LNOI வேஃபர் (இன்சுலேட்டரில் லித்தியம் நியோபேட்) தொலைத்தொடர்புகள் உயர் எலக்ட்ரோ-ஆப்டிக் உணர்தல்
விரிவான வரைபடம்
கண்ணோட்டம்
வேஃபர் பெட்டியின் உள்ளே சமச்சீர் பள்ளங்கள் உள்ளன, அவற்றின் பரிமாணங்கள் வேஃபரின் இரு பக்கங்களையும் ஆதரிக்க கண்டிப்பாக ஒரே மாதிரியாக இருக்கும். படிகப் பெட்டி பொதுவாக வெப்பநிலை, தேய்மானம் மற்றும் நிலையான மின்சாரத்தை எதிர்க்கும் ஒளிஊடுருவக்கூடிய பிளாஸ்டிக் PP பொருளால் ஆனது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உலோக செயல்முறைப் பிரிவுகளை வேறுபடுத்துவதற்கு வெவ்வேறு வண்ண சேர்க்கைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. குறைக்கடத்திகளின் சிறிய முக்கிய அளவு, அடர்த்தியான வடிவங்கள் மற்றும் உற்பத்தியில் மிகவும் கடுமையான துகள் அளவு தேவைகள் காரணமாக, வெவ்வேறு உற்பத்தி இயந்திரங்களின் நுண்ணிய சுற்றுச்சூழல் பெட்டி எதிர்வினை குழியுடன் இணைக்க வேஃபர் பெட்டிக்கு ஒரு சுத்தமான சூழல் உத்தரவாதம் அளிக்கப்பட வேண்டும்.
உற்பத்தி முறை
LNOI செதில்களின் உற்பத்தி பல துல்லியமான படிகளைக் கொண்டுள்ளது:
படி 1: ஹீலியம் அயன் பொருத்துதல்ஹீலியம் அயனிகள் ஒரு அயனி இம்பிளான்டரைப் பயன்படுத்தி ஒரு மொத்த LN படிகத்திற்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த அயனிகள் ஒரு குறிப்பிட்ட ஆழத்தில் தங்கி, பலவீனமான தளத்தை உருவாக்குகின்றன, இது இறுதியில் படப் பிரிவை எளிதாக்கும்.
படி 2: அடிப்படை அடி மூலக்கூறு உருவாக்கம்PECVD அல்லது வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்தைப் பயன்படுத்தி ஒரு தனி சிலிக்கான் அல்லது LN வேஃபர் SiO2 உடன் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகிறது அல்லது அடுக்கு செய்யப்படுகிறது. அதன் மேல் மேற்பரப்பு உகந்த பிணைப்புக்காக பிளானரைஸ் செய்யப்பட்டுள்ளது.
படி 3: LN ஐ அடி மூலக்கூறுடன் பிணைத்தல்அயன்-பொருத்தப்பட்ட LN படிகம் புரட்டப்பட்டு நேரடி வேஃபர் பிணைப்பைப் பயன்படுத்தி அடிப்படை வேஃபருடன் இணைக்கப்படுகிறது. ஆராய்ச்சி அமைப்புகளில், குறைவான கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் பிணைப்பை எளிதாக்க பென்சோசைக்ளோபியூட்டீன் (BCB) ஒரு பிசின் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
படி 4: வெப்ப சிகிச்சை மற்றும் படலப் பிரிப்புபொருத்தப்பட்ட ஆழத்தில் அனீலிங் குமிழி உருவாவதை செயல்படுத்துகிறது, இதனால் மெல்லிய படலம் (மேல் LN அடுக்கு) மொத்தமாக பிரிக்கப்படுகிறது. உரித்தல் செயல்முறையை முடிக்க இயந்திர விசை பயன்படுத்தப்படுகிறது.
படி 5: மேற்பரப்பு பாலிஷ் செய்தல்மேல் LN மேற்பரப்பை மென்மையாக்க கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங் (CMP) பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது ஒளியியல் தரம் மற்றும் சாதன மகசூலை மேம்படுத்துகிறது.
