முழு தானியங்கி வேஃபர் ரிங்-கட்டிங் கருவி வேலை செய்யும் அளவு 8 அங்குலம்/12 அங்குல வேஃபர் ரிங் கட்டிங்

முழுமையாக தானியங்கி வேஃபர் ரிங்-கட்டிங் கருவி வேலை செய்யும் அளவு 8 அங்குலம்/12 அங்குல வேஃபர் ரிங் கட்டிங் சிறப்பு படம்

குறுகிய விளக்கம்:

XKH, முன்-முனை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு மேம்பட்ட தீர்வைக் குறிக்கும் ஒரு முழுமையான தானியங்கி வேஃபர் எட்ஜ் டிரிம்மிங் அமைப்பை சுயாதீனமாக உருவாக்கியுள்ளது. இந்த உபகரணமானது புதுமையான மல்டி-அச்சு ஒத்திசைவான கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பத்தை உள்ளடக்கியது மற்றும் உயர்-விறைப்பு சுழல் அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது (அதிகபட்ச சுழற்சி வேகம்: 60,000 RPM), ±5μm வரை வெட்டு துல்லியத்துடன் துல்லியமான விளிம்பு டிரிம்மிங்கை வழங்குகிறது. இந்த அமைப்பு பல்வேறு குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளுடன் சிறந்த இணக்கத்தன்மையை நிரூபிக்கிறது, இதில் அடங்கும் ஆனால் இவை மட்டும் அல்ல:
1. சிலிக்கான் வேஃபர்கள் (Si): 8-12 அங்குல வேஃபர்களின் விளிம்பு செயலாக்கத்திற்கு ஏற்றது;
2. கூட்டு குறைக்கடத்திகள்: GaAs மற்றும் SiC போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்கள்;
3.சிறப்பு அடி மூலக்கூறுகள்: LT/LN உள்ளிட்ட பைசோ எலக்ட்ரிக் பொருள் வேஃபர்கள்;

இந்த மட்டு வடிவமைப்பு, வைரக் கத்திகள் மற்றும் லேசர் வெட்டும் தலைகள் உள்ளிட்ட பல நுகர்பொருட்களை விரைவாக மாற்றுவதை ஆதரிக்கிறது, தொழில்துறை தரநிலைகளை மீறும் பொருந்தக்கூடிய தன்மையுடன். சிறப்பு செயல்முறை தேவைகளுக்கு, நாங்கள் உள்ளடக்கிய விரிவான தீர்வுகளை வழங்குகிறோம்:
· அர்ப்பணிக்கப்பட்ட வெட்டும் நுகர்பொருட்கள் விநியோகம்
· தனிப்பயன் செயலாக்க சேவைகள்
· செயல்முறை அளவுரு உகப்பாக்க தீர்வுகள்

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

அளவுரு	அலகு	விவரக்குறிப்பு
அதிகபட்ச பணிப்பகுதி அளவு	mm	ø12" அளவு
சுழல்	கட்டமைப்பு	ஒற்றை சுழல்
	வேகம்	3,000–60,000 rpm
	வெளியீட்டு சக்தி	30,000 நிமிடத்தில் 1.8 kW (2.4 விருப்பத்தேர்வு)⁻¹
	மேக்ஸ் பிளேட் டியா.	Ø58 மி.மீ.
எக்ஸ்-அச்சு	வெட்டு வரம்பு	310 மி.மீ.
Y-அச்சு	வெட்டு வரம்பு	310 மி.மீ.
	படி அதிகரிப்பு	0.0001 மி.மீ.
	நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்	≤0.003 மிமீ/310 மிமீ, ≤0.002 மிமீ/5 மிமீ (ஒற்றைப் பிழை)
இசட்-அச்சு	இயக்கத் தீர்மானம்	0.00005 மி.மீ.
இசட்-அச்சு	மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை	0.001 மி.மீ.
θ-அச்சு	அதிகபட்ச சுழற்சி	380 டிகிரி
சுழல் வகை		ஒற்றை சுழல், மோதிரத்தை வெட்டுவதற்கு உறுதியான பிளேடு பொருத்தப்பட்டுள்ளது.
வளைய வெட்டும் துல்லியம்	μமீ	±50
வேஃபர் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்	μமீ	±50
ஒற்றை-வேஃபர் செயல்திறன்	நிமிடம்/வேஃபர்	8
மல்டி-வேஃபர் செயல்திறன்		ஒரே நேரத்தில் 4 வேஃபர்கள் வரை செயலாக்கப்படும்
உபகரண எடை	kg	≈3,200
உபகரண பரிமாணங்கள் (அடி×அடி)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

