வேஃபர் சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்ப ஆவணங்கள்​

பொருளடக்கம்

1. வேஃபர் சுத்தம் செய்வதன் முக்கிய நோக்கங்கள் மற்றும் முக்கியத்துவம்

2. மாசு மதிப்பீடு மற்றும் மேம்பட்ட பகுப்பாய்வு நுட்பங்கள்​

3. மேம்பட்ட சுத்தம் செய்யும் முறைகள் மற்றும் தொழில்நுட்பக் கோட்பாடுகள்​

4. தொழில்நுட்ப செயல்படுத்தல் மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாடு அத்தியாவசியங்கள்​

5. எதிர்கால போக்குகள் மற்றும் புதுமையான திசைகள்

6.​XKH முழுமையான தீர்வுகள் மற்றும் சேவை சுற்றுச்சூழல் அமைப்பு​

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேஃபர் சுத்தம் செய்வது ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும், ஏனெனில் அணு அளவிலான மாசுபாடுகள் கூட சாதனத்தின் செயல்திறன் அல்லது விளைச்சலைக் குறைக்கலாம். சுத்தம் செய்யும் செயல்முறை பொதுவாக கரிம எச்சங்கள், உலோக அசுத்தங்கள், துகள்கள் மற்றும் பூர்வீக ஆக்சைடுகள் போன்ற பல்வேறு மாசுபாடுகளை அகற்ற பல படிகளை உள்ளடக்கியது.

1. வேஃபர் சுத்தம் செய்வதன் நோக்கங்கள்

• கரிம மாசுபாடுகளை அகற்றவும் (எ.கா., ஒளிச்சேர்க்கை எச்சங்கள், கைரேகைகள்).
• உலோக அசுத்தங்களை அகற்றவும் (எ.கா., Fe, Cu, Ni).
• துகள் மாசுபாட்டை நீக்குங்கள் (எ.கா., தூசி, சிலிக்கான் துண்டுகள்).
• இயற்கை ஆக்சைடுகளை அகற்றவும் (எ.கா., காற்று வெளிப்பாட்டின் போது உருவாகும் SiO₂ அடுக்குகள்).

2. கடுமையான வேஃபர் சுத்தம் செய்வதன் முக்கியத்துவம்

• அதிக செயல்முறை மகசூல் மற்றும் சாதன செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
• குறைபாடுகள் மற்றும் வேஃபர் ஸ்கிராப் விகிதங்களைக் குறைக்கிறது.
• மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

தீவிர சுத்தம் செய்வதற்கு முன், ஏற்கனவே உள்ள மேற்பரப்பு மாசுபாட்டை மதிப்பிடுவது அவசியம். வேஃபர் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுபடுத்திகளின் வகை, அளவு விநியோகம் மற்றும் இடஞ்சார்ந்த அமைப்பைப் புரிந்துகொள்வது சுத்தம் செய்யும் வேதியியல் மற்றும் இயந்திர ஆற்றல் உள்ளீட்டை மேம்படுத்துகிறது.

3. மாசு மதிப்பீட்டிற்கான மேம்பட்ட பகுப்பாய்வு நுட்பங்கள்​

3.1 மேற்பரப்பு துகள் பகுப்பாய்வு

• சிறப்பு துகள் கவுண்டர்கள் லேசர் சிதறல் அல்லது கணினி பார்வையைப் பயன்படுத்தி மேற்பரப்பு குப்பைகளை எண்ணவும், அளவிடவும், வரைபடமாக்கவும் செய்கின்றன.
• ஒளிச் சிதறல் தீவிரம், பத்து நானோமீட்டர்கள் அளவுக்குச் சிறிய துகள் அளவுகளுடனும், 0.1 துகள்கள்/செ.மீ² அளவுக்குக் குறைந்த அடர்த்தியுடனும் தொடர்புடையது.
• தரநிலைகளுடன் கூடிய அளவுத்திருத்தம் வன்பொருள் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. சுத்தம் செய்வதற்கு முந்தைய மற்றும் பிந்தைய ஸ்கேன்கள் அகற்றுதல் திறன், ஓட்டுநர் செயல்முறை மேம்பாடுகளை உறுதிப்படுத்துகின்றன.