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
| பொருள் | ஆப்டிகல் தரம் லிஎன்பிஓ3 வேஃப்ஸ்(வெள்ளை or கருப்பு) | |
| கியூரி வெப்பநிலை | 1142±0.7℃ | |
| வெட்டுதல் கோணம் | X/Y/Z போன்றவை | |
| விட்டம்/அளவு | 2”/3”/4” ±0.03மிமீ | |
| டோல்(±) | <0.20 மிமீ ±0.005மிமீ | |
| தடிமன் | 0.18～0.5மிமீ அல்லது அதற்கு மேல் | |
| முதன்மை பிளாட் | 16மிமீ/22மிமீ/32மிமீ | |
| டிடிவி | <3μmமீ | |
| வில் | -30 - | |
| வார்ப் | <40μm | |
| நோக்குநிலை பிளாட் | அனைத்தும் கிடைக்கின்றன | |
| மேற்பரப்பு வகை | ஒற்றை பக்க பாலிஷ்டு (SSP)/இரட்டை பக்க பாலிஷ்டு (DSP) | |
| மெருகூட்டப்பட்டது பக்கம் Ra | <0.5நா.மீ. | |
| எஸ்/டி | 20/10 | |
| விளிம்பு அளவுகோல்கள் | ஆர்=0.2மிமீ சி-வகை or புல்நோஸ் | |
| தரம் | இலவசம் of விரிசல் (குமிழ்கள்) மற்றும் சேர்த்தல்கள்) | |
| ஆப்டிகல் ஊக்கமருந்து | மிகி/ இரும்பு/ துத்தநாகம்/ மிகிO முதலியன க்கான ஒளியியல் தரம் எல்.என். வேஃபர்கள் ஒன்றுக்கு கோரப்பட்டது | |
| வேஃபர் மேற்பரப்பு அளவுகோல்கள் | ஒளிவிலகல் குறியீடு | எண்=2.2878/Ne=2.2033 @632nm அலைநீளம்/பிரிசம் இணைப்பு முறை. |
| மாசுபாடு, | யாரும் இல்லை | |
| துகள்கள் c>0.3μ m | <=30 | |
| கீறல், சிப்பிங் | யாரும் இல்லை | |
| குறைபாடு | விளிம்பு விரிசல்கள், கீறல்கள், ரம்பக் குறிகள், கறைகள் இல்லை. | |
| பேக்கேஜிங் | அளவு/வேஃபர் பெட்டி | ஒரு பெட்டிக்கு 25 துண்டுகள் |
பயன்பாட்டு வழக்குகள்
அதன் பல்துறை திறன் மற்றும் செயல்திறன் காரணமாக, LNOI பல தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:
ஃபோட்டானிக்ஸ்:காம்பாக்ட் மாடுலேட்டர்கள், மல்டிபிளெக்சர்கள் மற்றும் ஃபோட்டானிக் சுற்றுகள்.
RF/ஒலியியல்:ஒலி-ஒளியியல் மாடுலேட்டர்கள், RF வடிகட்டிகள்.
குவாண்டம் கம்ப்யூட்டிங்:நேரியல் அல்லாத அதிர்வெண் கலவைகள் மற்றும் ஃபோட்டான்-ஜோடி ஜெனரேட்டர்கள்.
பாதுகாப்பு & விண்வெளி:குறைந்த இழப்பு ஆப்டிகல் கைரோக்கள், அதிர்வெண்-மாற்றும் சாதனங்கள்.
மருத்துவ சாதனங்கள்:ஆப்டிகல் பயோசென்சர்கள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் சமிக்ஞை ஆய்வுகள்.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்
கேள்வி: ஆப்டிகல் அமைப்புகளில் SOI ஐ விட LNOI ஏன் விரும்பப்படுகிறது?
A:LNOI சிறந்த எலக்ட்ரோ-ஆப்டிக் குணகங்களையும் பரந்த வெளிப்படைத்தன்மை வரம்பையும் கொண்டுள்ளது, இது ஃபோட்டானிக் சுற்றுகளில் அதிக செயல்திறனை செயல்படுத்துகிறது.
கேள்வி: பிரிந்த பிறகு CMP கட்டாயமா?
A:ஆம். அயன்-ஸ்லைசிங்கிற்குப் பிறகு வெளிப்படும் LN மேற்பரப்பு கரடுமுரடானது மற்றும் ஆப்டிகல்-தர விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்ய மெருகூட்டப்பட வேண்டும்.
கே: கிடைக்கக்கூடிய அதிகபட்ச வேஃபர் அளவு என்ன?
A:வணிக LNOI வேஃபர்கள் முதன்மையாக 3” மற்றும் 4” அளவுள்ளவை, இருப்பினும் சில சப்ளையர்கள் 6” வகைகளை உருவாக்கி வருகின்றனர்.
கேள்வி: LN அடுக்கைப் பிரித்த பிறகு மீண்டும் பயன்படுத்த முடியுமா?
A:அடிப்படை படிகத்தை பல முறை மீண்டும் மெருகூட்டலாம் மற்றும் மீண்டும் பயன்படுத்தலாம், இருப்பினும் பல சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு தரம் குறையக்கூடும்.
கே: LNOI வேஃபர்கள் CMOS செயலாக்கத்துடன் இணக்கமாக உள்ளதா?
A:ஆம், அவை வழக்கமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுடன் சீரமைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, குறிப்பாக சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகள் பயன்படுத்தப்படும்போது.
