வேஃபர் உற்பத்தியில் SPC அமைப்பு பற்றிய ஆழமான புரிதல்

1. SPC அமைப்பின் கண்ணோட்டம்

SPC என்பது உற்பத்தி செயல்முறைகளைக் கண்காணிக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும் புள்ளிவிவர நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரித்து பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம் உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் உள்ள முரண்பாடுகளைக் கண்டறிவதும், பொறியாளர்கள் சரியான நேரத்தில் சரிசெய்தல் மற்றும் முடிவுகளை எடுக்க உதவுவதும் இதன் முக்கிய செயல்பாடு ஆகும். SPC இன் குறிக்கோள், உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் மாறுபாட்டைக் குறைப்பதும், தயாரிப்புத் தரம் நிலையானதாக இருப்பதையும் விவரக்குறிப்புகளைப் பூர்த்தி செய்வதையும் உறுதி செய்வதாகும்.

SPC பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பின்வருவனவற்றிற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

முக்கியமான உபகரண அளவுருக்களைக் கண்காணிக்கவும் (எ.கா., எட்ச் வீதம், RF சக்தி, அறை அழுத்தம், வெப்பநிலை, முதலியன)

முக்கிய தயாரிப்பு தர குறிகாட்டிகளை பகுப்பாய்வு செய்யுங்கள் (எ.கா., வரி அகலம், எட்ச் ஆழம், விளிம்பு கடினத்தன்மை, முதலியன)

இந்த அளவுருக்களைக் கண்காணிப்பதன் மூலம், பொறியாளர்கள் உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் உபகரணங்களின் செயல்திறன் சீரழிவு அல்லது விலகல்களைக் குறிக்கும் போக்குகளைக் கண்டறிந்து, ஸ்கிராப் விகிதங்களைக் குறைக்க முடியும்.

2. SPC அமைப்பின் அடிப்படை கூறுகள்

SPC அமைப்பு பல முக்கிய தொகுதிகளைக் கொண்டுள்ளது:

தரவு சேகரிப்பு தொகுதி: உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை பாய்வுகளிலிருந்து (எ.கா., FDC, EES அமைப்புகள் மூலம்) நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரித்து, முக்கியமான அளவுருக்கள் மற்றும் உற்பத்தி விளைவுகளைப் பதிவு செய்கிறது.

கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்பட தொகுதி: செயல்முறை நிலைத்தன்மையைக் காட்சிப்படுத்தவும், செயல்முறை கட்டுப்பாட்டில் உள்ளதா என்பதைத் தீர்மானிக்கவும் புள்ளிவிவரக் கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களை (எ.கா., எக்ஸ்-பார் விளக்கப்படம், ஆர் விளக்கப்படம், சிபி/சிபிகே விளக்கப்படம்) பயன்படுத்துகிறது.

எச்சரிக்கை அமைப்பு: முக்கியமான அளவுருக்கள் கட்டுப்பாட்டு வரம்புகளை மீறும் போது அல்லது போக்கு மாற்றங்களைக் காட்டும்போது அலாரங்களைத் தூண்டுகிறது, இது பொறியாளர்களை நடவடிக்கை எடுக்கத் தூண்டுகிறது.

பகுப்பாய்வு மற்றும் அறிக்கையிடல் தொகுதி: SPC விளக்கப்படங்களின் அடிப்படையில் முரண்பாடுகளின் மூல காரணத்தை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் செயல்முறை மற்றும் உபகரணங்களுக்கான செயல்திறன் அறிக்கைகளை தொடர்ந்து உருவாக்குகிறது.

3. SPC இல் உள்ள கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களின் விரிவான விளக்கம்

கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்கள் SPC-யில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகளில் ஒன்றாகும், இது "சாதாரண மாறுபாடு" (இயற்கை செயல்முறை மாறுபாடுகளால் ஏற்படுகிறது) மற்றும் "அசாதாரண மாறுபாடு" (உபகரண செயலிழப்புகள் அல்லது செயல்முறை விலகல்களால் ஏற்படுகிறது) ஆகியவற்றை வேறுபடுத்தி அறிய உதவுகிறது. பொதுவான கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களில் பின்வருவன அடங்கும்:

எக்ஸ்-பார் மற்றும் ஆர் விளக்கப்படங்கள்: செயல்முறை நிலையானதா என்பதைக் கண்காணிக்க, உற்பத்தித் தொகுதிகளுக்குள் சராசரி மற்றும் வரம்பைக் கண்காணிக்கப் பயன்படுகிறது.