3.2 தனிம மேற்பரப்பு பகுப்பாய்வு

• மேற்பரப்பு உணர்திறன் நுட்பங்கள் தனிம கலவையை அடையாளம் காண்கின்றன.
• எக்ஸ்-கதிர் ஒளிமின்னழுத்த நிறமாலையியல் (XPS/ESCA): எக்ஸ்-கதிர்கள் மூலம் வேஃபரை கதிர்வீச்சு செய்து உமிழப்படும் எலக்ட்ரான்களை அளவிடுவதன் மூலம் மேற்பரப்பு வேதியியல் நிலைகளை பகுப்பாய்வு செய்கிறது.
• பளபளப்பு வெளியேற்ற ஒளியியல் உமிழ்வு நிறமாலை (GD-OES): ஆழம் சார்ந்த தனிம கலவையை தீர்மானிக்க உமிழப்படும் நிறமாலையை பகுப்பாய்வு செய்யும் போது மிக மெல்லிய மேற்பரப்பு அடுக்குகளை தொடர்ச்சியாக தெளிக்கிறது.
• கண்டறிதல் வரம்புகள் ஒரு மில்லியனுக்கு பாகங்களை (பிபிஎம்) அடைகின்றன, இது உகந்த துப்புரவு வேதியியல் தேர்வை வழிநடத்துகிறது.

3.3 உருவவியல் மாசுபாடு பகுப்பாய்வு

• ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (SEM): மாசுபடுத்திகளின் வடிவங்கள் மற்றும் தோற்ற விகிதங்களை வெளிப்படுத்த உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட படங்களைப் பிடிக்கிறது, இது ஒட்டுதல் வழிமுறைகளைக் குறிக்கிறது (வேதியியல் vs. இயந்திரவியல்).
• அணு விசை நுண்ணோக்கி (AFM): துகள் உயரம் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை அளவிட நானோ அளவிலான நிலப்பரப்பை வரைபடமாக்குகிறது.
• குவிக்கப்பட்ட அயன் கற்றை (FIB) அரைத்தல் + பரிமாற்ற எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (TEM): புதைக்கப்பட்ட மாசுபடுத்திகளின் உள் காட்சிகளை வழங்குகிறது.

4. மேம்பட்ட சுத்தம் செய்யும் முறைகள்

கரைப்பான் சுத்தம் செய்தல் கரிம மாசுபாடுகளை திறம்பட நீக்கும் அதே வேளையில், கனிம துகள்கள், உலோக எச்சங்கள் மற்றும் அயனி மாசுபாடுகளுக்கு கூடுதல் மேம்பட்ட நுட்பங்கள் தேவைப்படுகின்றன:

(ஆ)

4.1 ஆர்.சி.ஏ சுத்தம் செய்தல்

• RCA ஆய்வகங்களால் உருவாக்கப்பட்ட இந்த முறை, துருவ மாசுபாடுகளை அகற்ற இரட்டை குளியல் செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது.
• SC-1 (ஸ்டாண்டர்ட் கிளீன்-1)​: NH₄OH, H₂O₂, மற்றும் H₂O​​ கலவையைப் பயன்படுத்தி கரிம மாசுபாடுகள் மற்றும் துகள்களை நீக்குகிறது (எ.கா., ~20°C இல் 1:1:5 விகிதம்). ஒரு மெல்லிய சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்குகிறது.
• SC-2 (ஸ்டாண்டர்ட் கிளீன்-2)​: HCl, H₂O₂, மற்றும் H₂O​​​​ஐப் பயன்படுத்தி உலோக அசுத்தங்களை நீக்குகிறது (எ.கா., ~80°C இல் 1:1:6 விகிதம்). ஒரு செயலற்ற மேற்பரப்பை விட்டுச்செல்கிறது.
• மேற்பரப்பு பாதுகாப்புடன் தூய்மையை சமநிலைப்படுத்துகிறது.

