குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிலில் கூட, செதில் அடி மூலக்கூறு அல்லது எபிடாக்சியல் தாளின் மேற்பரப்பு தரத்திற்கான தேவைகள் மிகவும் கடுமையானவை.எனவே, செதில்களுக்கான தரத் தேவைகள் என்ன?சபையர் செதில்களை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், செதில்களின் மேற்பரப்பு தரத்தை மதிப்பிடுவதற்கு என்ன குறிகாட்டிகளைப் பயன்படுத்தலாம்?
செதில்களின் மதிப்பீட்டு குறிகாட்டிகள் என்ன?
மூன்று குறிகாட்டிகள்
சபையர் செதில்களுக்கு, அதன் மதிப்பீட்டு குறிகாட்டிகள் மொத்த தடிமன் விலகல் (TTV), வளைவு (வில்) மற்றும் வார்ப் (வார்ப்) ஆகும்.இந்த மூன்று அளவுருக்கள் ஒன்றாக சிலிக்கான் செதில்களின் தட்டையான மற்றும் தடிமன் சீரான தன்மையை பிரதிபலிக்கின்றன, மேலும் செதில்களின் சிற்றலை அளவை அளவிட முடியும்.செதில் மேற்பரப்பின் தரத்தை மதிப்பிடுவதற்கு நெளி தட்டையான தன்மையுடன் இணைக்கப்படலாம்.
TTV, BOW, Warp என்றால் என்ன?
TTV (மொத்த தடிமன் மாறுபாடு)
TTV என்பது ஒரு செதில்களின் அதிகபட்ச மற்றும் குறைந்தபட்ச தடிமன் இடையே உள்ள வித்தியாசம்.இந்த அளவுரு செதில் தடிமன் சீரான தன்மையை அளவிட பயன்படும் ஒரு முக்கியமான குறியீடாகும்.ஒரு குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில், செதில்களின் தடிமன் முழு மேற்பரப்பிலும் மிகவும் சீரானதாக இருக்க வேண்டும்.அளவீடுகள் வழக்கமாக செதில்களில் ஐந்து இடங்களில் செய்யப்படுகின்றன மற்றும் வேறுபாடு கணக்கிடப்படுகிறது.இறுதியில், செதில்களின் தரத்தை மதிப்பிடுவதற்கு இந்த மதிப்பு ஒரு முக்கியமான அடிப்படையாகும்.
வில்
செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் உள்ள வில் என்பது செதில்களின் வளைவைக் குறிக்கிறது.ஒரு பொருள் வளைந்திருக்கும் போது, ஒரு வில்லின் வளைந்த வடிவம் போன்ற வடிவத்தின் விளக்கத்திலிருந்து இந்த வார்த்தை வந்திருக்கலாம்.சிலிக்கான் செதில்களின் மையம் மற்றும் விளிம்பிற்கு இடையே உள்ள விலகலை அளவிடுவதன் மூலம் வில் மதிப்பு வரையறுக்கப்படுகிறது.இந்த மதிப்பு பொதுவாக மைக்ரோமீட்டர்களில் (µm) வெளிப்படுத்தப்படுகிறது.
வார்ப்
வார்ப் என்பது செதில்களின் உலகளாவிய சொத்து ஆகும், இது சுதந்திரமாக கட்டப்படாத செதில்களின் நடுப்பகுதிக்கும் குறிப்புத் தளத்திற்கும் இடையிலான அதிகபட்ச மற்றும் குறைந்தபட்ச தூரத்திற்கு இடையிலான வேறுபாட்டை அளவிடுகிறது.சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பில் இருந்து விமானம் வரை தூரத்தை குறிக்கிறது.
TTV, Bow, Warp ஆகியவற்றுக்கு என்ன வித்தியாசம்?
TTV தடிமன் மாற்றங்களில் கவனம் செலுத்துகிறது மற்றும் செதில்களின் வளைவு அல்லது சிதைவு பற்றி கவலைப்படுவதில்லை.
வில் ஒட்டுமொத்த வளைவில் கவனம் செலுத்துகிறது, முக்கியமாக மையப் புள்ளி மற்றும் விளிம்பின் வளைவைக் கருத்தில் கொள்கிறது.
வார்ப் மிகவும் விரிவானது, முழு செதில் மேற்பரப்பையும் வளைத்தல் மற்றும் முறுக்குதல் உட்பட.
இந்த மூன்று அளவுருக்கள் சிலிக்கான் செதில்களின் வடிவம் மற்றும் வடிவியல் பண்புகளுடன் தொடர்புடையவை என்றாலும், அவை வெவ்வேறு விதமாக அளவிடப்பட்டு விவரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை மற்றும் செதில் செயலாக்கத்தில் அவற்றின் தாக்கம் வேறுபட்டது.
சிறிய மூன்று அளவுருக்கள், சிறந்த, மற்றும் பெரிய அளவுரு, குறைக்கடத்தி செயல்முறை மீது எதிர்மறை தாக்கத்தை அதிக.எனவே, ஒரு குறைக்கடத்தி பயிற்சியாளராக, முழு செயல்முறை செயல்முறைக்கும் செதில் சுயவிவர அளவுருக்களின் முக்கியத்துவத்தை நாம் உணர வேண்டும், குறைக்கடத்தி செயல்முறை செய்ய, விவரங்களுக்கு கவனம் செலுத்த வேண்டும்.
(தணிக்கை)
இடுகை நேரம்: ஜூன்-24-2024