சிலிக்கான்-ஆன்-இன்சுலேட்டர் உற்பத்தி செயல்முறை

SOI (சிலிக்கான்-ஆன்-இன்சுலேட்டர்) வேஃபர்கள்ஒரு இன்சுலேடிங் ஆக்சைடு அடுக்கின் மேல் உருவாக்கப்பட்ட மிக மெல்லிய சிலிக்கான் அடுக்கைக் கொண்ட ஒரு சிறப்பு குறைக்கடத்திப் பொருளைக் குறிக்கிறது. இந்த தனித்துவமான சாண்ட்விச் அமைப்பு குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க செயல்திறன் மேம்பாடுகளை வழங்குகிறது.

கட்டமைப்பு கலவை:

சாதன அடுக்கு (மேல் சிலிக்கான்):
பல நானோமீட்டர்கள் முதல் மைக்ரோமீட்டர்கள் வரை தடிமன் கொண்டது, டிரான்சிஸ்டர் உற்பத்திக்கான செயலில் உள்ள அடுக்காக செயல்படுகிறது.

புதைக்கப்பட்ட ஆக்சைடு அடுக்கு (பெட்டி):
ஒரு சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு காப்பு அடுக்கு (0.05-15μm தடிமன்), இது சாதன அடுக்கை அடி மூலக்கூறிலிருந்து மின்சாரம் மூலம் தனிமைப்படுத்துகிறது.

அடிப்படை அடி மூலக்கூறு:
மொத்த சிலிக்கான் (100-500μm தடிமன்) இயந்திர ஆதரவை வழங்குகிறது.

தயாரிப்பு செயல்முறை தொழில்நுட்பத்தின்படி, SOI சிலிக்கான் வேஃபர்களின் முக்கிய செயல்முறை வழிகளை பின்வருமாறு வகைப்படுத்தலாம்: SIMOX (ஆக்ஸிஜன் ஊசி தனிமைப்படுத்தல் தொழில்நுட்பம்), BESOI (பிணைப்பு மெல்லிய தொழில்நுட்பம்) மற்றும் ஸ்மார்ட் கட் (புத்திசாலித்தனமான அகற்றும் தொழில்நுட்பம்).

SIMOX (ஆக்ஸிஜன் ஊசி தனிமைப்படுத்தும் தொழில்நுட்பம்) என்பது சிலிக்கான் செதில்களில் உயர் ஆற்றல் கொண்ட ஆக்ஸிஜன் அயனிகளை செலுத்தி ஒரு சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு உட்பொதிக்கப்பட்ட அடுக்கை உருவாக்குவதை உள்ளடக்கிய ஒரு நுட்பமாகும், பின்னர் இது லட்டு குறைபாடுகளை சரிசெய்ய உயர் வெப்பநிலை அனீலிங்கிற்கு உட்படுத்தப்படுகிறது. புதைக்கப்பட்ட அடுக்கு ஆக்ஸிஜனை உருவாக்க மையமானது நேரடி அயனி ஆக்ஸிஜன் ஊசி ஆகும்.

BESOI (பிணைப்பு தின்னிங் தொழில்நுட்பம்) என்பது இரண்டு சிலிக்கான் செதில்களைப் பிணைத்து, பின்னர் அவற்றில் ஒன்றை இயந்திர அரைத்தல் மற்றும் வேதியியல் பொறித்தல் மூலம் மெலிதாக்கி ஒரு SOI அமைப்பை உருவாக்குகிறது. இதன் மையமானது பிணைப்பு மற்றும் மெலிதாக்குதல் ஆகும்.

ஸ்மார்ட் கட் (புத்திசாலித்தனமான உரிதல் தொழில்நுட்பம்) ஹைட்ரஜன் அயன் ஊசி மூலம் ஒரு உரிதல் அடுக்கை உருவாக்குகிறது. பிணைப்புக்குப் பிறகு, ஹைட்ரஜன் அயன் அடுக்குடன் சிலிக்கான் வேஃபரை வெளியேற்ற வெப்ப சிகிச்சை மேற்கொள்ளப்படுகிறது, இது ஒரு மிக மெல்லிய சிலிக்கான் அடுக்கை உருவாக்குகிறது. மையமானது ஹைட்ரஜன் ஊசி நீக்குதல் ஆகும்.