(ஆ)

4.2 ஓசோன் சுத்திகரிப்பு

• ஓசோன்-நிறைவுற்ற அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட நீரில் (O₃/H₂O) வேஃபர்களை மூழ்கடிக்கிறது.
• வேஃபரை சேதப்படுத்தாமல் திறம்பட ஆக்ஸிஜனேற்றம் செய்து கரிமப் பொருட்களை நீக்குகிறது, வேதியியல் ரீதியாக செயலற்ற மேற்பரப்பை விட்டுச்செல்கிறது.

(ஆ)

4.3 மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல்(ஆ)

• உயர் அதிர்வெண் மீயொலி ஆற்றலை (பொதுவாக 750–900 kHz) சுத்தம் செய்யும் கரைசல்களுடன் இணைந்து பயன்படுத்துகிறது.
• மாசுக்களை வெளியேற்றும் குழிவுறுதல் குமிழ்களை உருவாக்குகிறது. நுட்பமான கட்டமைப்புகளுக்கு ஏற்படும் சேதத்தைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் சிக்கலான வடிவவியலில் ஊடுருவுகிறது.

4.4 கிரையோஜெனிக் சுத்தம் செய்தல்

• செதில்களை விரைவாக கிரையோஜெனிக் வெப்பநிலைக்கு குளிர்வித்து, மாசுபடுத்திகளை மென்மையாக்குகிறது.
• அடுத்தடுத்த கழுவுதல் அல்லது மெதுவாக துலக்குதல் தளர்வான துகள்களை நீக்குகிறது. மேற்பரப்பில் மீண்டும் மாசுபடுவதையும் பரவுவதையும் தடுக்கிறது.
• குறைந்தபட்ச ரசாயனப் பயன்பாட்டுடன் வேகமான, உலர்த்தும் செயல்முறை.

முடிவு:
முன்னணி முழு-சங்கிலி குறைக்கடத்தி தீர்வுகள் வழங்குநராக, XKH தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளால் இயக்கப்படுகிறது மற்றும் உயர்நிலை உபகரண விநியோகம், வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் துல்லியமான சுத்தம் செய்தல் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு முழுமையான சேவை சுற்றுச்சூழல் அமைப்பை வாடிக்கையாளர் வழங்க வேண்டும். சர்வதேச அளவில் அங்கீகரிக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களை (எ.கா., லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், எச்சிங் சிஸ்டம்ஸ்) வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகளுடன் வழங்குவதோடு மட்டுமல்லாமல், வேஃபர் உற்பத்திக்கான அணு-நிலை தூய்மையை உறுதிசெய்யவும், வாடிக்கையாளர் மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தவும், RCA சுத்தம் செய்தல், ஓசோன் சுத்திகரிப்பு மற்றும் மெகாசோனிக் சுத்தம் செய்தல் உள்ளிட்ட முன்னோடி தனியுரிம தொழில்நுட்பங்களையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட விரைவான-பதில் குழுக்கள் மற்றும் அறிவார்ந்த சேவை நெட்வொர்க்குகளைப் பயன்படுத்தி, உபகரணங்கள் நிறுவல் மற்றும் செயல்முறை உகப்பாக்கம் முதல் முன்கணிப்பு பராமரிப்பு வரை விரிவான ஆதரவை நாங்கள் வழங்குகிறோம், தொழில்நுட்ப சவால்களை சமாளிக்கவும், அதிக துல்லியம் மற்றும் நிலையான குறைக்கடத்தி மேம்பாட்டை நோக்கி முன்னேறவும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறோம். தொழில்நுட்ப நிபுணத்துவம் மற்றும் வணிக மதிப்பின் இரட்டை-வெற்றி சினெர்ஜிக்கு எங்களைத் தேர்வுசெய்க.