வேஃபர் உற்பத்தியில் SPC அமைப்பின் ஆழமான புரிதல்

1. SPC அமைப்பின் கண்ணோட்டம்

SPC என்பது உற்பத்தி செயல்முறைகளைக் கண்காணிக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும் புள்ளிவிவர நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரித்து பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம் உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் உள்ள முரண்பாடுகளைக் கண்டறிவது, பொறியாளர்கள் சரியான நேரத்தில் சரிசெய்தல் மற்றும் முடிவுகளை எடுக்க உதவுவது இதன் முக்கிய செயல்பாடு ஆகும். SPC இன் குறிக்கோள், உற்பத்தி செயல்பாட்டில் உள்ள மாறுபாட்டைக் குறைப்பது, தயாரிப்பு தரம் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்வதாகும்.

SPC பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

முக்கியமான உபகரண அளவுருக்களைக் கண்காணிக்கவும் (எ.கா., எட்ச் விகிதம், RF சக்தி, அறை அழுத்தம், வெப்பநிலை போன்றவை)

முக்கிய தயாரிப்பு தர குறிகாட்டிகளை பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள் (எ.கா., வரி அகலம், எட்ச் ஆழம், விளிம்பு கடினத்தன்மை போன்றவை)

இந்த அளவுருக்களை கண்காணிப்பதன் மூலம், பொறியாளர்கள் சாதனங்களின் செயல்திறன் சிதைவு அல்லது உற்பத்தி செயல்பாட்டில் விலகல்களைக் குறிக்கும் போக்குகளைக் கண்டறியலாம், இதனால் ஸ்கிராப் விகிதங்களைக் குறைக்கலாம்.

2. SPC அமைப்பின் அடிப்படை கூறுகள்

SPC அமைப்பு பல முக்கிய தொகுதிகள் கொண்டது:

தரவு சேகரிப்பு தொகுதி: உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை ஓட்டங்களிலிருந்து நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரிக்கிறது (எ.கா., FDC, EES அமைப்புகள் மூலம்) மற்றும் முக்கியமான அளவுருக்கள் மற்றும் உற்பத்தி விளைவுகளை பதிவு செய்கிறது.

கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படம் தொகுதி: செயல்முறை நிலைத்தன்மையைக் காட்சிப்படுத்தவும், செயல்முறை கட்டுப்பாட்டில் உள்ளதா என்பதைத் தீர்மானிக்கவும் புள்ளிவிவரக் கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களைப் பயன்படுத்துகிறது (எ.கா., X-பட்டி விளக்கப்படம், R விளக்கப்படம், Cp/Cpk விளக்கப்படம்).

அலாரம் அமைப்பு: முக்கியமான அளவுருக்கள் கட்டுப்பாட்டு வரம்புகளை மீறும் போது அல்லது போக்கு மாற்றங்களைக் காட்டும்போது அலாரங்களைத் தூண்டுகிறது, பொறியாளர்களை நடவடிக்கை எடுக்கத் தூண்டுகிறது.

பகுப்பாய்வு மற்றும் அறிக்கையிடல் தொகுதி: SPC விளக்கப்படங்களின் அடிப்படையில் முரண்பாடுகளின் மூல காரணத்தை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் செயல்முறை மற்றும் சாதனங்களுக்கான செயல்திறன் அறிக்கைகளை தொடர்ந்து உருவாக்குகிறது.

3. SPC இல் கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களின் விரிவான விளக்கம்

கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்கள் SPC இல் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகளில் ஒன்றாகும், இது "சாதாரண மாறுபாடு" (இயற்கையான செயல்முறை மாறுபாடுகளால் ஏற்படுகிறது) மற்றும் "அசாதாரண மாறுபாடு" (உபகரணங்களின் தோல்விகள் அல்லது செயல்முறை விலகல்களால் ஏற்படுகிறது) ஆகியவற்றை வேறுபடுத்த உதவுகிறது. பொதுவான கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்கள் அடங்கும்:

எக்ஸ்-பார் மற்றும் ஆர் விளக்கப்படங்கள்: செயல்முறை நிலையானதா என்பதைக் கண்காணிக்க உற்பத்தித் தொகுதிகளுக்குள் சராசரி மற்றும் வரம்பைக் கண்காணிக்கப் பயன்படுகிறது.

