செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கியமான படியாக, வேஃபர் டைசிங் தொழில்நுட்பம், சிப் செயல்திறன், மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளுடன் நேரடியாக இணைக்கப்பட்டுள்ளது.
#01 வேஃபர் டைசிங்கின் பின்னணி மற்றும் முக்கியத்துவம்
1.1 வேஃபர் டைசிங் வரையறை
செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் வேஃபர் டைசிங் (ஸ்க்ரைபிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) ஒரு இன்றியமையாத படியாகும், இது பதப்படுத்தப்பட்ட செதில்களை பல தனித்தனி இறக்கங்களாகப் பிரிப்பதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. இந்த இறக்கங்கள் பொதுவாக முழுமையான சுற்று செயல்பாட்டைக் கொண்டிருக்கின்றன, மேலும் அவை மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியில் இறுதியில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கூறுகளாகும். சிப் வடிவமைப்புகள் மிகவும் சிக்கலானதாகி, பரிமாணங்கள் தொடர்ந்து சுருங்குவதால், செதில் டைசிங் தொழில்நுட்பத்திற்கான துல்லியம் மற்றும் செயல்திறன் தேவைகள் பெருகிய முறையில் கடுமையாகி வருகின்றன.
நடைமுறை செயல்பாடுகளில், செதில் டைசிங் பொதுவாக வைர கத்திகள் போன்ற உயர்-துல்லியமான கருவிகளைப் பயன்படுத்துகிறது. முக்கிய படிகளில் வெட்டுவதற்கு முன் தயாரிப்பு, வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது துல்லியமான கட்டுப்பாடு மற்றும் வெட்டப்பட்ட பிறகு தர ஆய்வு ஆகியவை அடங்கும்.
வெட்டுவதற்கு முன், துல்லியமான வெட்டு பாதைகளை உறுதிப்படுத்த செதில் குறிக்கப்பட்டு நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும். வெட்டும் போது, கருவியின் அழுத்தம் மற்றும் வேகம் போன்ற அளவுருக்கள் செதில் சேதத்தைத் தடுக்க கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். வெட்டப்பட்ட பிறகு, ஒவ்வொரு சிப்பும் செயல்திறன் தரநிலைகளை சந்திக்கிறதா என்பதை உறுதிப்படுத்த விரிவான தர ஆய்வுகள் நடத்தப்படுகின்றன.
வேஃபர் டைசிங் தொழில்நுட்பத்தின் அடிப்படைக் கொள்கைகள் வெட்டும் உபகரணங்களின் தேர்வு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை அமைப்பது மட்டுமல்லாமல், வெட்டு தரத்தில் பொருட்களின் இயந்திர பண்புகள் மற்றும் பண்புகளின் செல்வாக்கையும் உள்ளடக்கியது. எடுத்துக்காட்டாக, குறைந்த-கே மின்கடத்தா சிலிக்கான் செதில்கள், அவற்றின் தாழ்வான இயந்திர பண்புகள் காரணமாக, வெட்டும் போது அழுத்த செறிவுக்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன, இது சிப்பிங் மற்றும் கிராக்கிங் போன்ற தோல்விகளுக்கு வழிவகுக்கிறது. குறைந்த கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த-கே பொருட்களின் உடையக்கூடிய தன்மை, இயந்திர சக்தி அல்லது வெப்ப அழுத்தத்தின் கீழ், குறிப்பாக வெட்டும் போது கட்டமைப்பு சேதத்திற்கு அதிக வாய்ப்புள்ளது. கருவி மற்றும் செதில் மேற்பரப்புக்கு இடையேயான தொடர்பு, அதிக வெப்பநிலையுடன் இணைந்து, அழுத்தத்தின் செறிவை மேலும் அதிகப்படுத்தலாம்.
மெட்டீரியல் அறிவியலின் முன்னேற்றத்துடன், பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான குறைக்கடத்திகளுக்கு அப்பால் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) போன்ற புதிய பொருட்களை உள்ளடக்கிய செதில் டைசிங் தொழில்நுட்பம் விரிவடைந்துள்ளது. இந்த புதிய பொருட்கள், அவற்றின் கடினத்தன்மை மற்றும் கட்டமைப்பு பண்புகள் காரணமாக, டைசிங் செயல்முறைகளுக்கு புதிய சவால்களை முன்வைக்கின்றன, வெட்டுக் கருவிகள் மற்றும் நுட்பங்களில் மேலும் மேம்பாடுகள் தேவைப்படுகின்றன.
செமிகண்டக்டர் துறையில் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாக, வளர்ந்து வரும் தேவைகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களுக்கு பதிலளிக்கும் வகையில் செதில் டைசிங் தொடர்ந்து உகந்ததாக உள்ளது, இது எதிர்கால மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று தொழில்நுட்பங்களுக்கான அடித்தளத்தை அமைக்கிறது.
செதில் டைசிங் தொழில்நுட்பத்தின் மேம்பாடுகள் துணை பொருட்கள் மற்றும் கருவிகளின் வளர்ச்சிக்கு அப்பாற்பட்டவை. அவை செயல்முறை மேம்படுத்தல், உபகரண செயல்திறனில் மேம்பாடுகள் மற்றும் டைசிங் அளவுருக்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் சிறிய பரிமாணங்கள், அதிக ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மிகவும் சிக்கலான சிப் கட்டமைப்புகளின் தேவையை பூர்த்தி செய்வதன் மூலம் செதில் டைசிங் செயல்பாட்டில் அதிக துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதை இந்த முன்னேற்றங்கள் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளன.
| முன்னேற்றப் பகுதி | குறிப்பிட்ட நடவடிக்கைகள் | விளைவுகள் |
| செயல்முறை மேம்படுத்தல் | - மிகவும் துல்லியமான செதில் பொருத்துதல் மற்றும் பாதை திட்டமிடல் போன்ற ஆரம்ப தயாரிப்புகளை மேம்படுத்தவும். | - வெட்டு பிழைகளைக் குறைத்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும். |
| - வெட்டு பிழைகளைக் குறைத்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும். | - கருவி அழுத்தம், வேகம் மற்றும் வெப்பநிலையை சரிசெய்ய நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் பின்னூட்ட வழிமுறைகளை பின்பற்றவும். | |
| - குறைந்த செதில் உடைப்பு விகிதங்கள் மற்றும் சிப் தரத்தை மேம்படுத்தும். | ||
| உபகரணங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல் | - உயர் துல்லியமான இயந்திர அமைப்புகள் மற்றும் மேம்பட்ட ஆட்டோமேஷன் கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தவும். | - வெட்டு துல்லியத்தை மேம்படுத்தவும் மற்றும் பொருள் விரயத்தை குறைக்கவும். |
| - அதிக கடினத்தன்மை கொண்ட பொருள் செதில்களுக்கு ஏற்ற லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தை அறிமுகப்படுத்துங்கள். | - உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்துதல் மற்றும் கையேடு பிழைகளைக் குறைத்தல். | |
| - தானியங்கி கண்காணிப்பு மற்றும் சரிசெய்தல்களுக்கான உபகரணங்கள் ஆட்டோமேஷனை அதிகரிக்கவும். | ||
| துல்லியமான அளவுரு கட்டுப்பாடு | - வெட்டு ஆழம், வேகம், கருவி வகை மற்றும் குளிரூட்டும் முறைகள் போன்ற அளவுருக்களை நன்றாகச் சரிசெய்யவும். | - ஒருமைப்பாடு மற்றும் மின் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்தவும். |
| - செதில் பொருள், தடிமன் மற்றும் கட்டமைப்பின் அடிப்படையில் அளவுருக்களைத் தனிப்பயனாக்குங்கள். | - மகசூல் விகிதங்களை அதிகரிக்கவும், பொருள் கழிவுகளை குறைக்கவும் மற்றும் உற்பத்தி செலவுகளை குறைக்கவும். | |
| மூலோபாய முக்கியத்துவம் | - தொடர்ந்து புதிய தொழில்நுட்ப பாதைகளை ஆராய்தல், செயல்முறைகளை மேம்படுத்துதல் மற்றும் சந்தை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய உபகரண திறன்களை மேம்படுத்துதல். | - சிப் உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், புதிய பொருட்கள் மற்றும் மேம்பட்ட சிப் வடிவமைப்புகளின் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது. |
1.2 வேஃபர் டைசிங்கின் முக்கியத்துவம்
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வேஃபர் டைசிங் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது அடுத்தடுத்த படிகள் மற்றும் இறுதி தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அதன் முக்கியத்துவத்தை பின்வருமாறு விவரிக்கலாம்:
முதலாவதாக, சிப் விளைச்சல் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கு டைசிங்கின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை முக்கியமானது. உற்பத்தியின் போது, பல சிக்கலான சுற்று கட்டமைப்புகளை உருவாக்க செதில்கள் பல செயலாக்க படிகளுக்கு உட்படுகின்றன, அவை துல்லியமாக தனிப்பட்ட சில்லுகளாக (இறந்து) பிரிக்கப்பட வேண்டும். டைசிங் செயல்பாட்டின் போது சீரமைப்பு அல்லது வெட்டுவதில் குறிப்பிடத்தக்க பிழைகள் இருந்தால், சுற்றுகள் சேதமடையலாம், இது சிப்பின் செயல்பாடு மற்றும் நம்பகத்தன்மையை பாதிக்கலாம். எனவே, உயர் துல்லியமான டைசிங் தொழில்நுட்பம் ஒவ்வொரு சிப்பின் ஒருமைப்பாட்டையும் உறுதி செய்வதோடு மட்டுமல்லாமல் உள் சுற்றுகளுக்கு சேதம் விளைவிப்பதைத் தடுக்கிறது, ஒட்டுமொத்த மகசூல் விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது.