தற்போது, ​​SIMBOND (ஆக்ஸிஜன் ஊசி பிணைப்பு தொழில்நுட்பம்) எனப்படும் மற்றொரு தொழில்நுட்பம் உள்ளது, இது Xinao ஆல் உருவாக்கப்பட்டது. உண்மையில், இது ஆக்ஸிஜன் ஊசி தனிமைப்படுத்தல் மற்றும் பிணைப்பு தொழில்நுட்பங்களை இணைக்கும் ஒரு பாதையாகும். இந்த தொழில்நுட்ப பாதையில், செலுத்தப்படும் ஆக்ஸிஜன் ஒரு மெல்லிய தடுப்பு அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் உண்மையில் புதைக்கப்பட்ட ஆக்ஸிஜன் அடுக்கு ஒரு வெப்ப ஆக்ஸிஜனேற்ற அடுக்காகும். எனவே, இது ஒரே நேரத்தில் மேல் சிலிக்கானின் சீரான தன்மை மற்றும் புதைக்கப்பட்ட ஆக்ஸிஜன் அடுக்கின் தரம் போன்ற அளவுருக்களை மேம்படுத்துகிறது.

வெவ்வேறு தொழில்நுட்ப வழிகளில் தயாரிக்கப்படும் SOI சிலிக்கான் வேஃபர்கள் வெவ்வேறு செயல்திறன் அளவுருக்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் வெவ்வேறு பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளுக்கு ஏற்றவை.

SOI சிலிக்கான் வேஃபர்களின் முக்கிய செயல்திறன் நன்மைகளின் சுருக்க அட்டவணை, அவற்றின் தொழில்நுட்ப அம்சங்கள் மற்றும் உண்மையான பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகளுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. பாரம்பரிய மொத்த சிலிக்கானுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​SOI வேகம் மற்றும் மின் நுகர்வு சமநிலையில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. (குறிப்பு: 22nm FD-SOI இன் செயல்திறன் FinFET இன் செயல்திறன்க்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் செலவு 30% குறைக்கப்படுகிறது.)

சுருக்கமாக, SOI இன் முக்கிய நன்மைகள்: இது வேகமாக இயங்குகிறது மற்றும் அதிக சக்தி திறன் கொண்டது.

SOI இன் இந்த செயல்திறன் பண்புகள் காரணமாக, சிறந்த அதிர்வெண் செயல்திறன் மற்றும் மின் நுகர்வு செயல்திறன் தேவைப்படும் துறைகளில் இது பரந்த பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது.

கீழே காட்டப்பட்டுள்ளபடி, SOI உடன் தொடர்புடைய பயன்பாட்டு புலங்களின் விகிதத்தின் அடிப்படையில், RF மற்றும் மின் சாதனங்கள் SOI சந்தையின் பெரும்பகுதியைக் கொண்டுள்ளன என்பதைக் காணலாம்.

மொபைல் தொடர்பு மற்றும் தன்னியக்க ஓட்டுநர் போன்ற சந்தைகளின் வளர்ச்சியுடன், SOI சிலிக்கான் வேஃபர்களும் ஒரு குறிப்பிட்ட வளர்ச்சி விகிதத்தை பராமரிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.

சிலிக்கான்-ஆன்-இன்சுலேட்டர் (SOI) வேஃபர் தொழில்நுட்பத்தில் முன்னணி கண்டுபிடிப்பாளராக இருக்கும் XKH, தொழில்துறையில் முன்னணி உற்பத்தி செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிலிருந்து தொகுதி உற்பத்தி வரை விரிவான SOI தீர்வுகளை வழங்குகிறது. எங்கள் முழுமையான போர்ட்ஃபோலியோவில் RF-SOI, Power-SOI மற்றும் FD-SOI வகைகளை உள்ளடக்கிய 200mm/300mm SOI வேஃபர்கள் உள்ளன, கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு விதிவிலக்கான செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது (±1.5% க்குள் தடிமன் சீரான தன்மை). 50nm முதல் 1.5μm வரையிலான புதைக்கப்பட்ட ஆக்சைடு (BOX) அடுக்கு தடிமன் மற்றும் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு எதிர்ப்பு விவரக்குறிப்புகள் கொண்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம். 15 ஆண்டுகால தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவத்தையும் வலுவான உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலியையும் பயன்படுத்தி, உலகெங்கிலும் உள்ள உயர்மட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு உயர்தர SOI அடி மூலக்கூறு பொருட்களை நாங்கள் நம்பகத்தன்மையுடன் வழங்குகிறோம், 5G தகவல்தொடர்புகள், வாகன மின்னணுவியல் மற்றும் செயற்கை நுண்ணறிவு பயன்பாடுகளில் அதிநவீன சிப் கண்டுபிடிப்புகளை செயல்படுத்துகிறோம்.

எக்ஸ்கேஹெச்'SOI வேஃபர்கள்: