5G/6G தகவல்தொடர்புகளுக்கான LiTaO3 வேஃபர் 2 அங்குலம்-8 அங்குலம் 10x10x0.5 மிமீ 1 தேக்கரண்டி 2 தேக்கரண்டி
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
பெயர் | ஆப்டிகல்-கிரேடு LiTaO3 | ஒலி மேசை நிலை LiTaO3 |
அச்சு | Z வெட்டு + / - 0.2° | 36° Y வெட்டு / 42° Y வெட்டு / X வெட்டு (+ / - 0.2°) |
விட்டம் | 76.2மிமீ + / - 0.3மிமீ/ 100±0.2மிமீ | 76.2மிமீ + /-0.3மிமீ 100மிமீ + /-0.3மிமீ 0r 150±0.5மிமீ |
டேட்டம் பிளேன் | 22மிமீ + / - 2மிமீ | 22மிமீ + /-2மிமீ 32மிமீ + /-2மிமீ |
தடிமன் | 500um + /-5மிமீ 1000um + /-5மிமீ | 500um + /-20மிமீ 350um + /-20மிமீ |
டிடிவி | ≤ 10um (அ) | ≤ 10um (அ) |
கியூரி வெப்பநிலை | 605 °C + / - 0.7 °C (DTAமுறை) | 605 °C + / -3 °C (DTAமுறை |
மேற்பரப்பு தரம் | இரட்டை பக்க பாலிஷ் | இரட்டை பக்க பாலிஷ் |
சாம்ஃபர்டு விளிம்புகள் | விளிம்பு வட்டமிடுதல் | விளிம்பு வட்டமிடுதல் |
முக்கிய பண்புகள்
1.மின் மற்றும் ஒளியியல் செயல்திறன்
· எலக்ட்ரோ-ஆப்டிக் குணகம்: r33 30 pm/V (X-கட்) ஐ அடைகிறது, இது LiNbO3 ஐ விட 1.5× அதிகமாகும், இது அல்ட்ரா-வைட்பேண்ட் எலக்ட்ரோ-ஆப்டிக் பண்பேற்றத்தை (>40 GHz அலைவரிசை) செயல்படுத்துகிறது.
· பரந்த நிறமாலை பதில்: பரிமாற்ற வரம்பு 0.4–5.0 μm (8 மிமீ தடிமன்), புற ஊதா உறிஞ்சுதல் விளிம்பு 280 nm வரை குறைவாக உள்ளது, UV லேசர்கள் மற்றும் குவாண்டம் புள்ளி சாதனங்களுக்கு ஏற்றது.
· குறைந்த பைரோஎலக்ட்ரிக் குணகம்: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), உயர் வெப்பநிலை அகச்சிவப்பு உணரிகளில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
2.வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகள்
· அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: 4.6 W/m·K (X-வெட்டு), குவார்ட்ஸை விட நான்கு மடங்கு, -200–500°C வெப்ப சுழற்சியைத் தாங்கும்.
· குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்க சிலிக்கான் பேக்கேஜிங்குடன் இணக்கமானது.
3. குறைபாடு கட்டுப்பாடு மற்றும் செயலாக்க துல்லியம்
· நுண்குழாய் அடர்த்தி: <0.1 செ.மீ⁻² (8-அங்குல செதில்கள்), இடப்பெயர்வு அடர்த்தி <500 செ.மீ⁻² (KOH பொறித்தல் மூலம் சரிபார்க்கப்பட்டது).
· மேற்பரப்பு தரம்: CMP-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட Ra <0.5 nm, EUV லித்தோகிராஃபி-தர தட்டையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
முக்கிய பயன்பாடுகள்
டொமைன் | பயன்பாட்டு காட்சிகள் | தொழில்நுட்ப நன்மைகள் |
ஆப்டிகல் கம்யூனிகேஷன்ஸ் | 100G/400G DWDM லேசர்கள், சிலிக்கான் ஃபோட்டானிக்ஸ் கலப்பின தொகுதிகள் | LiTaO3 வேஃபரின் பரந்த நிறமாலை பரிமாற்றம் மற்றும் குறைந்த அலை வழிகாட்டி இழப்பு (α <0.1 dB/cm) C-பேண்ட் விரிவாக்கத்தை செயல்படுத்துகிறது. |
5G/6G தொடர்புகள் | SAW வடிப்பான்கள் (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR வடிப்பான்கள் | 42°Y-வெட்டு வேஃபர்கள் Kt² >15% ஐ அடைகின்றன, குறைந்த செருகல் இழப்பை (<1.5 dB) மற்றும் அதிக ரோல்-ஆஃப் (>30 dB) வழங்குகின்றன. |
குவாண்டம் டெக்னாலஜிஸ் | ஒற்றை-ஃபோட்டான் கண்டறிபவர்கள், அளவுரு கீழ்-மாற்ற மூலங்கள் | அதிக நேரியல் அல்லாத குணகம் (χ(2)=40 pm/V) மற்றும் குறைந்த இருண்ட எண்ணிக்கை விகிதம் (<100 எண்ணிக்கைகள்/வி) குவாண்டம் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன. |
தொழில்துறை உணர்தல் | உயர் வெப்பநிலை அழுத்த உணரிகள், மின்னோட்ட மின்மாற்றிகள் | LiTaO3 வேஃபரின் பைசோ எலக்ட்ரிக் பதில் (g33 >20 mV/m) மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை (>400°C) ஆகியவை தீவிர சூழல்களுக்கு ஏற்றவை. |
XKH சேவைகள்
1. தனிப்பயன் வேஃபர் உற்பத்தி
· அளவு மற்றும் வெட்டுதல்: X/Y/Z-வெட்டு, 42°Y-வெட்டு மற்றும் தனிப்பயன் கோண வெட்டுக்கள் (±0.01° சகிப்புத்தன்மை) கொண்ட 2–8-இன்ச் வேஃபர்கள்.
· ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாடு: மின்-ஒளியியல் குணகங்கள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த, சோக்ரால்ஸ்கி முறை (செறிவு வரம்பு 10¹⁶–10¹⁹ செ.மீ⁻³) வழியாக Fe, Mg ஊக்கமருந்து.
2. மேம்பட்ட செயல்முறை தொழில்நுட்பங்கள்
(ஆ)
· பீரியடிக் பாலிங் (PPLT): LTOI வேஃபர்களுக்கான ஸ்மார்ட்-கட் தொழில்நுட்பம், ±10 nm டொமைன் கால துல்லியம் மற்றும் குவாசி-ஃபேஸ்-மேட்ச்டு (QPM) அதிர்வெண் மாற்றத்தை அடைகிறது.
· பன்முக ஒருங்கிணைப்பு: தடிமன் கட்டுப்பாடு (300–600 nm) மற்றும் உயர் அதிர்வெண் SAW வடிகட்டிகளுக்கு 8.78 W/m·K வரை வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட Si- அடிப்படையிலான LiTaO3 கலப்பு வேஃபர்கள் (POI).
3. தர மேலாண்மை அமைப்புகள்
(ஆ)
· முழுமையான சோதனை: ராமன் நிறமாலையியல் (பாலிடைப் சரிபார்ப்பு), XRD (படிகத்தன்மை), AFM (மேற்பரப்பு உருவவியல்), மற்றும் ஒளியியல் சீரான தன்மை சோதனை (Δn <5×10⁻⁵).
4. உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலி ஆதரவு
(ஆ)
· உற்பத்தி திறன்: மாதாந்திர வெளியீடு >5,000 வேஃபர்கள் (8-அங்குலம்: 70%), 48 மணிநேர அவசர விநியோகத்துடன்.
· தளவாட நெட்வொர்க்: வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பேக்கேஜிங் மூலம் வான்/கடல் சரக்கு வழியாக ஐரோப்பா, வட அமெரிக்கா மற்றும் ஆசிய-பசிபிக் பகுதிகளில் கவரேஜ்.