இரண்டாவதாக, செதில் டைசிங் உற்பத்தி திறன் மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாட்டில் குறிப்பிடத்தக்க தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய படியாக, அதன் செயல்திறன் நேரடியாக அடுத்தடுத்த படிகளின் முன்னேற்றத்தை பாதிக்கிறது. டைசிங் செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், தன்னியக்க நிலைகளை அதிகரிப்பதன் மூலம், வெட்டு வேகத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம், ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி திறனை பெரிதும் மேம்படுத்தலாம்.
மறுபுறம், டைசிங்கின் போது பொருள் விரயம் என்பது செலவு நிர்வாகத்தில் ஒரு முக்கியமான காரணியாகும். மேம்பட்ட டைசிங் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துவது வெட்டுச் செயல்பாட்டின் போது தேவையற்ற பொருள் இழப்புகளைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், செதில் பயன்பாட்டை அதிகரிக்கிறது, அதன் மூலம் உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்கிறது.
குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றங்களுடன், செதில் விட்டம் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது, மேலும் சுற்று அடர்த்தி அதற்கேற்ப உயர்கிறது, இது டைசிங் தொழில்நுட்பத்தில் அதிக கோரிக்கைகளை வைக்கிறது. பெரிய செதில்களுக்கு, குறிப்பாக அதிக அடர்த்தி கொண்ட சுற்றுப் பகுதிகளில், வெட்டுப் பாதைகளில் மிகவும் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது, சிறிய விலகல்கள் கூட பல சில்லுகளை குறைபாடுடையதாக மாற்றும். கூடுதலாக, பெரிய செதில்கள் அதிக வெட்டுக் கோடுகள் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான செயல்முறை படிகளை உள்ளடக்கியது, இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள டைசிங் தொழில்நுட்பங்களின் துல்லியம், நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறன் ஆகியவற்றில் மேலும் மேம்பாடுகள் தேவைப்படுகின்றன.
1.3 வேஃபர் டைசிங் செயல்முறை
செதில் டைசிங் செயல்முறை தயாரிப்பு கட்டம் முதல் இறுதி தர ஆய்வு வரை அனைத்து படிகளையும் உள்ளடக்கியது, ஒவ்வொரு கட்டமும் துண்டுகளாக்கப்பட்ட சில்லுகளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் முக்கியமானது. ஒவ்வொரு கட்டத்தின் விரிவான விளக்கம் கீழே உள்ளது.
| கட்டம் | விரிவான விளக்கம் |
| தயாரிப்பு கட்டம் | -செதில் சுத்தம்: அசுத்தங்கள், துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்றி, சுத்தமான மேற்பரப்பை உறுதிசெய்ய, உயர்-தூய்மை நீர் மற்றும் மீயொலி அல்லது மெக்கானிக்கல் ஸ்க்ரப்பிங்குடன் இணைந்து சிறப்பு துப்புரவு முகவர்களைப் பயன்படுத்தவும். -துல்லியமான நிலைப்பாடு: வடிவமைக்கப்பட்ட வெட்டும் பாதைகளில் செதில் துல்லியமாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளதை உறுதிசெய்ய, உயர் துல்லியமான உபகரணங்களைப் பயன்படுத்தவும். -செதில் பொருத்துதல்: வெட்டும் போது நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க, அதிர்வு அல்லது இயக்கத்தில் இருந்து சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்க, டேப் ஃப்ரேமில் செதில்களைப் பாதுகாக்கவும். |
| வெட்டு கட்டம் | -பிளேட் டைசிங்: சிலிக்கான் அடிப்படையிலான பொருட்களுக்கு ஏற்றது மற்றும் செலவு குறைந்த, உடல் வெட்டுவதற்கு அதிவேக சுழலும் வைர-பூசிய கத்திகளைப் பயன்படுத்தவும். -லேசர் டைசிங்உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர் கற்றைகளைப் பயன்படுத்தி, அதிக துல்லியம் மற்றும் குறைந்த பொருள் இழப்பை வழங்கும் காலியம் நைட்ரைடு போன்ற மிருதுவான அல்லது அதிக கடினத்தன்மை கொண்ட பொருட்களுக்கு ஏற்றதாக, தொடர்பு இல்லாத வெட்டுக்கு பயன்படுத்தவும். -புதிய தொழில்நுட்பங்கள்: வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலங்களைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை மேலும் மேம்படுத்த லேசர் மற்றும் பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பங்களை அறிமுகப்படுத்துங்கள். |
| சுத்தம் கட்டம் | - வெட்டும் போது உருவாகும் குப்பைகள் மற்றும் தூசிகளை அகற்ற, மீயொலி அல்லது ஸ்ப்ரே கிளீனிங்குடன் இணைந்து டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் (DI வாட்டர்) மற்றும் பிரத்யேக துப்புரவு முகவர்களைப் பயன்படுத்தவும். - உயர்-தூய்மை DI நீர் புதிய அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்க்கிறது, சுத்தமான செதில் சூழலை உறுதி செய்கிறது. |
| ஆய்வு கட்டம் | -ஆப்டிகல் ஆய்வு: AI அல்காரிதம்களுடன் இணைந்து ஆப்டிகல் கண்டறிதல் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்தி, குறைபாடுகளை விரைவாகக் கண்டறியவும், துண்டுகளாக்கப்பட்ட சில்லுகளில் விரிசல் அல்லது சிப்பிங் இல்லாமல் இருப்பதை உறுதி செய்யவும், ஆய்வுத் திறனை மேம்படுத்தவும், மனிதப் பிழையைக் குறைக்கவும். -பரிமாண அளவீடு: சிப் பரிமாணங்கள் வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகளை சந்திக்கின்றன என்பதை சரிபார்க்கவும். -மின் செயல்திறன் சோதனை: முக்கியமான சில்லுகளின் மின் செயல்திறன் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்து, அடுத்தடுத்த பயன்பாடுகளில் நம்பகத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. |
| வரிசையாக்கம் கட்டம் | - டேப் பிரேமில் இருந்து தகுதிவாய்ந்த சில்லுகளை பிரிக்க ரோபோடிக் கைகள் அல்லது வெற்றிட உறிஞ்சும் கோப்பைகளைப் பயன்படுத்தவும் மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்தும் போது உற்பத்தி திறன் மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்து, செயல்திறன் அடிப்படையில் தானாகவே வரிசைப்படுத்தவும். |
செதில் வெட்டும் செயல்முறையானது செதில் சுத்தம் செய்தல், பொருத்துதல், வெட்டுதல், சுத்தம் செய்தல், ஆய்வு செய்தல் மற்றும் வரிசைப்படுத்துதல் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது, ஒவ்வொரு அடியும் முக்கியமானதாக இருக்கும். ஆட்டோமேஷன், லேசர் கட்டிங் மற்றும் AI ஆய்வுத் தொழில்நுட்பங்களின் முன்னேற்றங்களுடன், நவீன செதில் வெட்டும் அமைப்புகள் அதிக துல்லியம், வேகம் மற்றும் குறைந்த பொருள் இழப்பை அடைய முடியும். எதிர்காலத்தில், லேசர் மற்றும் பிளாஸ்மா போன்ற புதிய வெட்டும் தொழில்நுட்பங்கள் படிப்படியாக பாரம்பரிய பிளேட் வெட்டுக்கு பதிலாக பெருகிய முறையில் சிக்கலான சிப் வடிவமைப்புகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும், மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் வளர்ச்சியை மேலும் ஊக்குவிக்கும்.
செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் மற்றும் அதன் கோட்பாடுகள்
படம் மூன்று பொதுவான செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பங்களை விளக்குகிறது:பிளேட் டைசிங்,லேசர் டைசிங், மற்றும்பிளாஸ்மா டைசிங். இந்த மூன்று நுட்பங்களின் விரிவான பகுப்பாய்வு மற்றும் துணை விளக்கம் கீழே:
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், செதில் வெட்டுதல் என்பது ஒரு முக்கியமான படியாகும், இது செதில்களின் தடிமன் அடிப்படையில் பொருத்தமான வெட்டு முறையைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும். முதல் படி செதில்களின் தடிமன் தீர்மானிக்க வேண்டும். செதில் தடிமன் 100 மைக்ரான்களுக்கு மேல் இருந்தால், வெட்டும் முறையாக பிளேட் டைசிங் தேர்வு செய்யலாம். பிளேடு டைசிங் பொருத்தமற்றதாக இருந்தால், முறிவு டைசிங் முறையைப் பயன்படுத்தலாம், இதில் ஸ்க்ரைப் கட்டிங் மற்றும் பிளேட் டைசிங் நுட்பங்கள் உள்ளன.
செதில் தடிமன் 30 மற்றும் 100 மைக்ரான்களுக்கு இடையில் இருக்கும்போது, DBG (அரைப்பதற்கு முன் டைஸ்) முறை பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. இந்த வழக்கில், ஸ்க்ரைப் கட்டிங், பிளேட் டைசிங் அல்லது தேவைக்கேற்ப வெட்டும் வரிசையை சரிசெய்தல் ஆகியவை சிறந்த முடிவுகளை அடைய தேர்வு செய்யப்படலாம்.
30 மைக்ரான்களுக்குக் குறைவான தடிமன் கொண்ட மிக மெல்லிய செதில்களுக்கு, அதிக சேதம் ஏற்படாமல் துல்லியமாக மெல்லிய செதில்களை வெட்டும் திறன் காரணமாக லேசர் வெட்டுதல் விருப்பமான முறையாகும். லேசர் வெட்டும் குறிப்பிட்ட தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியாவிட்டால், பிளாஸ்மா வெட்டும் ஒரு மாற்றாக பயன்படுத்தப்படலாம். வெவ்வேறு தடிமன் நிலைகளின் கீழ் மிகவும் பொருத்தமான செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் தேர்வு செய்யப்படுவதை உறுதிசெய்ய, இந்த பாய்வு விளக்கப்படம் தெளிவான முடிவெடுக்கும் பாதையை வழங்குகிறது.
2.1 மெக்கானிக்கல் கட்டிங் டெக்னாலஜி
இயந்திர வெட்டு தொழில்நுட்பம் என்பது செதில் டைசிங்கில் பாரம்பரிய முறையாகும். செதில்களை வெட்டுவதற்கு அதிவேக சுழலும் வைர அரைக்கும் சக்கரத்தை வெட்டும் கருவியாகப் பயன்படுத்துவதே முக்கியக் கொள்கை. முக்கிய உபகரணங்களில் காற்று தாங்கும் சுழல் அடங்கும், இது வைர அரைக்கும் சக்கரக் கருவியை அதிக வேகத்தில் இயக்கி, துல்லியமான வெட்டு அல்லது முன் வரையறுக்கப்பட்ட வெட்டுப் பாதையில் பள்ளம் செய்கிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் அதன் குறைந்த செலவு, அதிக செயல்திறன் மற்றும் பரந்த பொருந்தக்கூடிய தன்மை காரணமாக பரவலாக தொழில்துறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
நன்மைகள்
வைர அரைக்கும் சக்கர கருவிகளின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு, பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான பொருட்கள் அல்லது புதிய கலவை குறைக்கடத்திகள் என பல்வேறு செதில் பொருட்களின் வெட்டு தேவைகளுக்கு ஏற்ப இயந்திர வெட்டு தொழில்நுட்பத்தை செயல்படுத்துகிறது. அதன் செயல்பாடு எளிமையானது, ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த தொழில்நுட்ப தேவைகளுடன், வெகுஜன உற்பத்தியில் அதன் பிரபலத்தை மேலும் ஊக்குவிக்கிறது. கூடுதலாக, லேசர் வெட்டுதல் போன்ற பிற வெட்டு முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, இயந்திர வெட்டு அதிக கட்டுப்படுத்தக்கூடிய செலவுகளைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக அளவு உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வரம்புகள்
அதன் பல நன்மைகள் இருந்தபோதிலும், இயந்திர வெட்டு தொழில்நுட்பத்திற்கும் வரம்புகள் உள்ளன. முதலாவதாக, கருவிக்கும் செதில்க்கும் இடையே உள்ள உடல் தொடர்பு காரணமாக, வெட்டும் துல்லியம் ஒப்பீட்டளவில் குறைவாகவே உள்ளது, இது பெரும்பாலும் பரிமாண விலகல்களுக்கு வழிவகுக்கும், இது அடுத்தடுத்த சிப் பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனையின் துல்லியத்தை பாதிக்கலாம். இரண்டாவதாக, இயந்திர வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது சிப்பிங் மற்றும் விரிசல் போன்ற குறைபாடுகள் எளிதில் ஏற்படலாம், இது மகசூல் விகிதத்தை மட்டும் பாதிக்காது ஆனால் சில்லுகளின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை எதிர்மறையாக பாதிக்கலாம். இயந்திர அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சேதம் அதிக அடர்த்தி கொண்ட சிப் உற்பத்திக்கு குறிப்பாக தீங்கு விளைவிக்கும், குறிப்பாக உடையக்கூடிய பொருட்களை வெட்டும்போது, இந்த சிக்கல்கள் மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை.
தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகள்
இந்த வரம்புகளை சமாளிக்க, ஆராய்ச்சியாளர்கள் தொடர்ந்து இயந்திர வெட்டு செயல்முறையை மேம்படுத்துகின்றனர். முக்கிய மேம்பாடுகளில் வெட்டும் துல்லியம் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துவதற்காக அரைக்கும் சக்கரங்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை அடங்கும். கூடுதலாக, வெட்டு உபகரணங்களின் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளை மேம்படுத்துவது, வெட்டும் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆட்டோமேஷனை மேலும் மேம்படுத்தியுள்ளது. இந்த முன்னேற்றங்கள் மனித நடவடிக்கைகளால் ஏற்படும் பிழைகளைக் குறைத்து, வெட்டுக்களின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன. வெட்டுச் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் முரண்பாடுகளை நிகழ்நேர கண்காணிப்புக்கான மேம்பட்ட ஆய்வு மற்றும் தரக் கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பங்களின் அறிமுகம் வெட்டு நம்பகத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளது.
எதிர்கால மேம்பாடு மற்றும் புதிய தொழில்நுட்பங்கள்
மெக்கானிக்கல் கட்டிங் தொழில்நுட்பம் இன்னும் செதில் வெட்டுவதில் குறிப்பிடத்தக்க இடத்தைப் பெற்றிருந்தாலும், குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் உருவாகும்போது புதிய வெட்டு தொழில்நுட்பங்கள் வேகமாக முன்னேறி வருகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, வெப்ப லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாடு இயந்திர வெட்டுகளில் உள்ள துல்லியம் மற்றும் குறைபாடு சிக்கல்களுக்கு புதிய தீர்வுகளை வழங்குகிறது. இந்த தொடர்பு இல்லாத வெட்டும் முறையானது செதில் மீது உடல் அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது, குறிப்பாக அதிக உடையக்கூடிய பொருட்களை வெட்டும்போது சிப்பிங் மற்றும் விரிசல் நிகழ்வை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. எதிர்காலத்தில், வளர்ந்து வரும் வெட்டும் நுட்பங்களுடன் இயந்திர வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் ஒருங்கிணைப்பு, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு கூடுதல் விருப்பங்கள் மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்கும், மேலும் உற்பத்தி திறன் மற்றும் சிப் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.
முடிவில், இயந்திர வெட்டு தொழில்நுட்பம் சில குறைபாடுகளைக் கொண்டிருந்தாலும், தொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகள் மற்றும் புதிய வெட்டு நுட்பங்களுடன் அதன் ஒருங்கிணைப்பு இன்னும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்க அனுமதிக்கிறது மற்றும் எதிர்கால செயல்முறைகளில் அதன் போட்டித்தன்மையை பராமரிக்கிறது.
2.2 லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பம்
லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பம், செதில் வெட்டுவதில் ஒரு புதிய முறையாக, அதன் உயர் துல்லியம், இயந்திர தொடர்பு சேதமின்மை மற்றும் விரைவான வெட்டு திறன் ஆகியவற்றின் காரணமாக குறைக்கடத்தி துறையில் படிப்படியாக பரவலான கவனத்தை ஈர்த்தது. இந்த தொழில்நுட்பம், செதில் பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒரு சிறிய வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தை உருவாக்க லேசர் கற்றையின் அதிக ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் கவனம் செலுத்தும் திறனைப் பயன்படுத்துகிறது. லேசர் கற்றை செதில் பயன்படுத்தப்படும் போது, உருவாகும் வெப்ப அழுத்தத்தால், குறிப்பிட்ட இடத்தில் பொருள் உடைந்து, துல்லியமான வெட்டு அடையும்.
லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் நன்மைகள்
• உயர் துல்லியம்: லேசர் கற்றையின் துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் திறன் மைக்ரான் அல்லது நானோமீட்டர் அளவிலான வெட்டும் துல்லியத்தை அனுமதிக்கிறது, நவீன உயர்-துல்லியமான, உயர்-அடர்த்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
• இயந்திர தொடர்பு இல்லை: லேசர் வெட்டுதல் செதில்களுடன் உடல் ரீதியான தொடர்பைத் தவிர்க்கிறது, சிப்பிங் மற்றும் கிராக்கிங் போன்ற இயந்திர வெட்டுகளில் பொதுவான சிக்கல்களைத் தடுக்கிறது, சில்லுகளின் மகசூல் விகிதத்தையும் நம்பகத்தன்மையையும் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
• வேகமாக வெட்டும் வேகம்: லேசர் வெட்டும் அதிவேகமானது உற்பத்தித் திறனை அதிகரிப்பதற்கு பங்களிக்கிறது, இது பெரிய அளவிலான, அதிவேக உற்பத்தி காட்சிகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
எதிர்கொள்ளும் சவால்கள்
• அதிக உபகரணச் செலவு: லேசர் வெட்டும் கருவிகளுக்கான ஆரம்ப முதலீடு அதிகமாக உள்ளது, இது பொருளாதார அழுத்தத்தை அளிக்கிறது, குறிப்பாக சிறிய மற்றும் நடுத்தர அளவிலான உற்பத்தி நிறுவனங்களுக்கு.
• சிக்கலான செயல்முறை கட்டுப்பாடு: லேசர் வெட்டும் செயல்முறையை சிக்கலாக்கும் ஆற்றல் அடர்த்தி, கவனம் நிலை மற்றும் வெட்டு வேகம் உள்ளிட்ட பல அளவுருக்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
• வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டல சிக்கல்கள்: லேசர் வெட்டும் தொடர்பு இல்லாத தன்மை இயந்திர சேதத்தை குறைக்கிறது என்றாலும், வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தால் (HAZ) ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தம் செதில் பொருளின் பண்புகளை எதிர்மறையாக பாதிக்கலாம். இந்த விளைவைக் குறைக்க, செயல்முறையின் மேலும் மேம்படுத்தல் தேவைப்படுகிறது.
தொழில்நுட்ப மேம்பாட்டு திசைகள்
இந்த சவால்களை எதிர்கொள்ள, ஆராய்ச்சியாளர்கள் உபகரணச் செலவுகளைக் குறைத்தல், வெட்டுத் திறனை மேம்படுத்துதல் மற்றும் செயல்முறை ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் கவனம் செலுத்துகின்றனர்.
• திறமையான லேசர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் சிஸ்டம்ஸ்: மிகவும் திறமையான ஒளிக்கதிர்கள் மற்றும் மேம்பட்ட ஆப்டிகல் அமைப்புகளை உருவாக்குவதன் மூலம், வெட்டு துல்லியம் மற்றும் வேகத்தை அதிகரிக்கும் அதே வேளையில் உபகரணங்களின் விலையை குறைக்க முடியும்.
• செயல்முறை அளவுருக்களை மேம்படுத்துதல்: வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தைக் குறைக்கும் செயல்முறைகளை மேம்படுத்தவும், அதன் மூலம் வெட்டுத் தரத்தை மேம்படுத்தவும் லேசர்கள் மற்றும் வேஃபர் பொருட்களுக்கு இடையேயான தொடர்பு பற்றிய ஆழமான ஆராய்ச்சி நடத்தப்படுகிறது.
• நுண்ணறிவு கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள்: அறிவார்ந்த கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பங்களின் வளர்ச்சியானது, லேசர் வெட்டும் செயல்முறையை தானியங்குபடுத்துவதையும் மேம்படுத்துவதையும் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது, அதன் நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் மிகவும் மெல்லிய செதில்கள் மற்றும் உயர் துல்லிய வெட்டு காட்சிகளில் குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும். செதில் அளவுகள் அதிகரிக்கும் மற்றும் சுற்று அடர்த்தி அதிகரிக்கும் போது, பாரம்பரிய இயந்திர வெட்டு முறைகள் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் உயர்-துல்லியமான மற்றும் உயர்-செயல்திறன் கோரிக்கைகளை சந்திக்க போராடுகின்றன. அதன் தனித்துவமான நன்மைகள் காரணமாக, இந்த துறைகளில் லேசர் வெட்டும் விருப்பமான தீர்வாக மாறி வருகிறது.
லேசர் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் இன்னும் அதிக உபகரண செலவுகள் மற்றும் செயல்முறை சிக்கலானது போன்ற சவால்களை எதிர்கொள்கிறது என்றாலும், அதிக துல்லியம் மற்றும் தொடர்பு இல்லாத சேதத்தில் அதன் தனித்துவமான நன்மைகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய திசையாக அமைகிறது. லேசர் தொழில்நுட்பம் மற்றும் அறிவார்ந்த கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் தொடர்ந்து முன்னேறி வருவதால், லேசர் வெட்டும் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சிக்கு உந்துதலால் செதில் வெட்டும் திறன் மற்றும் தரத்தை மேலும் மேம்படுத்தும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
2.3 பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பம்
பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பம், வளர்ந்து வரும் செதில் டைசிங் முறையாக, சமீபத்திய ஆண்டுகளில் குறிப்பிடத்தக்க கவனத்தைப் பெற்றுள்ளது. இந்தத் தொழில்நுட்பம், பிளாஸ்மா கற்றையின் ஆற்றல், வேகம் மற்றும் வெட்டும் பாதையைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் செதில்களைத் துல்லியமாக வெட்டுவதற்கு உயர் ஆற்றல் கொண்ட பிளாஸ்மா கற்றைகளைப் பயன்படுத்துகிறது, இது உகந்த வெட்டு முடிவுகளை அடைகிறது.
வேலை கொள்கை மற்றும் நன்மைகள்
பிளாஸ்மா வெட்டும் செயல்முறையானது உபகரணங்களால் உருவாக்கப்பட்ட உயர்-வெப்பநிலை, அதிக ஆற்றல் கொண்ட பிளாஸ்மா கற்றையை நம்பியுள்ளது. இந்த பீம், செதில் பொருளை அதன் உருகும் அல்லது ஆவியாதல் புள்ளிக்கு மிகக் குறுகிய காலத்தில் சூடாக்குகிறது, இது வேகமாக வெட்டுவதற்கு உதவுகிறது. பாரம்பரிய மெக்கானிக்கல் அல்லது லேசர் வெட்டுடன் ஒப்பிடும்போது, பிளாஸ்மா வெட்டுதல் வேகமானது மற்றும் சிறிய வெப்ப-பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தை உருவாக்குகிறது, வெட்டும் போது விரிசல் மற்றும் சேதம் ஏற்படுவதை திறம்பட குறைக்கிறது.
நடைமுறை பயன்பாடுகளில், பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பம் சிக்கலான வடிவங்களைக் கொண்ட செதில்களைக் கையாளுவதில் குறிப்பாக திறமையானது. அதன் உயர் ஆற்றல், சரிசெய்யக்கூடிய பிளாஸ்மா கற்றை அதிக துல்லியத்துடன் ஒழுங்கற்ற வடிவ செதில்களை எளிதாக வெட்ட முடியும். எனவே, மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தியில், குறிப்பாக தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மற்றும் சிறிய அளவிலான உயர்நிலை சில்லுகளின் உற்பத்தியில், இந்த தொழில்நுட்பம் பரவலான பயன்பாட்டிற்கு பெரும் வாக்குறுதியைக் காட்டுகிறது.
சவால்கள் மற்றும் வரம்புகள்
பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் பல நன்மைகள் இருந்தபோதிலும், அது சில சவால்களையும் எதிர்கொள்கிறது.
• சிக்கலான செயல்முறை: பிளாஸ்மா வெட்டும் செயல்முறை சிக்கலானது மற்றும் உறுதி செய்ய அதிக துல்லியமான உபகரணங்கள் மற்றும் அனுபவம் வாய்ந்த ஆபரேட்டர்கள் தேவைவெட்டுவதில் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை.
• சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு மற்றும் பாதுகாப்பு: பிளாஸ்மா கற்றையின் உயர்-வெப்பநிலை, உயர்-ஆற்றல் தன்மைக்கு கடுமையான சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு மற்றும் பாதுகாப்பு நடவடிக்கைகள் தேவைப்படுகிறது, இது செயலாக்கத்தின் சிக்கலையும் செலவையும் அதிகரிக்கிறது.
எதிர்கால வளர்ச்சிக்கான திசைகள்
தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களுடன், பிளாஸ்மா வெட்டும் தொடர்பான சவால்கள் படிப்படியாக சமாளிக்கப்படும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. புத்திசாலித்தனமான மற்றும் நிலையான வெட்டு உபகரணங்களை உருவாக்குவதன் மூலம், கைமுறை செயல்பாடுகளைச் சார்ந்திருப்பதைக் குறைக்கலாம், அதன் மூலம் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தலாம். அதே நேரத்தில், செயல்முறை அளவுருக்கள் மற்றும் வெட்டு சூழலை மேம்படுத்துவது பாதுகாப்பு அபாயங்கள் மற்றும் செயல்பாட்டு செலவுகளை குறைக்க உதவும்.
செமிகண்டக்டர் துறையில், செதில் வெட்டுதல் மற்றும் டைசிங் தொழில்நுட்பத்தில் புதுமைகள் தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை இயக்குவதற்கு முக்கியமானவை. பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பம், அதன் உயர் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் சிக்கலான செதில் வடிவங்களைக் கையாளும் திறனுடன், இந்தத் துறையில் குறிப்பிடத்தக்க புதிய வீரராக உருவெடுத்துள்ளது. சில சவால்கள் இருந்தாலும், இந்த சிக்கல்கள் படிப்படியாக தொடர்ந்து தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளுடன் தீர்க்கப்படும், குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு அதிக சாத்தியக்கூறுகளையும் வாய்ப்புகளையும் கொண்டு வரும்.
பிளாஸ்மா வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள் மிகப் பெரியவை, மேலும் இது எதிர்காலத்தில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மிக முக்கிய பங்கு வகிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. தொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மற்றும் தேர்வுமுறை மூலம், பிளாஸ்மா வெட்டும் தற்போதுள்ள சவால்களை எதிர்கொள்வது மட்டுமல்லாமல், குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ச்சியின் சக்திவாய்ந்த இயக்கியாகவும் மாறும்.
2.4 தரத்தை வெட்டுதல் மற்றும் காரணிகளை பாதிக்கிறது
அடுத்த சிப் பேக்கேஜிங், சோதனை மற்றும் இறுதி தயாரிப்பின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு வேஃபர் கட்டிங் தரம் முக்கியமானது. வெட்டும் போது எதிர்கொள்ளும் பொதுவான சிக்கல்களில் விரிசல், சிப்பிங் மற்றும் வெட்டு விலகல்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த சிக்கல்கள் பல காரணிகள் ஒன்றாக வேலை செய்வதால் பாதிக்கப்படுகின்றன.