செயல்பாட்டுக் கொள்கை

இந்த முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள் மூலம் இந்த அமைப்பு விதிவிலக்கான டிரிம்மிங் செயல்திறனை அடைகிறது:

1. அறிவார்ந்த இயக்கக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு:
· உயர் துல்லிய நேரியல் மோட்டார் இயக்கி (மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்: ±0.5μm)
· சிக்கலான பாதை திட்டமிடலை ஆதரிக்கும் ஆறு-அச்சு ஒத்திசைவான கட்டுப்பாடு
· வெட்டு நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்யும் நிகழ்நேர அதிர்வு அடக்கும் வழிமுறைகள்

2. மேம்பட்ட கண்டறிதல் அமைப்பு:
· ஒருங்கிணைந்த 3D லேசர் உயர சென்சார் (துல்லியம்: 0.1μm)
· உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட CCD காட்சி நிலைப்படுத்தல் (5 மெகாபிக்சல்கள்)
· ஆன்லைன் தர ஆய்வு தொகுதி

3.முழுமையாக தானியங்கி செயல்முறை:
· தானியங்கி ஏற்றுதல்/இறக்குதல் (FOUP நிலையான இடைமுகத்துடன் இணக்கமானது)
· புத்திசாலித்தனமான வரிசையாக்க அமைப்பு
· மூடிய-சுழற்சி சுத்தம் செய்யும் அலகு (சுத்தம்: வகுப்பு 10)

வழக்கமான பயன்பாடுகள்

இந்த உபகரணம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளில் குறிப்பிடத்தக்க மதிப்பை வழங்குகிறது:

விண்ணப்பப் புலம்	செயல்முறை பொருட்கள்	தொழில்நுட்ப நன்மைகள்
ஐசி உற்பத்தி	8/12" சிலிக்கான் வேஃபர்கள்	லித்தோகிராஃபி சீரமைப்பை மேம்படுத்துகிறது
சக்தி சாதனங்கள்	SiC/GaN வேஃபர்கள்	விளிம்பு குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது
MEMS சென்சார்கள்	SOI வேஃபர்கள்	சாதன நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது
RF சாதனங்கள்	GaAs வேஃபர்கள்	உயர் அதிர்வெண் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது
மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்	மறுசீரமைக்கப்பட்ட வேஃபர்கள்	பேக்கேஜிங் மகசூலை அதிகரிக்கிறது

அம்சங்கள்

1. உயர் செயலாக்க செயல்திறனுக்கான நான்கு நிலைய கட்டமைப்பு;
2. நிலையான TAIKO வளைய பிணைப்பு மற்றும் நீக்கம்;
3. முக்கிய நுகர்பொருட்களுடன் அதிக இணக்கத்தன்மை;
4. மல்டி-அச்சு ஒத்திசைவான டிரிம்மிங் தொழில்நுட்பம் துல்லியமான விளிம்பு வெட்டுதலை உறுதி செய்கிறது;
5.முழுமையாக தானியங்கி செயல்முறை ஓட்டம் தொழிலாளர் செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது;
6. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பணிமேசை வடிவமைப்பு சிறப்பு கட்டமைப்புகளின் நிலையான செயலாக்கத்தை செயல்படுத்துகிறது;

செயல்பாடுகள்

1.ரிங்-டிராப் கண்டறிதல் அமைப்பு;
2. தானியங்கி பணிமேசை சுத்தம் செய்தல்;
3.புத்திசாலித்தனமான UV பிணைப்பு அமைப்பு;
4. செயல்பாட்டு பதிவு பதிவு;
5. தொழிற்சாலை ஆட்டோமேஷன் தொகுதி ஒருங்கிணைப்பு;