Cp மற்றும் Cpk குறியீடுகள்: செயல்முறை திறனை அளவிட பயன்படுகிறது, அதாவது, செயல்முறை வெளியீடு தொடர்ந்து விவரக்குறிப்பு தேவைகளை பூர்த்தி செய்யுமா. Cp சாத்தியமான திறனை அளவிடுகிறது, அதே நேரத்தில் Cpk விவரக்குறிப்பு வரம்புகளிலிருந்து செயல்முறை மையத்தின் விலகலைக் கருதுகிறது.

எடுத்துக்காட்டாக, பொறித்தல் செயல்பாட்டில், நீங்கள் எட்ச் வீதம் மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை போன்ற அளவுருக்களை கண்காணிக்கலாம். ஒரு குறிப்பிட்ட உபகரணத்தின் எட்ச் விகிதம் கட்டுப்பாட்டு வரம்பை மீறினால், இது இயற்கையான மாறுபாடா அல்லது உபகரணச் செயலிழப்பின் அறிகுறியா என்பதைத் தீர்மானிக்க கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களைப் பயன்படுத்தலாம்.

4. பொறித்தல் கருவியில் SPC பயன்பாடு

பொறித்தல் செயல்பாட்டில், உபகரண அளவுருக்களை கட்டுப்படுத்துவது மிகவும் முக்கியமானது, மேலும் SPC பின்வரும் வழிகளில் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது:

எக்யூப்மென்ட் கண்டிஷன் கண்காணிப்பு: FDC போன்ற அமைப்புகள் பொறித்தல் கருவிகளின் முக்கிய அளவுருக்கள் (எ.கா., RF பவர், கேஸ் ஃப்ளோ) நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரித்து, இந்தத் தரவை SPC கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களுடன் இணைத்து, சாத்தியமான சாதனச் சிக்கல்களைக் கண்டறியும். உதாரணமாக, கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படத்தில் உள்ள RF சக்தியானது செட் மதிப்பிலிருந்து படிப்படியாக விலகுவதை நீங்கள் கண்டால், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்காமல் இருக்க, சரிசெய்தல் அல்லது பராமரிப்புக்காக நீங்கள் முன்கூட்டியே நடவடிக்கை எடுக்கலாம்.

தயாரிப்பு தரக் கண்காணிப்பு: SPC அமைப்பில் அவற்றின் நிலைத்தன்மையைக் கண்காணிக்க, முக்கிய தயாரிப்பு தர அளவுருக்களையும் (எ.கா., etch ஆழம், வரி அகலம்) உள்ளிடலாம். சில முக்கியமான தயாரிப்பு குறிகாட்டிகள் இலக்கு மதிப்புகளிலிருந்து படிப்படியாக விலகினால், SPC அமைப்பு ஒரு அலாரத்தை வெளியிடும், இது செயல்முறை சரிசெய்தல் தேவை என்பதைக் குறிக்கிறது.

தடுப்பு பராமரிப்பு (PM): SPC உபகரணங்களுக்கான தடுப்பு பராமரிப்பு சுழற்சியை மேம்படுத்த உதவும். உபகரணங்களின் செயல்திறன் மற்றும் செயல்முறை முடிவுகளைப் பற்றிய நீண்ட கால தரவை பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம், உபகரணங்கள் பராமரிப்புக்கான உகந்த நேரத்தை நீங்கள் தீர்மானிக்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, RF சக்தி மற்றும் ESC ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றைக் கண்காணிப்பதன் மூலம், எப்போது சுத்தம் செய்வது அல்லது கூறுகளை மாற்றுவது தேவை என்பதை நீங்கள் தீர்மானிக்கலாம், உபகரணங்கள் செயலிழப்பு விகிதங்கள் மற்றும் உற்பத்தி வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கலாம்.

5. SPC அமைப்புக்கான தினசரி பயன்பாட்டு குறிப்புகள்

தினசரி செயல்பாடுகளில் SPC அமைப்பைப் பயன்படுத்தும் போது, ​​பின்வரும் படிகளைப் பின்பற்றலாம்:

முக்கிய கட்டுப்பாட்டு அளவுருக்களை (KPI) வரையறுக்கவும்: உற்பத்தி செயல்பாட்டில் மிக முக்கியமான அளவுருக்களைக் கண்டறிந்து அவற்றை SPC கண்காணிப்பில் சேர்க்கவும். இந்த அளவுருக்கள் தயாரிப்பு தரம் மற்றும் சாதன செயல்திறன் ஆகியவற்றுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையதாக இருக்க வேண்டும்.

கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் மற்றும் எச்சரிக்கை வரம்புகளை அமைக்கவும்: வரலாற்று தரவு மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில், ஒவ்வொரு அளவுருவிற்கும் நியாயமான கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் மற்றும் எச்சரிக்கை வரம்புகளை அமைக்கவும். கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் வழக்கமாக ±3σ (நிலையான விலகல்கள்) இல் அமைக்கப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் எச்சரிக்கை வரம்புகள் செயல்முறை மற்றும் உபகரணங்களின் குறிப்பிட்ட நிபந்தனைகளை அடிப்படையாகக் கொண்டவை.

தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு மற்றும் பகுப்பாய்வு: தரவுப் போக்குகள் மற்றும் மாறுபாடுகளை ஆய்வு செய்ய SPC கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களைத் தொடர்ந்து மதிப்பாய்வு செய்யவும். சில அளவுருக்கள் கட்டுப்பாட்டு வரம்புகளை மீறினால், உபகரண அளவுருக்களை சரிசெய்தல் அல்லது உபகரணங்களை பராமரிப்பது போன்ற உடனடி நடவடிக்கை தேவை.

அசாதாரண கையாளுதல் மற்றும் மூல காரண பகுப்பாய்வு: ஒரு அசாதாரணம் ஏற்படும் போது, ​​SPC அமைப்பு சம்பவம் பற்றிய விரிவான தகவல்களை பதிவு செய்கிறது. இந்த தகவலின் அடிப்படையில் அசாதாரணத்தின் மூல காரணத்தை நீங்கள் சரிசெய்து பகுப்பாய்வு செய்ய வேண்டும். எப்டிசி சிஸ்டம்ஸ், ஈஈஎஸ் சிஸ்டம்ஸ் போன்றவற்றின் தரவை ஒருங்கிணைத்து, சாதனச் செயலிழப்பு, செயல்முறை விலகல் அல்லது வெளிப்புற சுற்றுச்சூழல் காரணிகளால் சிக்கல் ஏற்பட்டதா என்பதைப் பகுப்பாய்வு செய்வது பெரும்பாலும் சாத்தியமாகும்.

தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம்: SPC அமைப்பால் பதிவுசெய்யப்பட்ட வரலாற்றுத் தரவைப் பயன்படுத்தி, செயல்பாட்டில் உள்ள பலவீனமான புள்ளிகளைக் கண்டறிந்து, முன்னேற்றத் திட்டங்களை முன்மொழியுங்கள். எடுத்துக்காட்டாக, பொறித்தல் செயல்பாட்டில், ESC ஆயுட்காலம் மற்றும் உபகரண பராமரிப்பு சுழற்சிகளில் சுத்தம் செய்யும் முறைகளின் தாக்கத்தை பகுப்பாய்வு செய்து, சாதன இயக்க அளவுருக்களை தொடர்ந்து மேம்படுத்தவும்.

6. நடைமுறை விண்ணப்ப வழக்கு

ஒரு நடைமுறை உதாரணமாக, E-MAX பொறிக்கும் கருவிக்கு நீங்கள் பொறுப்பு என்று வைத்துக்கொள்வோம், மேலும் அறை கத்தோட் முன்கூட்டிய தேய்மானத்தை அனுபவித்து வருகிறது, இது D0 (BARC குறைபாடு) மதிப்புகள் அதிகரிக்க வழிவகுக்கிறது. SPC அமைப்பின் மூலம் RF பவர் மற்றும் எட்ச் வீதத்தைக் கண்காணிப்பதன் மூலம், இந்த அளவுருக்கள் அவற்றின் செட் மதிப்புகளிலிருந்து படிப்படியாக விலகும் போக்கை நீங்கள் கவனிக்கிறீர்கள். SPC அலாரம் தூண்டப்பட்ட பிறகு, நீங்கள் FDC அமைப்பிலிருந்து தரவை இணைத்து, அறைக்குள் இருக்கும் நிலையற்ற வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டால் சிக்கல் ஏற்பட்டது என்பதைத் தீர்மானிக்கவும். நீங்கள் புதிய துப்புரவு முறைகள் மற்றும் பராமரிப்பு உத்திகளைச் செயல்படுத்தி, இறுதியில் D0 மதிப்பை 4.3 இலிருந்து 2.4 ஆகக் குறைத்து, அதன் மூலம் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறீர்கள்.

7. XINKEHUI இல் நீங்கள் பெறலாம்.

XINKEHUI இல், சிலிக்கான் வேஃபர் அல்லது SiC வேஃபராக இருந்தாலும், சரியான செதில்களை நீங்கள் அடையலாம். துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனில் கவனம் செலுத்தி, பல்வேறு தொழில்களுக்கு உயர்தர செதில்களை வழங்குவதில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.