| வகை | உள்ளடக்கம் | தாக்கம் |
| செயல்முறை அளவுருக்கள் | வெட்டும் வேகம், ஊட்ட விகிதம் மற்றும் வெட்டு ஆழம் வெட்டும் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. முறையற்ற அமைப்புகள் மன அழுத்தத்தின் செறிவு மற்றும் அதிகப்படியான வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்திற்கு வழிவகுக்கும், இதன் விளைவாக விரிசல் மற்றும் சிப்பிங் ஏற்படலாம். செதில் பொருள், தடிமன் மற்றும் வெட்டுத் தேவைகள் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் அளவுருக்களை சரியான முறையில் சரிசெய்வது விரும்பிய வெட்டு முடிவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமாகும். | சரியான செயல்முறை அளவுருக்கள் துல்லியமான வெட்டு மற்றும் விரிசல் மற்றும் சிப்பிங் போன்ற குறைபாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன. |
| உபகரணங்கள் மற்றும் பொருள் காரணிகள் | -பிளேட் தரம்: கத்தியின் பொருள், கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை வெட்டும் செயல்முறையின் மென்மையையும் வெட்டு மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மையையும் பாதிக்கிறது. மோசமான தரமான கத்திகள் உராய்வு மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தை அதிகரிக்கின்றன, இது விரிசல் அல்லது சிப்பிங்கிற்கு வழிவகுக்கும். சரியான கத்தி பொருளைத் தேர்ந்தெடுப்பது முக்கியம். -குளிரூட்டியின் செயல்திறன்: குளிரூட்டிகள் வெட்டு வெப்பநிலையைக் குறைக்கவும், உராய்வைக் குறைக்கவும், குப்பைகளை அழிக்கவும் உதவுகின்றன. பயனற்ற குளிரூட்டி அதிக வெப்பநிலை மற்றும் குப்பைகள் குவிவதற்கு வழிவகுக்கும், இது வெட்டு தரம் மற்றும் செயல்திறனை பாதிக்கிறது. திறமையான மற்றும் சுற்றுச்சூழல் நட்பு குளிரூட்டிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது இன்றியமையாதது. | பிளேட் தரம் வெட்டு துல்லியம் மற்றும் மென்மையை பாதிக்கிறது. பயனற்ற குளிரூட்டியானது மோசமான வெட்டுத் தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கும், இது உகந்த குளிரூட்டி பயன்பாட்டின் அவசியத்தை எடுத்துக்காட்டுகிறது. |
| செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் தர ஆய்வு | -செயல்முறை கட்டுப்பாடு: வெட்டுச் செயல்பாட்டில் நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த, முக்கிய வெட்டு அளவுருக்களின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் சரிசெய்தல். -தர ஆய்வு: வெட்டுக்குப் பின் தோற்றச் சோதனைகள், பரிமாண அளவீடுகள் மற்றும் மின் செயல்திறன் சோதனை ஆகியவை தரச் சிக்கல்களைக் கண்டறிந்து உடனடியாகத் தீர்க்க உதவுகின்றன, வெட்டுத் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன. | முறையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தர ஆய்வு ஆகியவை நிலையான, உயர்தர வெட்டு முடிவுகளை உறுதி செய்வதற்கும் சாத்தியமான சிக்கல்களை முன்கூட்டியே கண்டறிவதற்கும் உதவுகின்றன. |
வெட்டும் தரத்தை மேம்படுத்துதல்
வெட்டு தரத்தை மேம்படுத்த, செயல்முறை அளவுருக்கள், உபகரணங்கள் மற்றும் பொருள் தேர்வு, செயல்முறை கட்டுப்பாடு மற்றும் ஆய்வு ஆகியவற்றைக் கணக்கில் எடுத்துக்கொள்ளும் ஒரு விரிவான அணுகுமுறை தேவைப்படுகிறது. வெட்டுத் தொழில்நுட்பங்களைத் தொடர்ந்து செம்மைப்படுத்துவதன் மூலமும், செயல்முறை முறைகளை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தித் தொழிலுக்கு மிகவும் நம்பகமான தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்கும், செதில் வெட்டலின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேலும் மேம்படுத்தலாம்.
#03 பிந்தைய வெட்டு கையாளுதல் மற்றும் சோதனை
3.1 சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல்
செதில் வெட்டப்பட்ட பிறகு சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல் ஆகியவை சிப் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கும் அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளின் சீரான முன்னேற்றத்திற்கும் முக்கியமானவை. இந்த கட்டத்தில், வெட்டும்போது உருவாகும் சிலிக்கான் குப்பைகள், குளிரூட்டி எச்சங்கள் மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் ஆகியவற்றை முழுமையாக அகற்றுவது அவசியம். சுத்தம் செய்யும் போது சில்லுகள் சேதமடையாமல் இருப்பதை உறுதி செய்வதும், உலர்த்திய பிறகு, அரிப்பு அல்லது மின்னியல் வெளியேற்றம் போன்ற சிக்கல்களைத் தடுக்க சில்லு மேற்பரப்பில் ஈரப்பதம் இல்லை என்பதை உறுதிப்படுத்துவதும் சமமாக முக்கியம்.
பிந்தைய வெட்டு கையாளுதல்: சுத்தம் மற்றும் உலர்த்தும் செயல்முறை
| செயல்முறை படி | உள்ளடக்கம் | தாக்கம் |
| துப்புரவு செயல்முறை | -முறை: சுத்தம் செய்ய மீயொலி அல்லது மெக்கானிக்கல் துலக்குதல் நுட்பங்களுடன் இணைந்து சிறப்பு துப்புரவு முகவர்கள் மற்றும் தூய நீர் பயன்படுத்தவும். | அசுத்தங்களை முழுமையாக அகற்றுவதை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் சுத்தம் செய்யும் போது சில்லுகளுக்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது. |
| -துப்புரவு முகவர் தேர்வு: சிப்பை சேதப்படுத்தாமல் திறம்பட சுத்தம் செய்வதை உறுதிசெய்ய, செதில் பொருள் மற்றும் மாசுபடுத்தும் வகையின் அடிப்படையில் தேர்வு செய்யவும். | பயனுள்ள துப்புரவு மற்றும் சிப் பாதுகாப்பிற்கு சரியான முகவர் தேர்வு முக்கியமானது. | |
| -அளவுரு கட்டுப்பாடு: முறையற்ற சுத்தம் செய்வதால் ஏற்படும் தரமான சிக்கல்களைத் தடுக்க, சுத்தம் செய்யும் வெப்பநிலை, நேரம் மற்றும் துப்புரவு தீர்வு செறிவைக் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தவும். | சீரான தரத்தை உறுதிசெய்து, செதில்களை சேதப்படுத்தாமல் அல்லது அசுத்தங்களை விட்டுச் செல்வதைத் தவிர்க்க கட்டுப்பாடுகள் உதவுகின்றன. | |
| உலர்த்தும் செயல்முறை | -பாரம்பரிய முறைகள்: இயற்கையான காற்று உலர்த்துதல் மற்றும் சூடான காற்று உலர்த்துதல், குறைந்த திறன் கொண்டவை மற்றும் நிலையான மின்சாரம் உருவாக்க வழிவகுக்கும். | மெதுவாக உலர்த்தும் நேரம் மற்றும் நிலையான சிக்கல்கள் ஏற்படலாம். |
| -நவீன தொழில்நுட்பங்கள்: சில்லுகள் விரைவாக உலர்ந்து தீங்கு விளைவிக்கும் விளைவுகளைத் தவிர்க்க வெற்றிட உலர்த்துதல் மற்றும் அகச்சிவப்பு உலர்த்துதல் போன்ற மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தவும். | வேகமான மற்றும் திறமையான உலர்த்தும் செயல்முறை, நிலையான வெளியேற்றம் அல்லது ஈரப்பதம் தொடர்பான சிக்கல்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. | |
| உபகரணங்கள் தேர்வு மற்றும் பராமரிப்பு | -உபகரணங்கள் தேர்வு: உயர் செயல்திறன் கொண்ட துப்புரவு மற்றும் உலர்த்தும் இயந்திரங்கள் செயலாக்கத் திறனை மேம்படுத்துவதோடு கையாளும் போது ஏற்படக்கூடிய சிக்கல்களைக் கட்டுப்படுத்துகின்றன. | உயர்தர இயந்திரங்கள் சிறந்த செயலாக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன மற்றும் சுத்தம் மற்றும் உலர்த்தும் போது பிழைகள் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கின்றன. |
| -உபகரணங்கள் பராமரிப்புஉபகரணங்களின் வழக்கமான ஆய்வு மற்றும் பராமரிப்பு, அது உகந்த வேலை நிலையில் இருப்பதை உறுதிசெய்து, சிப் தரத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. | முறையான பராமரிப்பு உபகரணங்கள் தோல்விகளைத் தடுக்கிறது, நம்பகமான மற்றும் உயர்தர செயலாக்கத்தை உறுதி செய்கிறது. |
பிந்தைய வெட்டு சுத்தம் மற்றும் உலர்த்துதல்
செதில் வெட்டப்பட்ட பிறகு சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உலர்த்துதல் என்பது சிக்கலான மற்றும் நுட்பமான செயல்முறைகள் ஆகும், அவை இறுதி செயலாக்க முடிவை உறுதிப்படுத்த பல காரணிகளை கவனமாக பரிசீலிக்க வேண்டும். விஞ்ஞான முறைகள் மற்றும் கடுமையான நடைமுறைகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், ஒவ்வொரு சிப்பும் உகந்த நிலையில் அடுத்தடுத்த பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை நிலைகளுக்குள் நுழைவதை உறுதி செய்ய முடியும்.