Cp மற்றும் Cpk குறியீடுகள்: செயல்முறை திறனை அளவிட பயன்படுகிறது, அதாவது, செயல்முறை வெளியீடு தொடர்ந்து விவரக்குறிப்பு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியுமா என்பதை அளவிடுகிறது. Cp சாத்தியமான திறனை அளவிடுகிறது, அதே நேரத்தில் Cpk விவரக்குறிப்பு வரம்புகளிலிருந்து செயல்முறை மையத்தின் விலகலைக் கருதுகிறது.

உதாரணமாக, செதுக்குதல் செயல்பாட்டில், நீங்கள் செதுக்குதல் வீதம் மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை போன்ற அளவுருக்களைக் கண்காணிக்கலாம். ஒரு குறிப்பிட்ட உபகரணத்தின் செதுக்குதல் வீதம் கட்டுப்பாட்டு வரம்பை மீறினால், இது இயற்கையான மாறுபாடா அல்லது உபகரண செயலிழப்பின் அறிகுறியா என்பதைத் தீர்மானிக்க கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களைப் பயன்படுத்தலாம்.

4. எட்சிங் உபகரணங்களில் SPC இன் பயன்பாடு

பொறித்தல் செயல்பாட்டில், உபகரண அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவது மிக முக்கியமானது, மேலும் SPC பின்வரும் வழிகளில் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது:

உபகரண நிலை கண்காணிப்பு: FDC போன்ற அமைப்புகள், பொறித்தல் உபகரணங்களின் முக்கிய அளவுருக்கள் (எ.கா., RF சக்தி, வாயு ஓட்டம்) பற்றிய நிகழ்நேரத் தரவைச் சேகரித்து, இந்தத் தரவை SPC கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களுடன் இணைத்து, சாத்தியமான உபகரணச் சிக்கல்களைக் கண்டறியும். உதாரணமாக, ஒரு கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படத்தில் உள்ள RF சக்தி படிப்படியாக நிர்ணயிக்கப்பட்ட மதிப்பிலிருந்து விலகுவதை நீங்கள் கண்டால், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்காமல் இருக்க சரிசெய்தல் அல்லது பராமரிப்புக்கான ஆரம்ப நடவடிக்கையை நீங்கள் எடுக்கலாம்.

தயாரிப்பு தர கண்காணிப்பு: SPC அமைப்பில் அவற்றின் நிலைத்தன்மையைக் கண்காணிக்க முக்கிய தயாரிப்பு தர அளவுருக்களை (எ.கா., எட்ச் ஆழம், வரி அகலம்) உள்ளிடலாம். சில முக்கியமான தயாரிப்பு குறிகாட்டிகள் இலக்கு மதிப்புகளிலிருந்து படிப்படியாக விலகினால், SPC அமைப்பு செயல்முறை சரிசெய்தல் தேவை என்பதைக் குறிக்கும் ஒரு எச்சரிக்கையை வெளியிடும்.

தடுப்பு பராமரிப்பு (PM): SPC உபகரணங்களுக்கான தடுப்பு பராமரிப்பு சுழற்சியை மேம்படுத்த உதவும். உபகரணங்களின் செயல்திறன் மற்றும் செயல்முறை முடிவுகள் குறித்த நீண்டகால தரவை பகுப்பாய்வு செய்வதன் மூலம், உபகரணங்களின் பராமரிப்புக்கான உகந்த நேரத்தை நீங்கள் தீர்மானிக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, RF சக்தி மற்றும் ESC ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றைக் கண்காணிப்பதன் மூலம், சுத்தம் செய்தல் அல்லது கூறுகளை மாற்றுவது எப்போது தேவை என்பதை நீங்கள் தீர்மானிக்கலாம், இது உபகரணங்கள் செயலிழப்பு விகிதங்களையும் உற்பத்தி செயலிழப்பு நேரத்தையும் குறைக்கிறது.

5. SPC அமைப்பிற்கான தினசரி பயன்பாட்டு குறிப்புகள்

தினசரி செயல்பாடுகளில் SPC அமைப்பைப் பயன்படுத்தும்போது, ​​பின்வரும் வழிமுறைகளைப் பின்பற்றலாம்:

முக்கிய கட்டுப்பாட்டு அளவுருக்களை (KPI) வரையறுக்கவும்: உற்பத்தி செயல்பாட்டில் மிக முக்கியமான அளவுருக்களை அடையாளம் கண்டு அவற்றை SPC கண்காணிப்பில் சேர்க்கவும். இந்த அளவுருக்கள் தயாரிப்பு தரம் மற்றும் உபகரண செயல்திறனுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையதாக இருக்க வேண்டும்.

கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் மற்றும் எச்சரிக்கை வரம்புகளை அமைக்கவும்: வரலாற்று தரவு மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில், ஒவ்வொரு அளவுருவுக்கும் நியாயமான கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் மற்றும் எச்சரிக்கை வரம்புகளை அமைக்கவும். கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் பொதுவாக ±3σ (நிலையான விலகல்கள்) இல் அமைக்கப்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் எச்சரிக்கை வரம்புகள் செயல்முறை மற்றும் உபகரணங்களின் குறிப்பிட்ட நிலைமைகளை அடிப்படையாகக் கொண்டவை.

தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு மற்றும் பகுப்பாய்வு: தரவு போக்குகள் மற்றும் மாறுபாடுகளை பகுப்பாய்வு செய்ய SPC கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்களை தவறாமல் மதிப்பாய்வு செய்யவும். சில அளவுருக்கள் கட்டுப்பாட்டு வரம்புகளை மீறினால், உபகரண அளவுருக்களை சரிசெய்தல் அல்லது உபகரண பராமரிப்பு செய்தல் போன்ற உடனடி நடவடிக்கை தேவை.

அசாதாரணத்தைக் கையாளுதல் மற்றும் மூல காரண பகுப்பாய்வு: ஒரு அசாதாரணம் ஏற்படும்போது, ​​SPC அமைப்பு சம்பவம் குறித்த விரிவான தகவல்களைப் பதிவு செய்கிறது. இந்தத் தகவலின் அடிப்படையில் அசாதாரணத்திற்கான மூல காரணத்தை நீங்கள் சரிசெய்து பகுப்பாய்வு செய்ய வேண்டும். FDC அமைப்புகள், EES அமைப்புகள் போன்றவற்றிலிருந்து தரவை இணைத்து, இந்தப் பிரச்சினை உபகரணச் செயலிழப்பு, செயல்முறை விலகல் அல்லது வெளிப்புற சுற்றுச்சூழல் காரணிகளால் ஏற்பட்டதா என்பதை பகுப்பாய்வு செய்வது பெரும்பாலும் சாத்தியமாகும்.

தொடர்ச்சியான மேம்பாடு: SPC அமைப்பால் பதிவுசெய்யப்பட்ட வரலாற்றுத் தரவைப் பயன்படுத்தி, செயல்பாட்டில் உள்ள பலவீனமான புள்ளிகளைக் கண்டறிந்து மேம்பாட்டுத் திட்டங்களை முன்மொழியுங்கள். எடுத்துக்காட்டாக, பொறித்தல் செயல்பாட்டில், ESC ஆயுட்காலம் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் முறைகளின் தாக்கத்தை உபகரண பராமரிப்பு சுழற்சிகளில் பகுப்பாய்வு செய்து, உபகரண இயக்க அளவுருக்களை தொடர்ந்து மேம்படுத்தவும்.

6. நடைமுறை பயன்பாட்டு வழக்கு

ஒரு நடைமுறை எடுத்துக்காட்டாக, நீங்கள் E-MAX பொறித்தல் கருவிக்கு பொறுப்பானவர் என்று வைத்துக்கொள்வோம், மேலும் அறை கேத்தோடு முன்கூட்டியே தேய்மானத்தை அனுபவித்து, D0 (BARC குறைபாடு) மதிப்புகளை அதிகரிக்கிறது. SPC அமைப்பு மூலம் RF சக்தி மற்றும் பொறித்தல் வீதத்தைக் கண்காணிப்பதன் மூலம், இந்த அளவுருக்கள் அவற்றின் அமைக்கப்பட்ட மதிப்புகளிலிருந்து படிப்படியாக விலகும் ஒரு போக்கை நீங்கள் கவனிக்கிறீர்கள். ஒரு SPC அலாரம் தூண்டப்பட்ட பிறகு, நீங்கள் FDC அமைப்பிலிருந்து தரவை இணைத்து, அறைக்குள் நிலையற்ற வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டால் சிக்கல் ஏற்படுகிறது என்பதைத் தீர்மானிக்கிறீர்கள். பின்னர் நீங்கள் புதிய சுத்தம் செய்யும் முறைகள் மற்றும் பராமரிப்பு உத்திகளை செயல்படுத்துகிறீர்கள், இறுதியில் D0 மதிப்பை 4.3 இலிருந்து 2.4 ஆகக் குறைக்கிறீர்கள், இதன் மூலம் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறீர்கள்.

7. XINKEHUI இல் நீங்கள் பெறலாம்.

XINKEHUI இல், நீங்கள் சிலிக்கான் வேஃபராக இருந்தாலும் சரி, SiC வேஃபராக இருந்தாலும் சரி, சரியான வேஃபரை அடையலாம். துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனில் கவனம் செலுத்தி, பல்வேறு தொழில்களுக்கு உயர்தர வேஃபர்களை வழங்குவதில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.