குறைக்கடத்திக்கான உயர்-தூய்மை இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் வேஃபர்கள், ஃபோட்டானிக்ஸ் ஆப்டிகல் பயன்பாடுகள் 2″4″6″8″12″
விரிவான வரைபடம்


குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியின் கண்ணோட்டம்

இன்றைய டிஜிட்டல் உலகத்தை இயக்கும் எண்ணற்ற நவீன சாதனங்களின் முதுகெலும்பாக குவார்ட்ஸ் வேஃபர்கள் அமைகின்றன. உங்கள் ஸ்மார்ட்போனில் உள்ள வழிசெலுத்தல் முதல் 5G அடிப்படை நிலையங்களின் முதுகெலும்பு வரை, உயர் செயல்திறன் கொண்ட மின்னணுவியல் மற்றும் ஃபோட்டானிக்ஸில் தேவையான நிலைத்தன்மை, தூய்மை மற்றும் துல்லியத்தை குவார்ட்ஸ் அமைதியாக வழங்குகிறது. நெகிழ்வான சுற்றுகளை ஆதரிப்பதாக இருந்தாலும் சரி, MEMS சென்சார்களை இயக்குவதாக இருந்தாலும் சரி, அல்லது குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங்கிற்கான அடிப்படையை உருவாக்குவதாக இருந்தாலும் சரி, குவார்ட்ஸின் தனித்துவமான பண்புகள் அதை அனைத்து தொழில்களிலும் இன்றியமையாததாக ஆக்குகின்றன.
"இணைந்த சிலிக்கா" அல்லது "இணைந்த குவார்ட்ஸ்", இது குவார்ட்ஸின் (SiO2) உருவமற்ற கட்டமாகும். போரோசிலிகேட் கண்ணாடியுடன் ஒப்பிடுகையில், உருகிய சிலிக்காவிற்கு எந்த சேர்க்கைகளும் இல்லை; எனவே இது அதன் தூய வடிவமான SiO2 இல் உள்ளது. சாதாரண கண்ணாடியுடன் ஒப்பிடும்போது உருகிய சிலிக்கா அகச்சிவப்பு மற்றும் புற ஊதா நிறமாலையில் அதிக பரிமாற்றத்தைக் கொண்டுள்ளது. உருகிய சிலிக்கா அல்ட்ராப்யூர் SiO2 ஐ உருக்கி மீண்டும் திடப்படுத்துவதன் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. மறுபுறம் செயற்கை உருகிய சிலிக்கா SiCl4 போன்ற சிலிக்கான் நிறைந்த வேதியியல் முன்னோடிகளிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அவை வாயுவாக்கப்பட்டு பின்னர் H2 + O2 வளிமண்டலத்தில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகின்றன. இந்த வழக்கில் உருவாகும் SiO2 தூசி ஒரு அடி மூலக்கூறில் சிலிக்காவுடன் இணைக்கப்படுகிறது. இணைக்கப்பட்ட சிலிக்கா தொகுதிகள் செதில்களாக வெட்டப்படுகின்றன, அதன் பிறகு செதில்கள் இறுதியாக மெருகூட்டப்படுகின்றன.
குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி வேஃபரின் முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்
-
மிக உயர்ந்த தூய்மை (≥99.99% SiO2)
பொருள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க வேண்டிய அல்ட்ரா-க்ளீன் செமிகண்டக்டர் மற்றும் ஃபோட்டானிக்ஸ் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது. -
பரந்த வெப்ப இயக்க வரம்பு
1100°C க்கும் அதிகமான கிரையோஜெனிக் வெப்பநிலையிலிருந்து சிதைவு அல்லது சிதைவு இல்லாமல் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கிறது. -
சிறந்த UV மற்றும் IR பரிமாற்றம்
ஆழமான புற ஊதா (DUV) இலிருந்து அருகிலுள்ள அகச்சிவப்பு (NIR) வரை சிறந்த ஒளியியல் தெளிவை வழங்குகிறது, துல்லியமான ஒளியியல் பயன்பாடுகளை ஆதரிக்கிறது. -
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்
வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. -
உயர்ந்த வேதியியல் எதிர்ப்பு
பெரும்பாலான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரைப்பான்களுக்கு மந்தமானது - வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது. -
மேற்பரப்பு பூச்சு நெகிழ்வுத்தன்மை
ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் MEMS தேவைகளுக்கு இணங்க, மிகவும் மென்மையான, ஒற்றை-பக்க அல்லது இரட்டை-பக்க மெருகூட்டப்பட்ட பூச்சுகளுடன் கிடைக்கிறது.
குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறை
இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் செதில்கள் தொடர்ச்சியான கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் துல்லியமான படிகள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன:
-
மூலப்பொருள் தேர்வு
உயர் தூய்மை இயற்கை குவார்ட்ஸ் அல்லது செயற்கை SiO₂ மூலங்களின் தேர்வு. -
உருகுதல் மற்றும் இணைவு
கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளிமண்டலத்தின் கீழ் மின்சார உலைகளில், சேர்த்தல்கள் மற்றும் குமிழ்களை அகற்ற குவார்ட்ஸ் ~2000°C இல் உருக்கப்படுகிறது. -
தொகுதி உருவாக்கம்
உருகிய சிலிக்கா திடமான தொகுதிகள் அல்லது இங்காட்களாக குளிர்விக்கப்படுகிறது. -
வேஃபர் ஸ்லைசிங்
இங்காட்களை வேஃபர் வெற்றிடங்களாக வெட்ட துல்லியமான வைரம் அல்லது கம்பி ரம்பங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. -
லேப்பிங் & பாலிஷிங்
இரண்டு மேற்பரப்புகளும் துல்லியமான ஒளியியல், தடிமன் மற்றும் கடினத்தன்மை விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்ய தட்டையாகவும் மெருகூட்டப்பட்டும் உள்ளன. -
சுத்தம் செய்தல் & ஆய்வு
ISO வகுப்பு 100/1000 சுத்தம் செய்யும் அறைகளில் வேஃபர்கள் சுத்தம் செய்யப்பட்டு, குறைபாடுகள் மற்றும் பரிமாண இணக்கத்திற்காக கடுமையான ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன.
குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி வேஃபரின் பண்புகள்
விவரக்குறிப்பு | அலகு | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
---|---|---|---|---|---|---|
விட்டம் / அளவு (அல்லது சதுரம்) | mm | 100 மீ | 150 மீ | 200 மீ | 250 மீ | 300 மீ |
சகிப்புத்தன்மை (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
தடிமன் | mm | 0.10 அல்லது அதற்கு மேல் | 0.30 அல்லது அதற்கு மேல் | 0.40 அல்லது அதற்கு மேல் | 0.50 அல்லது அதற்கு மேல் | 0.50 அல்லது அதற்கு மேல் |
முதன்மை குறிப்பு பிளாட் | mm | 32.5 தமிழ் | 57.5 (Tamil) தமிழ் | அரை-நாட்ச் | அரை-நாட்ச் | அரை-நாட்ச் |
எல்டிவி (5மிமீ×5மிமீ) | μமீ | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
டிடிவி | μமீ | 2 < | 3 < 3 | 3 < 3 | 5 | 5 |
வில் | μமீ | ±20 (~20) | ±30 (~30) | ±40 (முதல்) | ±40 (முதல்) | ±40 (முதல்) |
வார்ப் | μமீ | ≤ 30 ≤ 30 | 40 ≤ | 50 ≤ | 50 ≤ | 50 ≤ |
PLTV (5மிமீ×5மிமீ) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
விளிம்பு வட்டமிடுதல் | mm | SEMI M1.2 தரநிலையுடன் இணக்கமானது / IEC62276 ஐப் பார்க்கவும் | ||||
மேற்பரப்பு வகை | ஒற்றைப் பக்கம் பாலிஷ் செய்யப்பட்டது / இரட்டைப் பக்கம் பாலிஷ் செய்யப்பட்டது | |||||
பளபளப்பான பக்கம் ரா | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
பின் பக்க அளவுகோல்கள் | μமீ | பொதுவான 0.2-0.7 அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்டது |
குவார்ட்ஸ் vs. பிற வெளிப்படையான பொருட்கள்
சொத்து | குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி | போரோசிலிகேட் கண்ணாடி | நீலக்கல் | நிலையான கண்ணாடி |
---|---|---|---|---|
அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | ~1100°C வெப்பநிலை | ~500°C வெப்பநிலை | ~2000°C வெப்பநிலை | ~200°C வெப்பநிலை |
புற ஊதா பரவல் | சிறந்தது (JGS1) | ஏழை | நல்லது | மிகவும் மோசமானது |
வேதியியல் எதிர்ப்பு | சிறப்பானது | மிதமான | சிறப்பானது | ஏழை |
தூய்மை | மிக அதிகமாக | குறைவாக இருந்து மிதமானது | உயர் | குறைந்த |
வெப்ப விரிவாக்கம் | மிகக் குறைவு | மிதமான | குறைந்த | உயர் |
செலவு | மிதமானது முதல் அதிகம் | குறைந்த | உயர் | மிகக் குறைவு |
குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி வேஃபரின் அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்
கேள்வி 1: இணைந்த குவார்ட்ஸுக்கும் இணைந்த சிலிக்காவிற்கும் என்ன வித்தியாசம்?
இரண்டும் SiO₂ இன் உருவமற்ற வடிவங்களாக இருந்தாலும், உருகிய குவார்ட்ஸ் பொதுவாக இயற்கையான குவார்ட்ஸ் மூலங்களிலிருந்து உருவாகிறது, அதேசமயம் உருகிய சிலிக்கா செயற்கையாக உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. செயல்பாட்டு ரீதியாக, அவை ஒத்த செயல்திறனை வழங்குகின்றன, ஆனால் உருகிய சிலிக்கா சற்று அதிக தூய்மை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டைக் கொண்டிருக்கலாம்.
கேள்வி 2: அதிக வெற்றிட சூழல்களில் இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் வேஃபர்களைப் பயன்படுத்த முடியுமா?
ஆம். குறைந்த வாயு வெளியேற்றும் பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு காரணமாக, இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் வேஃபர்கள் வெற்றிட அமைப்புகள் மற்றும் விண்வெளி பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்தவை.
Q3: இந்த வேஃபர்கள் ஆழமான UV லேசர் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதா?
முற்றிலும். இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் ~185 nm வரை அதிக டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸைக் கொண்டுள்ளது, இது DUV ஒளியியல், லித்தோகிராஃபி முகமூடிகள் மற்றும் எக்ஸைமர் லேசர் அமைப்புகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
Q4: நீங்கள் தனிப்பயன் வேஃபர் தயாரிப்பை ஆதரிக்கிறீர்களா?
ஆம். உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுத் தேவைகளின் அடிப்படையில், விட்டம், தடிமன், மேற்பரப்புத் தரம், தட்டையானவை/நோட்சுகள் மற்றும் லேசர் வடிவமைத்தல் உள்ளிட்ட முழுமையான தனிப்பயனாக்கத்தை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.
எங்களை பற்றி
சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.