HPSI SiCOI வேஃபர் 4 6 அங்குல ஹைட்ரோபோலிக் பிணைப்பு

குறுகிய விளக்கம்:

உயர்-தூய்மை அரை-இன்சுலேடிங் (HPSI) 4H-SiCOI வேஃபர்கள் மேம்பட்ட பிணைப்பு மற்றும் மெல்லிய தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகின்றன. 4H HPSI சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளை வெப்ப ஆக்சைடு அடுக்குகளில் இரண்டு முக்கிய முறைகள் மூலம் பிணைப்பதன் மூலம் வேஃபர்கள் தயாரிக்கப்படுகின்றன: ஹைட்ரோஃபிலிக் (நேரடி) பிணைப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு செயல்படுத்தப்பட்ட பிணைப்பு. பிந்தையது பிணைப்பு தரத்தை மேம்படுத்தவும் குமிழ்களைக் குறைக்கவும் ஒரு இடைநிலை மாற்றியமைக்கப்பட்ட அடுக்கை (அமார்ஃபஸ் சிலிக்கான், அலுமினியம் ஆக்சைடு அல்லது டைட்டானியம் ஆக்சைடு போன்றவை) அறிமுகப்படுத்துகிறது, குறிப்பாக ஆப்டிகல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது. சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கின் தடிமன் கட்டுப்பாடு அயன் இம்ப்ளான்டேஷன் அடிப்படையிலான ஸ்மார்ட் கட் அல்லது அரைத்தல் மற்றும் CMP பாலிஷ் செய்யும் செயல்முறைகள் மூலம் அடையப்படுகிறது. ஸ்மார்ட் கட் உயர் துல்லிய தடிமன் சீரான தன்மையை (±20nm சீரான தன்மையுடன் 50nm–900nm) வழங்குகிறது, ஆனால் அயன் இம்ப்ளான்டேஷன் காரணமாக சிறிய படிக சேதத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது ஆப்டிகல் சாதன செயல்திறனை பாதிக்கிறது. அரைத்தல் மற்றும் CMP பாலிஷ் செய்தல் பொருள் சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது மற்றும் தடிமனான படலங்கள் (350nm–500µm) மற்றும் குவாண்டம் அல்லது PIC பயன்பாடுகளுக்கு விரும்பப்படுகிறது, இருப்பினும் குறைந்த தடிமன் சீரான தன்மை (±100nm). நிலையான 6-அங்குல வேஃபர்கள், விதிவிலக்கான மேற்பரப்பு மென்மையுடன் (Rq < 0.2nm) 675µm Si அடி மூலக்கூறுகளின் மேல் 3µm SiO2 அடுக்கில் 1µm ±0.1µm SiC அடுக்கைக் கொண்டுள்ளன. இந்த HPSI SiCOI வேஃபர்கள் சிறந்த பொருள் தரம் மற்றும் செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மையுடன் MEMS, PIC, குவாண்டம் மற்றும் ஆப்டிகல் சாதன உற்பத்தியை பூர்த்தி செய்கின்றன.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

SiCOI வேஃபர் (சிலிக்கான் கார்பைடு-ஆன்-இன்சுலேட்டர்) பண்புகள் கண்ணோட்டம்

SiCOI வேஃபர்கள் என்பது புதிய தலைமுறை குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு ஆகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஐ ஒரு மின்கடத்தா அடுக்குடன், பெரும்பாலும் SiO₂ அல்லது சபையருடன் இணைத்து, மின் மின்னணுவியல், RF மற்றும் ஃபோட்டானிக்ஸில் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. முக்கிய பிரிவுகளாக வகைப்படுத்தப்பட்ட அவற்றின் பண்புகளின் விரிவான கண்ணோட்டம் கீழே உள்ளது:

சொத்து	விளக்கம்
பொருள் கலவை	சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்கு ஒரு மின்கடத்தா அடி மூலக்கூறில் (பொதுவாக SiO₂ அல்லது சபையர்) பிணைக்கப்பட்டுள்ளது.
படிக அமைப்பு	பொதுவாக SiC இன் 4H அல்லது 6H பாலிடைப்கள், உயர் படிகத் தரம் மற்றும் சீரான தன்மைக்கு பெயர் பெற்றவை.
மின் பண்புகள்	அதிக முறிவு மின்சார புலம் (~3 MV/cm), அகலமான பட்டை இடைவெளி (4H-SiCக்கு ~3.26 eV), குறைந்த கசிவு மின்னோட்டம்
வெப்ப கடத்துத்திறன்	அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (~300 W/m·K), திறமையான வெப்பச் சிதறலை செயல்படுத்துகிறது.
மின்கடத்தா அடுக்கு	காப்பு அடுக்கு (SiO₂ அல்லது சபையர்) மின் தனிமைப்படுத்தலை வழங்குகிறது மற்றும் ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவைக் குறைக்கிறது.
இயந்திர பண்புகள்	அதிக கடினத்தன்மை (~9 மோஸ் அளவுகோல்), சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை
மேற்பரப்பு பூச்சு	பொதுவாக குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தியுடன் கூடிய மிக மென்மையானது, சாதன உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
பயன்பாடுகள்	அதிக வெப்பநிலை மற்றும் மின்னழுத்த சகிப்புத்தன்மை தேவைப்படும் மின் மின்னணுவியல், MEMS சாதனங்கள், RF சாதனங்கள், உணரிகள்

