சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு அரை-இன்சுலேடிங் வகை மற்றும் கடத்தும் வகை என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. தற்போது, அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு தயாரிப்புகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்பு 4 அங்குலங்கள் ஆகும். கடத்தும் சிலிக்கான் கார்பைடு சந்தையில், தற்போதைய முக்கிய அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பு 6 அங்குலங்கள் ஆகும்.
RF துறையில் கீழ்நிலை பயன்பாடுகள் காரணமாக, அரை-இன்சுலேட்டட் SiC அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் பொருட்கள் அமெரிக்க வணிகத் துறையின் ஏற்றுமதி கட்டுப்பாட்டிற்கு உட்பட்டவை. அடி மூலக்கூறாக அரை-இன்சுலேட்டட் SiC என்பது GaN ஹெட்டோரோபிடாக்ஸிக்கு விருப்பமான பொருளாகும் மற்றும் நுண்ணலை புலத்தில் முக்கியமான பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளைக் கொண்டுள்ளது. சபையர் 14% மற்றும் Si 16.9% இன் படிக பொருத்தமின்மையுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC மற்றும் GaN பொருட்களின் படிக பொருத்தமின்மை 3.4% மட்டுமே. SiC இன் மிக உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் இணைந்து, இதன் மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட உயர் ஆற்றல் திறன் கொண்ட LED மற்றும் GaN உயர் அதிர்வெண் மற்றும் உயர் சக்தி நுண்ணலை சாதனங்கள் ரேடார், உயர் சக்தி நுண்ணலை உபகரணங்கள் மற்றும் 5G தொடர்பு அமைப்புகளில் பெரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன.
SiC ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டின் மையமாக அரை-காப்பிடப்பட்ட SiC அடி மூலக்கூறின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு எப்போதும் இருந்து வருகிறது. அரை-காப்பிடப்பட்ட SiC பொருட்களை வளர்ப்பதில் இரண்டு முக்கிய சிக்கல்கள் உள்ளன:
1) கிராஃபைட் க்ரூசிபிள், வெப்ப காப்பு உறிஞ்சுதல் மற்றும் தூளில் ஊக்கமருந்து மூலம் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட N தானம் செய்யும் அசுத்தங்களைக் குறைத்தல்;
2) படிகத்தின் தரம் மற்றும் மின் பண்புகளை உறுதி செய்யும் அதே வேளையில், எஞ்சியிருக்கும் ஆழமற்ற நிலை அசுத்தங்களை மின் செயல்பாடுகளுடன் ஈடுசெய்ய ஒரு ஆழமான நிலை மையம் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது.
தற்போது, அரை-காப்பிடப்பட்ட SiC உற்பத்தி திறன் கொண்ட உற்பத்தியாளர்கள் முக்கியமாக SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
வளரும் வளிமண்டலத்தில் நைட்ரஜனை செலுத்துவதன் மூலம் கடத்தும் SiC படிகம் அடையப்படுகிறது. கடத்தும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு முக்கியமாக மின் சாதனங்கள், உயர் மின்னழுத்தம், அதிக மின்னோட்டம், அதிக வெப்பநிலை, அதிக அதிர்வெண், குறைந்த இழப்பு மற்றும் பிற தனித்துவமான நன்மைகள் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மின் சாதனங்கள் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சிலிக்கான் அடிப்படையிலான மின் சாதனங்களின் ஆற்றல் மாற்றத் திறனைப் பெரிதும் மேம்படுத்தும், திறமையான ஆற்றல் மாற்றத் துறையில் குறிப்பிடத்தக்க மற்றும் தொலைநோக்கு தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. முக்கிய பயன்பாட்டுப் பகுதிகள் மின்சார வாகனங்கள்/சார்ஜிங் குவியல்கள், ஒளிமின்னழுத்த புதிய ஆற்றல், ரயில் போக்குவரத்து, ஸ்மார்ட் கிரிட் மற்றும் பல. கடத்தும் பொருட்களின் கீழ்நிலை முக்கியமாக மின்சார வாகனங்கள், ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் பிற துறைகளில் மின் சாதனங்களாக இருப்பதால், பயன்பாட்டு வாய்ப்பு பரந்த அளவில் உள்ளது, மேலும் உற்பத்தியாளர்கள் அதிகமாக உள்ளனர்.
சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வகை: சிறந்த 4H படிக சிலிக்கான் கார்பைடின் வழக்கமான அமைப்பை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம், ஒன்று 3C-SiC அல்லது β-SiC எனப்படும் ஸ்பேலரைட் அமைப்பின் கன சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வகை, மற்றொன்று 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC போன்றவற்றுக்கு பொதுவான பெரிய கால அமைப்பின் அறுகோண அல்லது வைர அமைப்பு, இது கூட்டாக α-SiC என அழைக்கப்படுகிறது. 3C-SiC உற்பத்தி சாதனங்களில் அதிக மின்தடையின் நன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், Si மற்றும் SiC லட்டு மாறிலிகள் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்க குணகங்களுக்கு இடையிலான அதிக பொருந்தாத தன்மை 3C-SiC எபிடாக்சியல் அடுக்கில் அதிக எண்ணிக்கையிலான குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். 4H-SiC ஆனது MOSFETகளை உற்பத்தி செய்வதில் பெரும் ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது, ஏனெனில் அதன் படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சி செயல்முறைகள் மிகவும் சிறப்பாக உள்ளன, மேலும் எலக்ட்ரான் இயக்கத்தின் அடிப்படையில், 4H-SiC 3C-SiC மற்றும் 6H-SiC ஐ விட அதிகமாக உள்ளது, இது 4H-SiC MOSFETகளுக்கு சிறந்த நுண்ணலை பண்புகளை வழங்குகிறது.
மீறல் இருந்தால், தொடர்பு நீக்கவும்
இடுகை நேரம்: ஜூலை-16-2024