இரட்டை நிலைய சதுர இயந்திரம் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் கம்பி செயலாக்கம் 6/8/12 அங்குல மேற்பரப்பு தட்டையானது Ra≤0.5μm

குறுகிய விளக்கம்:

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இரட்டை நிலைய சதுர இயந்திரம் என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் கம்பிகளை (இங்காட்) செயலாக்குவதற்கான ஒரு திறமையான உபகரணமாகும். இது இரட்டை நிலைய ஒத்திசைவான செயல்பாட்டு வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது மற்றும் ஒரே நேரத்தில் இரண்டு சிலிக்கான் கம்பிகளை வெட்ட முடியும், உற்பத்தி திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இந்த சாதனம் வைர கம்பி வெட்டும் தொழில்நுட்பம் அல்லது உள் வட்ட வடிவ ரம்பம் கத்திகள் மூலம் உருளை வடிவ சிலிக்கான் கம்பிகளை சதுர/அரை-சதுர சிலிக்கான் தொகுதிகளாக (கிரிட்) செயலாக்குகிறது, அடுத்தடுத்த துண்டு துண்டாக வெட்டுவதற்கு (சிலிக்கான் வேஃபர்களை உருவாக்குவது போன்றவை) தயார் செய்கிறது, மேலும் ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்களில் சிலிக்கான் பொருள் செயலாக்க இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

உபகரண பண்புகள்:

(1) இரட்டை நிலைய ஒத்திசைவு செயலாக்கம்
· இரட்டை செயல்திறன்: இரண்டு சிலிக்கான் தண்டுகளை (Ø6"-12") ஒரே நேரத்தில் செயலாக்குவது சிம்ப்ளக்ஸ் உபகரணங்களுடன் ஒப்பிடும்போது உற்பத்தித்திறனை 40%-60% அதிகரிக்கிறது.

· சுயாதீன கட்டுப்பாடு: ஒவ்வொரு நிலையமும் வெவ்வேறு சிலிக்கான் கம்பி விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப வெட்டு அளவுருக்களை (பதற்றம், ஊட்ட வேகம்) சுயாதீனமாக சரிசெய்ய முடியும்.

(2) உயர் துல்லிய வெட்டு
· பரிமாண துல்லியம்: சதுர பட்டை பக்க தூர சகிப்புத்தன்மை ± 0.15 மிமீ, வரம்பு ≤ 0.20 மிமீ.

· மேற்பரப்பு தரம்: வெட்டு விளிம்பு உடைப்பு <0.5மிமீ, அடுத்தடுத்த அரைக்கும் அளவைக் குறைக்கவும்.

(3) அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு
· தகவமைப்பு வெட்டுதல்: சிலிக்கான் கம்பி உருவ அமைப்பின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு, வெட்டும் பாதையின் மாறும் சரிசெய்தல் (வளைந்த சிலிக்கான் கம்பியைச் செயலாக்குதல் போன்றவை).

· தரவு கண்காணிப்பு: MES அமைப்பு நறுக்குதலை ஆதரிக்க ஒவ்வொரு சிலிக்கான் கம்பியின் செயலாக்க அளவுருக்களையும் பதிவு செய்யவும்.

(4) குறைந்த நுகர்வு செலவு
· வைர கம்பி நுகர்வு: ≤0.06 மீ/மிமீ (சிலிக்கான் கம்பி நீளம்), கம்பி விட்டம் ≤0.30மிமீ.

· குளிரூட்டி சுழற்சி: வடிகட்டுதல் அமைப்பு சேவை ஆயுளை நீட்டித்து கழிவு திரவ வெளியேற்றத்தைக் குறைக்கிறது.

தொழில்நுட்பம் மற்றும் மேம்பாட்டு நன்மைகள்:

(1) வெட்டும் தொழில்நுட்ப உகப்பாக்கம்
- பல-வரி வெட்டுதல்: 100-200 வைரக் கோடுகள் இணையாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் வெட்டு வேகம் ≥40மிமீ/நிமிடம்.

- பதற்றக் கட்டுப்பாடு: கம்பி உடைப்பு அபாயத்தைக் குறைக்க மூடிய வளைய சரிசெய்தல் அமைப்பு (±1N).

(2) இணக்கத்தன்மை நீட்டிப்பு
- பொருள் தழுவல்: TOPCon, HJT மற்றும் பிற உயர் திறன் கொண்ட பேட்டரி சிலிக்கான் கம்பிகளுடன் இணக்கமான P-வகை/N-வகை மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானை ஆதரிக்கவும்.

- நெகிழ்வான அளவு: சிலிக்கான் கம்பி நீளம் 100-950 மிமீ, சதுர கம்பி பக்க தூரம் 166-233 மிமீ சரிசெய்யக்கூடியது.

(3) ஆட்டோமேஷன் மேம்படுத்தல்
- ரோபோ ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல்: சிலிக்கான் கம்பிகளை தானியங்கியாக ஏற்றுதல்/இறக்குதல், ≤3 நிமிடங்களுக்கு மேல் அடிக்கவும்.

- அறிவார்ந்த நோயறிதல்: திட்டமிடப்படாத வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்க முன்கணிப்பு பராமரிப்பு.

(4) தொழில்துறை தலைமை
- வேஃபர் ஆதரவு: சதுர தண்டுகளுடன் ≥100μm மிக மெல்லிய சிலிக்கானை செயலாக்க முடியும், துண்டு துண்டாக மாறும் விகிதம் <0.5%.

- ஆற்றல் நுகர்வு உகப்பாக்கம்: சிலிக்கான் கம்பியின் ஒரு யூனிட்டுக்கு ஆற்றல் நுகர்வு 30% குறைக்கப்படுகிறது (பாரம்பரிய உபகரணங்களுடன் ஒப்பிடும்போது).

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:

அளவுருவின் பெயர் குறியீட்டு மதிப்பு
பதப்படுத்தப்பட்ட பார்களின் எண்ணிக்கை 2 துண்டுகள்/தொகுப்பு
செயலாக்க பட்டை நீள வரம்பு 100~950மிமீ
எந்திர விளிம்பு வரம்பு 166~233மிமீ
வெட்டும் வேகம் ≥40மிமீ/நிமிடம்
வைர கம்பி வேகம் 0~35மீ/வி
வைர விட்டம் 0.30 மிமீ அல்லது அதற்கும் குறைவாக
நேரியல் நுகர்வு 0.06 மீ/மிமீ அல்லது அதற்கும் குறைவாக
இணக்கமான வட்ட கம்பி விட்டம் முடிக்கப்பட்ட சதுர கம்பி விட்டம் +2 மிமீ, பாலிஷ் செய்யும் தேர்ச்சி விகிதத்தை உறுதி செய்யவும்.
அதிநவீன உடைப்பு கட்டுப்பாடு மூல விளிம்பு ≤0.5மிமீ, சிப்பிங் இல்லை, உயர் மேற்பரப்பு தரம்
வில் நீள சீரான தன்மை சிலிக்கான் கம்பி சிதைவைத் தவிர, ப்ரொஜெக்ஷன் வரம்பு <1.5மிமீ
இயந்திர பரிமாணங்கள் (ஒற்றை இயந்திரம்) 4800×3020×3660மிமீ
மொத்த மதிப்பிடப்பட்ட சக்தி 56 கிலோவாட்
உபகரணங்களின் இயல்பான எடை 12டி

 

இயந்திர துல்லிய குறியீட்டு அட்டவணை:

துல்லியமான பொருள் சகிப்புத்தன்மை வரம்பு
சதுரப் பட்டை விளிம்பு சகிப்புத்தன்மை ±0.15மிமீ
சதுரப் பட்டை விளிம்பு வரம்பு ≤0.20மிமீ
சதுரக் கம்பியின் அனைத்துப் பக்கங்களிலும் உள்ள கோணம் 90°±0.05°
சதுரக் கம்பியின் தட்டைத்தன்மை ≤0.15மிமீ
ரோபோ மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் ±0.05மிமீ

 

XKH இன் சேவைகள்:

XKH, மோனோ-கிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இரட்டை-நிலைய இயந்திரங்களுக்கான முழு-சுழற்சி சேவைகளை வழங்குகிறது, இதில் உபகரண தனிப்பயனாக்கம் (பெரிய சிலிக்கான் கம்பிகளுடன் இணக்கமானது), செயல்முறை ஆணையிடுதல் (வெட்டும் அளவுரு உகப்பாக்கம்), செயல்பாட்டு பயிற்சி மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய ஆதரவு (முக்கிய பாகங்கள் வழங்கல், தொலைநிலை நோயறிதல்), வாடிக்கையாளர்கள் அதிக மகசூல் (>99%) மற்றும் குறைந்த நுகர்வு செலவு உற்பத்தியை அடைவதை உறுதி செய்தல் மற்றும் தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகளை வழங்குதல் (AI கட்டிங் உகப்பாக்கம் போன்றவை) ஆகியவை அடங்கும். விநியோக காலம் 2-4 மாதங்கள் ஆகும்.

விரிவான வரைபடம்

சிலிக்கான்-இங்காட்
இரட்டை நிலைய சதுர இயந்திரம் 5
இரட்டை நிலைய சதுர இயந்திரம் 4
இரட்டை செங்குத்து சதுர திறப்பான் 6

  • முந்தையது:
  • அடுத்தது:

  • உங்கள் செய்தியை இங்கே எழுதி எங்களுக்கு அனுப்புங்கள்.