பிந்தைய வெட்டு ஆய்வு மற்றும் சோதனை
| படி | உள்ளடக்கம் | தாக்கம் |
| ஆய்வு படி | 1.காட்சி ஆய்வு: சிப் மேற்பரப்பில் விரிசல், சிப்பிங் அல்லது மாசுபாடு போன்ற புலப்படும் குறைபாடுகளை சரிபார்க்க காட்சி அல்லது தானியங்கு ஆய்வுக் கருவிகளைப் பயன்படுத்தவும். கழிவுகளைத் தவிர்க்க உடல் ரீதியாக சேதமடைந்த சில்லுகளை விரைவாக அடையாளம் காணவும். | செயல்பாட்டின் தொடக்கத்தில் குறைபாடுள்ள சில்லுகளை அடையாளம் காணவும் அகற்றவும் உதவுகிறது, பொருள் இழப்பைக் குறைக்கிறது. |
| 2.அளவு அளவீடு: சிப் பரிமாணங்களை துல்லியமாக அளவிட துல்லிய அளவீட்டு சாதனங்களைப் பயன்படுத்தவும், வெட்டு அளவு வடிவமைப்பு விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதிசெய்தல் மற்றும் செயல்திறன் சிக்கல்கள் அல்லது பேக்கேஜிங் சிரமங்களைத் தடுக்கிறது. | சில்லுகள் தேவையான அளவு வரம்புகளுக்குள் இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, செயல்திறன் சிதைவு அல்லது அசெம்பிளி சிக்கல்களைத் தடுக்கிறது. | |
| 3.மின் செயல்திறன் சோதனை: எதிர்ப்பு, கொள்ளளவு மற்றும் தூண்டல் போன்ற முக்கிய மின் அளவுருக்களை மதிப்பீடு செய்து, இணக்கமற்ற சில்லுகளை அடையாளம் கண்டு, செயல்திறன்-தகுதியுள்ள சில்லுகளை மட்டுமே அடுத்த கட்டத்திற்குச் செல்வதை உறுதிசெய்யவும். | செயல்பாட்டு மற்றும் செயல்திறன்-சோதனை செய்யப்பட்ட சில்லுகள் மட்டுமே செயல்பாட்டில் முன்னோக்கி நகர்வதை உறுதிசெய்கிறது, பிந்தைய நிலைகளில் தோல்வியின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. | |
| சோதனை படி | 1.செயல்பாட்டு சோதனை: சிப்பின் அடிப்படை செயல்பாடு நோக்கம் கொண்டதாகச் செயல்படுகிறதா என்பதைச் சரிபார்க்கவும், செயல்பாட்டு அசாதாரணங்களுடன் சில்லுகளைக் கண்டறிந்து நீக்குகிறது. | பிந்தைய நிலைகளுக்கு முன்னேறும் முன், சிப்கள் அடிப்படை செயல்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது. |
| 2.நம்பகத்தன்மை சோதனை: நிஜ-உலக தீவிர நிலைமைகளை உருவகப்படுத்துவதற்கு பொதுவாக அதிக வெப்பநிலை வயதான, குறைந்த வெப்பநிலை சோதனை மற்றும் ஈரப்பதம் சோதனை ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய நீடித்த பயன்பாடு அல்லது கடுமையான சூழல்களின் கீழ் சிப் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை மதிப்பிடவும். | சில்லுகள் பல்வேறு சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, தயாரிப்பு ஆயுட்காலம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. | |
| 3.பொருந்தக்கூடிய சோதனை: சிப் மற்ற கூறுகள் அல்லது அமைப்புகளுடன் சரியாகச் செயல்படுகிறதா என்பதைச் சரிபார்த்து, இணக்கமின்மையின் காரணமாக எந்தத் தவறுகளும் அல்லது செயல்திறன் சிதைவும் இல்லை என்பதை உறுதிப்படுத்தவும். | பொருந்தக்கூடிய சிக்கல்களைத் தடுப்பதன் மூலம் நிஜ-உலகப் பயன்பாடுகளில் சீரான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. |
3.3 பேக்கேஜிங் மற்றும் சேமிப்பு
செதில் வெட்டப்பட்ட பிறகு, சில்லுகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒரு முக்கியமான வெளியீடு ஆகும், மேலும் அவற்றின் பேக்கேஜிங் மற்றும் சேமிப்பு நிலைகள் சமமாக முக்கியம். முறையான பேக்கேஜிங் மற்றும் சேமிப்பு நடவடிக்கைகள், போக்குவரத்து மற்றும் சேமிப்பின் போது சில்லுகளின் பாதுகாப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கு மட்டுமல்லாமல், அடுத்தடுத்த உற்பத்தி, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங் நிலைகளுக்கு வலுவான ஆதரவை வழங்குவதற்கும் அவசியம்.
ஆய்வு மற்றும் சோதனை நிலைகளின் சுருக்கம்:
செதில் வெட்டப்பட்ட பிறகு சில்லுகளுக்கான ஆய்வு மற்றும் சோதனை படிகள் காட்சி ஆய்வு, அளவு அளவீடு, மின் செயல்திறன் சோதனை, செயல்பாட்டு சோதனை, நம்பகத்தன்மை சோதனை மற்றும் இணக்கத்தன்மை சோதனை உட்பட பல அம்சங்களை உள்ளடக்கியது. இந்த படிநிலைகள் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்டவை மற்றும் நிரப்புதல், தயாரிப்பு தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த ஒரு திடமான தடையை உருவாக்குகின்றன. கடுமையான ஆய்வு மற்றும் சோதனை நடைமுறைகள் மூலம், சாத்தியமான சிக்கல்களை கண்டறிந்து உடனடியாக தீர்க்க முடியும், இறுதி தயாரிப்பு வாடிக்கையாளர் தேவைகள் மற்றும் எதிர்பார்ப்புகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.
| அம்சம் | உள்ளடக்கம் |
| பேக்கேஜிங் நடவடிக்கைகள் | 1.நிலையான எதிர்ப்பு: பேக்கேஜிங் பொருட்கள் நிலையான மின்சாரம் சாதனங்களை சேதப்படுத்துவதிலிருந்தோ அல்லது அவற்றின் செயல்திறனை பாதிக்காமலோ தடுக்க சிறந்த ஆன்டி-ஸ்டாடிக் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். |
| 2.ஈரப்பதம் இல்லாதது: பேக்கேஜிங் பொருட்கள் ஈரப்பதத்தால் ஏற்படும் மின் செயல்திறன் அரிப்பு மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க நல்ல ஈரப்பதம் எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். | |
| 3.அதிர்ச்சி எதிர்ப்புபோக்குவரத்தின் போது அதிர்வு மற்றும் தாக்கத்திலிருந்து சில்லுகளைப் பாதுகாக்க பேக்கேஜிங் பொருட்கள் பயனுள்ள அதிர்ச்சி உறிஞ்சுதலை வழங்க வேண்டும். | |
| சேமிப்பு சூழல் | 1.ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு: அதிக ஈரப்பதம் அல்லது குறைந்த ஈரப்பதத்தால் ஏற்படும் நிலையான சிக்கல்களால் ஏற்படும் ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதல் மற்றும் அரிப்பைத் தடுக்க பொருத்தமான வரம்பிற்குள் ஈரப்பதத்தை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தவும். |
| 2.தூய்மைதூசி மற்றும் அசுத்தங்களால் சில்லுகள் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்க சுத்தமான சேமிப்பு சூழலை பராமரிக்கவும். | |
| 3.வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: ஒரு நியாயமான வெப்பநிலை வரம்பை அமைத்து வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும், அதிக வெப்பம் அல்லது குறைந்த வெப்பநிலையால் ஏற்படும் ஒடுக்கம் பிரச்சனைகளால் துரிதப்படுத்தப்படும் வயதானதை தடுக்கவும். | |
| வழக்கமான ஆய்வு | காட்சி ஆய்வுகள், அளவு அளவீடுகள் மற்றும் மின் செயல்திறன் சோதனைகள் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி, சாத்தியமான சிக்கல்களை சரியான நேரத்தில் கண்டறிந்து தீர்க்க, சேமிக்கப்பட்ட சில்லுகளை தவறாமல் ஆய்வு செய்து மதிப்பீடு செய்யவும். சேமிப்பக நேரம் மற்றும் நிபந்தனைகளின் அடிப்படையில், சில்லுகள் உகந்த நிலையில் பயன்படுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்ய அவற்றைப் பயன்படுத்த திட்டமிடவும். |
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் மைக்ரோகிராக்குகள் மற்றும் செதில் டைசிங் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படும் சேதம் ஒரு குறிப்பிடத்தக்க சவாலாகும். வெட்டுதல் அழுத்தம் இந்த நிகழ்வின் முதன்மையான காரணமாகும், ஏனெனில் இது செதில் மேற்பரப்பில் சிறிய விரிசல் மற்றும் சேதத்தை உருவாக்குகிறது, இது உற்பத்தி செலவுகள் அதிகரிப்பதற்கும் தயாரிப்பு தரம் குறைவதற்கும் வழிவகுக்கிறது.