சேவை உறுதிப்பாடு

உங்கள் உற்பத்தி பயணம் முழுவதும் உபகரண செயல்திறன் மற்றும் செயல்பாட்டுத் திறனை அதிகரிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட விரிவான, முழு வாழ்க்கைச் சுழற்சி ஆதரவு சேவைகளை XKH வழங்குகிறது.
1. தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்
· தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உபகரண உள்ளமைவு: குறிப்பிட்ட பொருள் பண்புகள் (Si/SiC/GaAs) மற்றும் செயல்முறைத் தேவைகளின் அடிப்படையில் கணினி அளவுருக்களை (வெட்டும் வேகம், பிளேடு தேர்வு, முதலியன) மேம்படுத்த எங்கள் பொறியியல் குழு வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக ஒத்துழைக்கிறது.
· செயல்முறை மேம்பாட்டு ஆதரவு: விளிம்பு கடினத்தன்மை அளவீடு மற்றும் குறைபாடு மேப்பிங் உள்ளிட்ட விரிவான பகுப்பாய்வு அறிக்கைகளுடன் மாதிரி செயலாக்கத்தை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
· நுகர்பொருட்கள் கூட்டு மேம்பாடு: புதிய பொருட்களுக்கு (எ.கா., Ga₂O₃), பயன்பாட்டு-குறிப்பிட்ட பிளேடுகள்/லேசர் ஒளியியலை உருவாக்க முன்னணி நுகர்பொருள் உற்பத்தியாளர்களுடன் நாங்கள் கூட்டு சேர்ந்துள்ளோம்.

2. தொழில்முறை தொழில்நுட்ப ஆதரவு
· பிரத்யேக ஆன்-சைட் ஆதரவு: முக்கியமான ரேம்ப்-அப் கட்டங்களுக்கு (பொதுவாக 2-4 வாரங்கள்) சான்றளிக்கப்பட்ட பொறியாளர்களை நியமிக்கவும், இதில் அடங்கும்:
உபகரண அளவுத்திருத்தம் & செயல்முறை நேர்த்தியான சரிசெய்தல்
ஆபரேட்டர் திறன் பயிற்சி
ISO வகுப்பு 5 சுத்தமான அறை ஒருங்கிணைப்பு வழிகாட்டுதல்
· முன்னறிவிப்பு பராமரிப்பு: திட்டமிடப்படாத செயலிழப்பு நேரத்தைத் தடுக்க அதிர்வு பகுப்பாய்வு மற்றும் சர்வோ மோட்டார் நோயறிதலுடன் காலாண்டு சுகாதார சோதனைகள்.
· தொலைநிலை கண்காணிப்பு: தானியங்கி ஒழுங்கின்மை எச்சரிக்கைகளுடன் எங்கள் IoT தளம் (JCFront Connect®) மூலம் நிகழ்நேர உபகரண செயல்திறன் கண்காணிப்பு.

3. மதிப்பு கூட்டப்பட்ட சேவைகள்
· செயல்முறை அறிவுத் தளம்: பல்வேறு பொருட்களுக்கான 300+ சரிபார்க்கப்பட்ட வெட்டும் சமையல் குறிப்புகளை அணுகவும் (காலாண்டுக்கு ஒருமுறை புதுப்பிக்கப்பட்டது).
· தொழில்நுட்ப சாலை வரைபட சீரமைப்பு: வன்பொருள்/மென்பொருள் மேம்படுத்தல் பாதைகள் (எ.கா., AI- அடிப்படையிலான குறைபாடு கண்டறிதல் தொகுதி) மூலம் உங்கள் முதலீட்டை எதிர்காலத்திற்கு ஏற்றதாக மாற்றும்.
· அவசரகால பதில்: 4 மணிநேர தொலைதூர நோயறிதல் மற்றும் 48 மணிநேர ஆன்-சைட் தலையீடு (உலகளாவிய பாதுகாப்பு) உத்தரவாதம்.

4. சேவை உள்கட்டமைப்பு
· செயல்திறன் உத்தரவாதம்: SLA- ஆதரவுடன் கூடிய மறுமொழி நேரங்களுடன் ≥98% உபகரண இயக்க நேரத்திற்கு ஒப்பந்த உறுதிப்பாடு.

தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம்

நாங்கள் ஆண்டுக்கு இருமுறை வாடிக்கையாளர் திருப்தி கணக்கெடுப்புகளை நடத்தி, சேவை வழங்கலை மேம்படுத்த கைசன் முயற்சிகளை செயல்படுத்துகிறோம். எங்கள் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டுக் குழு, உபகரண மேம்படுத்தல்களில் கள நுண்ணறிவுகளை மொழிபெயர்க்கிறது - 30% ஃபார்ம்வேர் மேம்பாடுகள் வாடிக்கையாளர் கருத்துகளிலிருந்து உருவாகின்றன.