SiCOI வேஃபர்கள் (சிலிக்கான் கார்பைடு-ஆன்-இன்சுலேட்டர்) ஒரு மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு அமைப்பைக் குறிக்கின்றன, இது உயர்தர மெல்லிய அடுக்கு சிலிக்கான் கார்பைடை (SiC) ஒரு மின்கடத்தா அடுக்கில் பிணைக்கப்பட்டுள்ளது, பொதுவாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO₂) அல்லது சபையர். சிலிக்கான் கார்பைடு என்பது ஒரு பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி ஆகும், இது உயர் மின்னழுத்தங்கள் மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலைகளைத் தாங்கும் திறனுக்காக அறியப்படுகிறது, அதோடு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர்ந்த இயந்திர கடினத்தன்மையும் உள்ளது, இது உயர்-சக்தி, உயர்-அதிர்வெண் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

SiCOI வேஃபர்களில் உள்ள இன்சுலேடிங் லேயர், பயனுள்ள மின் தனிமைப்படுத்தலை வழங்குகிறது, ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு மற்றும் சாதனங்களுக்கு இடையேயான கசிவு மின்னோட்டங்களைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த சாதன செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுடன் மிக மென்மையான தன்மையை அடைய, மைக்ரோ மற்றும் நானோ அளவிலான சாதன உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், வேஃபர் மேற்பரப்பு துல்லியமாக மெருகூட்டப்பட்டுள்ளது.

இந்தப் பொருள் அமைப்பு SiC சாதனங்களின் மின் பண்புகளை மேம்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல் வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையையும் பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. இதன் விளைவாக, SiCOI செதில்கள் மின் மின்னணுவியல், ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) கூறுகள், மைக்ரோ எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் (MEMS) சென்சார்கள் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை மின்னணுவியல் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒட்டுமொத்தமாக, SiCOI செதில்கள் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் விதிவிலக்கான இயற்பியல் பண்புகளை ஒரு மின்கடத்தா அடுக்கின் மின் தனிமைப்படுத்தும் நன்மைகளுடன் இணைத்து, அடுத்த தலைமுறை உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு ஒரு சிறந்த அடித்தளத்தை வழங்குகின்றன.

SiCOI வேஃபரின் பயன்பாடு

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் சாதனங்கள்

உயர் மின்னழுத்த மற்றும் உயர் சக்தி சுவிட்சுகள், MOSFETகள் மற்றும் டையோட்கள்

SiC இன் பரந்த பட்டை இடைவெளி, அதிக முறிவு மின்னழுத்தம் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றிலிருந்து நன்மை.

மின் மாற்ற அமைப்புகளில் குறைக்கப்பட்ட மின் இழப்புகள் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்திறன்

ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) கூறுகள்

உயர் அதிர்வெண் டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் பெருக்கிகள்

மின்கடத்தா அடுக்கு காரணமாக குறைந்த ஒட்டுண்ணி மின்தேக்கம் RF செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

5G தொடர்பு மற்றும் ரேடார் அமைப்புகளுக்கு ஏற்றது

நுண் மின் இயந்திர அமைப்புகள் (MEMS)

கடுமையான சூழல்களில் இயங்கும் சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்கள்

இயந்திர வலிமை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை சாதனத்தின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது

அழுத்த உணரிகள், முடுக்க மானிகள் மற்றும் கைரோஸ்கோப்புகள் ஆகியவை அடங்கும்

உயர் வெப்பநிலை மின்னணுவியல்

வாகனம், விண்வெளி மற்றும் தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கான மின்னணுவியல்

சிலிக்கான் செயலிழக்கும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படும்.

ஃபோட்டானிக் சாதனங்கள்

மின்கடத்தா அடி மூலக்கூறுகளில் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் கூறுகளுடன் ஒருங்கிணைப்பு

மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப மேலாண்மையுடன் ஆன்-சிப் ஃபோட்டானிக்ஸை இயக்குகிறது.

SiCOI வேஃபரின் கேள்வி பதில்

கே:SiCOI வேஃபர் என்றால் என்ன?

ஒரு:SiCOI வேஃபர் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு-ஆன்-இன்சுலேட்டர் வேஃபரைக் குறிக்கிறது. இது ஒரு வகை குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறு ஆகும், அங்கு சிலிக்கான் கார்பைட்டின் (SiC) ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஒரு இன்சுலேடிங் லேயரில் பிணைக்கப்பட்டுள்ளது, பொதுவாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO₂) அல்லது சில நேரங்களில் சபையர். இந்த அமைப்பு நன்கு அறியப்பட்ட சிலிக்கான்-ஆன்-இன்சுலேட்டர் (SOI) வேஃபர்களைப் போன்றது, ஆனால் சிலிக்கானுக்கு பதிலாக SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறது.