மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலை மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இங்காட் வளர்ச்சி அமைப்பு உபகரண வெப்பநிலை 2100℃ வரை
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகளின் முக்கிய பண்புகள்
(1) உயர் துல்லியக் கட்டுப்பாடு
வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: உருகும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்ய வெப்ப வெப்பநிலையை (சிலிக்கானின் உருகுநிலை சுமார் 1414°C) துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தவும்.
தூக்கும் வேகக் கட்டுப்பாடு: விதைப் படிகத்தின் தூக்கும் வேகம் ஒரு துல்லியமான மோட்டார் (பொதுவாக 0.5-2 மிமீ/நிமிடம்) மூலம் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது படிக விட்டம் மற்றும் தரத்தை பாதிக்கிறது.
சுழற்சி வேகக் கட்டுப்பாடு: சீரான படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்ய விதை மற்றும் சிலுவையின் சுழற்சி வேகத்தை சரிசெய்யவும்.
(2) உயர்தர படிக வளர்ச்சி
குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி: செயல்முறை அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம், குறைந்த குறைபாடு மற்றும் அதிக தூய்மை கொண்ட மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் கம்பியை வளர்க்கலாம்.
பெரிய படிகங்கள்: குறைக்கடத்தித் துறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய 12 அங்குலங்கள் (300 மிமீ) விட்டம் கொண்ட ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் கம்பிகளை வளர்க்கலாம்.
(3) திறமையான உற்பத்தி
தானியங்கி செயல்பாடு: நவீன மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகள் கைமுறை தலையீட்டைக் குறைத்து உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்த தானியங்கி கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளன.
ஆற்றல் திறன் கொண்ட வடிவமைப்பு: ஆற்றல் நுகர்வைக் குறைக்க திறமையான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துங்கள்.
(4) பல்துறை திறன்
பல்வேறு செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது: CZ முறை, FZ முறை மற்றும் பிற படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தை ஆதரிக்கவும்.
பல்வேறு பொருட்களுடன் இணக்கமானது: மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானுடன் கூடுதலாக, இது மற்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களை (ஜெர்மானியம், காலியம் ஆர்சனைடு போன்றவை) வளர்க்கவும் பயன்படுத்தப்படலாம்.
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகளின் முக்கிய பயன்பாடுகள்
(1) குறைக்கடத்தி தொழில்
ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி: CPU, நினைவகம் மற்றும் பிற ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய பொருள் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் ஆகும்.
மின் சாதனம்: MOSFET, IGBT மற்றும் பிற மின் குறைக்கடத்தி சாதனங்களை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
(2) ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்
சூரிய மின்கலங்கள்: மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்களின் முக்கிய பொருளாகும், மேலும் இது ஒளிமின்னழுத்த மின் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஒளிமின்னழுத்த தொகுதிகள்: ஒளிமின்னழுத்த மாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்த ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் ஒளிமின்னழுத்த தொகுதிகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
(3) அறிவியல் ஆராய்ச்சி
பொருட்கள் ஆராய்ச்சி: மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளை ஆய்வு செய்வதற்கும் புதிய குறைக்கடத்தி பொருட்களை உருவாக்குவதற்கும் பயன்படுகிறது.
செயல்முறை உகப்பாக்கம்: படிக வளர்ச்சி செயல்முறை புதுமை மற்றும் உகப்பாக்கத்தை ஆதரிக்கவும்.
(4) பிற மின்னணு சாதனங்கள்
சென்சார்கள்: அழுத்தம் சென்சார்கள் மற்றும் வெப்பநிலை சென்சார்கள் போன்ற உயர் துல்லிய சென்சார்களை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்: லேசர்கள் மற்றும் ஃபோட்டோடெடெக்டர்களை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
XKH மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலை உபகரணங்கள் மற்றும் சேவைகளை வழங்குகிறது.
XKH மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலை உபகரணங்களின் மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்தியில் கவனம் செலுத்துகிறது, இது பின்வரும் சேவைகளை வழங்குகிறது:
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உபகரணங்கள்: பல்வேறு படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளை ஆதரிக்க வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பல்வேறு விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் உள்ளமைவுகளின் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகளை XKH வழங்குகிறது.
தொழில்நுட்ப ஆதரவு: XKH வாடிக்கையாளர்களுக்கு உபகரணங்கள் நிறுவல் மற்றும் செயல்முறை மேம்படுத்தல் முதல் படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்ப வழிகாட்டுதல் வரை முழு செயல்முறை ஆதரவையும் வழங்குகிறது.
பயிற்சி சேவைகள்: உபகரணங்களின் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்காக XKH வாடிக்கையாளர்களுக்கு செயல்பாட்டு பயிற்சி மற்றும் தொழில்நுட்ப பயிற்சியை வழங்குகிறது.
விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை: வாடிக்கையாளர் உற்பத்தியின் தொடர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்காக XKH விரைவான பதில் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை மற்றும் உபகரண பராமரிப்பை வழங்குகிறது.
மேம்படுத்தல் சேவைகள்: உற்பத்தி திறன் மற்றும் படிக தரத்தை மேம்படுத்த வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப உபகரணங்கள் மேம்படுத்தல் மற்றும் உருமாற்ற சேவைகளை XKH வழங்குகிறது.
மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலைகள் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களின் முக்கிய உபகரணங்களாகும், இதில் உயர் துல்லியக் கட்டுப்பாடு, உயர்தர படிக வளர்ச்சி மற்றும் திறமையான உற்பத்தி ஆகியவை இடம்பெறுகின்றன. இது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், சூரிய மின்கலங்கள், அறிவியல் ஆராய்ச்சி மற்றும் மின்னணு சாதனங்கள் ஆகிய துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. XKH மேம்பட்ட மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி உலை உபகரணங்கள் மற்றும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் கம்பி அளவிலான உற்பத்தியை அடைய உதவுவதற்காக முழு அளவிலான சேவைகளை வழங்குகிறது, இது தொடர்புடைய தொழில்களின் வளர்ச்சிக்கு உதவுகிறது.
விரிவான வரைபடம்
