இயந்திர பரிமாணங்கள் (ஒற்றை இயந்திரம்) | 4800×3020×3660மிமீ |
மொத்த மதிப்பிடப்பட்ட சக்தி | 56 கிலோவாட் |
உபகரணங்களின் இயல்பான எடை | 12டி |
இயந்திர துல்லிய குறியீட்டு அட்டவணை:
துல்லியமான பொருள் | சகிப்புத்தன்மை வரம்பு |
சதுரப் பட்டை விளிம்பு சகிப்புத்தன்மை | ±0.15மிமீ |
சதுரப் பட்டை விளிம்பு வரம்பு | ≤0.20மிமீ |
சதுரக் கம்பியின் அனைத்துப் பக்கங்களிலும் உள்ள கோணம் | 90°±0.05° |
சதுரக் கம்பியின் தட்டைத்தன்மை | ≤0.15மிமீ |
ரோபோ மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் | ±0.05மிமீ |
XKH இன் சேவைகள்:
XKH, மோனோ-கிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இரட்டை-நிலைய இயந்திரங்களுக்கான முழு-சுழற்சி சேவைகளை வழங்குகிறது, இதில் உபகரண தனிப்பயனாக்கம் (பெரிய சிலிக்கான் கம்பிகளுடன் இணக்கமானது), செயல்முறை ஆணையிடுதல் (வெட்டும் அளவுரு உகப்பாக்கம்), செயல்பாட்டு பயிற்சி மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய ஆதரவு (முக்கிய பாகங்கள் வழங்கல், தொலைநிலை நோயறிதல்), வாடிக்கையாளர்கள் அதிக மகசூல் (>99%) மற்றும் குறைந்த நுகர்வு செலவு உற்பத்தியை அடைவதை உறுதி செய்தல் மற்றும் தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகளை வழங்குதல் (AI கட்டிங் உகப்பாக்கம் போன்றவை) ஆகியவை அடங்கும். விநியோக காலம் 2-4 மாதங்கள் ஆகும்.
விரிவான வரைபடம்



