மைக்ரோஜெட் லேசர் தொழில்நுட்ப உபகரணங்கள் வேஃபர் வெட்டும் SiC பொருள் செயலாக்கம்

மைக்ரோஜெட் லேசர் தொழில்நுட்ப உபகரணங்கள் வேஃபர் கட்டிங் SiC பொருள் செயலாக்கம் சிறப்பு படம்

குறுகிய விளக்கம்:

மைக்ரோஜெட் லேசர் தொழில்நுட்ப உபகரணங்கள் என்பது உயர் ஆற்றல் லேசர் மற்றும் மைக்ரான்-நிலை திரவ ஜெட் ஆகியவற்றை இணைக்கும் ஒரு வகையான துல்லியமான இயந்திர அமைப்பாகும். லேசர் கற்றையை அதிவேக திரவ ஜெட் (டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் அல்லது சிறப்பு திரவம்) உடன் இணைப்பதன் மூலம், அதிக துல்லியம் மற்றும் குறைந்த வெப்ப சேதத்துடன் பொருள் செயலாக்கத்தை உணர முடியும். இந்த தொழில்நுட்பம் கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்களை (SiC, சபையர், கண்ணாடி போன்றவை) வெட்டுதல், துளையிடுதல் மற்றும் நுண் கட்டமைப்பு செயலாக்கத்திற்கு மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் இது குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்த காட்சி, மருத்துவ சாதனங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

வேலை கொள்கை:

1. லேசர் இணைப்பு: துடிப்புள்ள லேசர் (UV/பச்சை/அகச்சிவப்பு) திரவ ஜெட் உள்ளே குவிக்கப்பட்டு நிலையான ஆற்றல் பரிமாற்ற சேனலை உருவாக்குகிறது.

2. திரவ வழிகாட்டுதல்: அதிவேக ஜெட் (ஓட்ட விகிதம் 50-200மீ/வி) செயலாக்கப் பகுதியை குளிர்வித்து, வெப்பக் குவிப்பு மற்றும் மாசுபாட்டைத் தவிர்க்க குப்பைகளை அகற்றுதல்.

3. பொருள் அகற்றுதல்: லேசர் ஆற்றல் திரவத்தில் குழிவுறுதல் விளைவை ஏற்படுத்தி, பொருளின் குளிர் செயலாக்கத்தை அடைகிறது (வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலம் <1μm).

4. டைனமிக் கட்டுப்பாடு: பல்வேறு பொருட்கள் மற்றும் கட்டமைப்புகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய லேசர் அளவுருக்கள் (சக்தி, அதிர்வெண்) மற்றும் ஜெட் அழுத்தத்தின் நிகழ்நேர சரிசெய்தல்.

முக்கிய அளவுருக்கள்:

1. லேசர் சக்தி: 10-500W (சரிசெய்யக்கூடியது)

2. ஜெட் விட்டம்: 50-300μm

3. இயந்திர துல்லியம்: ±0.5μm (வெட்டுதல்), ஆழம் முதல் அகல விகிதம் 10:1 (துளையிடுதல்)

தொழில்நுட்ப நன்மைகள்:

(1) கிட்டத்தட்ட பூஜ்ஜிய வெப்ப சேதம்
- திரவ ஜெட் கூலிங் வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தை (HAZ) **<1μm** ஆக கட்டுப்படுத்துகிறது, வழக்கமான லேசர் செயலாக்கத்தால் ஏற்படும் மைக்ரோ-பிளவுகளைத் தவிர்க்கிறது (HAZ பொதுவாக >10μm).

(2) மிக உயர்ந்த துல்லிய எந்திரம்
- **±0.5μm** வரை வெட்டுதல்/துளையிடுதல் துல்லியம், விளிம்பு கடினத்தன்மை Ra<0.2μm, அடுத்தடுத்த மெருகூட்டலுக்கான தேவையைக் குறைக்கிறது.

- சிக்கலான 3D கட்டமைப்பு செயலாக்கத்தை ஆதரிக்கவும் (கூம்பு வடிவ துளைகள், வடிவ ஸ்லாட்டுகள் போன்றவை).

(3) பரந்த பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை
- கடினமான மற்றும் உடையக்கூடிய பொருட்கள்: SiC, சபையர், கண்ணாடி, மட்பாண்டங்கள் (பாரம்பரிய முறைகள் எளிதில் உடைந்து போகும்).

- வெப்ப உணர்திறன் பொருட்கள்: பாலிமர்கள், உயிரியல் திசுக்கள் (வெப்பக் குறைப்பு ஆபத்து இல்லை).

(4) சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்திறன்
- தூசி மாசுபாடு இல்லை, திரவத்தை மறுசுழற்சி செய்து வடிகட்டலாம்.

- செயலாக்க வேகத்தில் 30%-50% அதிகரிப்பு (எந்திரத்துடன் ஒப்பிடும்போது).

(5) அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு
- ஒருங்கிணைந்த காட்சி நிலைப்படுத்தல் மற்றும் AI அளவுரு தேர்வுமுறை, தகவமைப்பு பொருள் தடிமன் மற்றும் குறைபாடுகள்.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:

கவுண்டர்டாப் ஒலியளவு	300300150	400400200
நேரியல் அச்சு XY	நேரியல் மோட்டார். நேரியல் மோட்டார்	நேரியல் மோட்டார். நேரியல் மோட்டார்
நேரியல் அச்சு Z	150 மீ	200 மீ
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் μm	+/-5	+/-5
மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் μm	+/-2	+/-2
முடுக்கம் ஜி	1	0.29 (0.29)
எண் கட்டுப்பாடு	3 அச்சு /3+1 அச்சு /3+2 அச்சு	3 அச்சு /3+1 அச்சு /3+2 அச்சு
எண் கட்டுப்பாட்டு வகை	டிபிஎஸ்எஸ் எண்ட்:யாக்	டிபிஎஸ்எஸ் எண்ட்:யாக்
அலைநீளம் nm	532/1064	532/1064
மதிப்பிடப்பட்ட சக்தி W	50/100/200	50/100/200
நீர் ஜெட்	40-100	40-100
முனை அழுத்தப் பட்டி	50-100	50-600
பரிமாணங்கள் (இயந்திர கருவி) (அகலம் * நீளம் * உயரம்) மிமீ	144519442260	170015002120
அளவு (கட்டுப்பாட்டு அலமாரி) (அளவு * உயரம் * உயரம்)	70025001600	70025001600
எடை (உபகரணங்கள்) T	2.5 प्रकालिका प्रकालिका 2.5 2.5 �	3
எடை (கட்டுப்பாட்டு அலமாரி) கிலோ	800 மீ	800 மீ
செயலாக்க திறன்	மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra≤1.6um திறக்கும் வேகம் ≥1.25மிமீ/வி சுற்றளவு வெட்டுதல் ≥6மிமீ/வி நேரியல் வெட்டு வேகம் ≥50மிமீ/வி	மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra≤1.2um திறக்கும் வேகம் ≥1.25மிமீ/வி சுற்றளவு வெட்டுதல் ≥6மிமீ/வி நேரியல் வெட்டு வேகம் ≥50மிமீ/வி
	காலியம் நைட்ரைடு படிகத்திற்கு, அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட் இடைவெளி குறைக்கடத்தி பொருட்கள் (வைரம்/காலியம் ஆக்சைடு), விண்வெளி சிறப்பு பொருட்கள், LTCC கார்பன் பீங்கான் அடி மூலக்கூறு, ஒளிமின்னழுத்த, சிண்டிலேட்டர் படிக மற்றும் பிற பொருட்கள் செயலாக்கம். குறிப்பு: செயலாக்க திறன் பொருள் பண்புகளைப் பொறுத்து மாறுபடும்.

செயலாக்க வழக்கு:

XKH இன் சேவைகள்:

XKH, மைக்ரோஜெட் லேசர் தொழில்நுட்ப உபகரணங்களுக்கான முழு அளவிலான முழு வாழ்க்கை சுழற்சி சேவை ஆதரவை வழங்குகிறது, ஆரம்பகால செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் உபகரணத் தேர்வு ஆலோசனை முதல், இடைக்கால தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அமைப்பு ஒருங்கிணைப்பு (லேசர் மூலத்தின் சிறப்பு பொருத்தம், ஜெட் அமைப்பு மற்றும் ஆட்டோமேஷன் தொகுதி உட்பட), பிந்தைய செயல்பாடு மற்றும் பராமரிப்பு பயிற்சி மற்றும் தொடர்ச்சியான செயல்முறை உகப்பாக்கம் வரை, முழு செயல்முறையும் தொழில்முறை தொழில்நுட்ப குழு ஆதரவுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது; 20 ஆண்டுகால துல்லியமான இயந்திர அனுபவத்தின் அடிப்படையில், குறைக்கடத்தி மற்றும் மருத்துவம் போன்ற பல்வேறு தொழில்களுக்கு உபகரண சரிபார்ப்பு, பெருமளவிலான உற்பத்தி அறிமுகம் மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய விரைவான பதில் (24 மணிநேர தொழில்நுட்ப ஆதரவு + முக்கிய உதிரி பாகங்கள் இருப்பு) உள்ளிட்ட ஒரே இடத்தில் தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்க முடியும், மேலும் 12 மாத நீண்ட உத்தரவாதம் மற்றும் வாழ்நாள் முழுவதும் பராமரிப்பு மற்றும் மேம்படுத்தல் சேவையை உறுதியளிக்கிறோம். வாடிக்கையாளர் உபகரணங்கள் எப்போதும் தொழில்துறையில் முன்னணி செயலாக்க செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கின்றன என்பதை உறுதிசெய்க.