இந்த சவாலை எதிர்கொள்ள, வெட்டு அழுத்தத்தை குறைப்பது மற்றும் உகந்த வெட்டு நுட்பங்கள், கருவிகள் மற்றும் நிபந்தனைகளை செயல்படுத்துவது முக்கியம். பிளேட் பொருள், வெட்டு வேகம், அழுத்தம் மற்றும் குளிரூட்டும் முறைகள் போன்ற காரணிகளில் கவனமாக கவனம் செலுத்துவது மைக்ரோகிராக்ஸின் உருவாக்கத்தைக் குறைக்கவும், செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்தவும் உதவும். கூடுதலாக, லேசர் டைசிங் போன்ற மேம்பட்ட வெட்டுத் தொழில்நுட்பங்கள் பற்றிய தொடர்ச்சியான ஆராய்ச்சி, இந்த சிக்கல்களை மேலும் குறைப்பதற்கான வழிகளை ஆராய்கிறது.
ஒரு உடையக்கூடிய பொருளாக, செதில்கள் இயந்திர, வெப்ப அல்லது இரசாயன அழுத்தங்களுக்கு உட்படுத்தப்படும் போது உள் கட்டமைப்பு மாற்றங்களுக்கு ஆளாகின்றன, இது மைக்ரோகிராக்குகள் உருவாக வழிவகுக்கிறது. இந்த விரிசல்கள் உடனடியாக கவனிக்கப்படாவிட்டாலும், உற்பத்தி செயல்முறை முன்னேறும்போது அவை விரிவடைந்து கடுமையான சேதத்தை ஏற்படுத்தும். இந்த சிக்கல் குறிப்பாக அடுத்தடுத்த பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை நிலைகளின் போது சிக்கலாக மாறும், அங்கு வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் கூடுதல் இயந்திர அழுத்தங்கள் இந்த மைக்ரோகிராக்குகளை காணக்கூடிய எலும்பு முறிவுகளாக மாற்றலாம், இது சிப் செயலிழப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
இந்த அபாயத்தைத் தணிக்க, வெட்டு வேகம், அழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலை போன்ற அளவுருக்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம் வெட்டு செயல்முறையை கவனமாகக் கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். லேசர் டைசிங் போன்ற குறைவான ஆக்ரோஷமான வெட்டு முறைகளைப் பயன்படுத்தி, செதில் இயந்திர அழுத்தத்தைக் குறைக்கலாம் மற்றும் மைக்ரோகிராக்குகள் உருவாவதைக் குறைக்கலாம். கூடுதலாக, அகச்சிவப்பு ஸ்கேனிங் அல்லது எக்ஸ்ரே இமேஜிங் போன்ற மேம்பட்ட ஆய்வு முறைகளை செதில் டைசிங் செயல்பாட்டின் போது செயல்படுத்துவது இந்த ஆரம்ப கட்ட விரிசல்களை மேலும் சேதத்தை ஏற்படுத்தும் முன் கண்டறிய உதவும்.
செதில் மேற்பரப்பில் ஏற்படும் சேதம் டைசிங் செயல்பாட்டில் குறிப்பிடத்தக்க கவலையாக உள்ளது, ஏனெனில் இது சிப்பின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையில் நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். வெட்டுக் கருவிகளின் முறையற்ற பயன்பாடு, தவறான வெட்டு அளவுருக்கள் அல்லது செதில்களில் உள்ளார்ந்த பொருள் குறைபாடுகள் போன்றவற்றால் இத்தகைய சேதம் ஏற்படலாம். காரணத்தைப் பொருட்படுத்தாமல், இந்த சேதங்கள் மின் எதிர்ப்பு அல்லது மின்சுற்றின் கொள்ளளவு மாற்றங்களுக்கு வழிவகுக்கும், இது ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை பாதிக்கிறது.
இந்த சிக்கல்களைத் தீர்க்க, இரண்டு முக்கிய உத்திகள் ஆராயப்படுகின்றன:
1.கட்டிங் கருவிகள் மற்றும் அளவுருக்களை மேம்படுத்துதல்: கூர்மையான கத்திகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், வெட்டும் வேகத்தைச் சரிசெய்வதன் மூலமும், வெட்டு ஆழத்தை மாற்றியமைப்பதன் மூலமும், வெட்டுச் செயல்பாட்டின் போது மன அழுத்தச் செறிவைக் குறைக்கலாம், இதனால் சேதத்திற்கான சாத்தியக்கூறுகள் குறையும்.
2.புதிய வெட்டும் தொழில்நுட்பங்களை ஆராய்தல்லேசர் கட்டிங் மற்றும் பிளாஸ்மா கட்டிங் போன்ற மேம்பட்ட நுட்பங்கள், செதில்களில் ஏற்படும் சேதத்தின் அளவைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் மேம்பட்ட துல்லியத்தை வழங்குகின்றன. செதில்களில் வெப்ப மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்தைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் அதிக வெட்டுத் துல்லியத்தை அடைவதற்கான வழிகளைக் கண்டறிய இந்தத் தொழில்நுட்பங்கள் ஆய்வு செய்யப்படுகின்றன.
வெப்ப தாக்கப் பகுதி மற்றும் செயல்திறனில் அதன் விளைவுகள்
லேசர் மற்றும் பிளாஸ்மா வெட்டுதல் போன்ற வெப்ப வெட்டு செயல்முறைகளில், அதிக வெப்பநிலை தவிர்க்க முடியாமல் செதில்களின் மேற்பரப்பில் வெப்ப தாக்க மண்டலத்தை உருவாக்குகிறது. வெப்பநிலை சாய்வு குறிப்பிடத்தக்கதாக இருக்கும் இந்த பகுதி, பொருளின் பண்புகளை மாற்றலாம், இது சிப்பின் இறுதி செயல்திறனை பாதிக்கிறது.
வெப்பத்தால் பாதிக்கப்பட்ட மண்டலத்தின் (TAZ) தாக்கம்:
படிக அமைப்பு மாற்றங்கள்: அதிக வெப்பநிலையின் கீழ், செதில் பொருளில் உள்ள அணுக்கள் மறுசீரமைக்கப்படலாம், இதனால் படிக அமைப்பில் சிதைவுகள் ஏற்படலாம். இந்த சிதைவு பொருளை பலவீனப்படுத்துகிறது, அதன் இயந்திர வலிமை மற்றும் நிலைத்தன்மையை குறைக்கிறது, இது பயன்பாட்டின் போது சிப் செயலிழக்கும் அபாயத்தை அதிகரிக்கிறது.
மின் பண்புகளில் மாற்றங்கள்: உயர் வெப்பநிலைகள் குறைக்கடத்தி பொருட்களில் கேரியர் செறிவு மற்றும் இயக்கம் ஆகியவற்றை மாற்றலாம், இது சிப்பின் மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் தற்போதைய பரிமாற்ற செயல்திறனை பாதிக்கிறது. இந்த மாற்றங்கள் சிப் செயல்திறனில் சரிவுக்கு வழிவகுக்கும், இது அதன் நோக்கம் கொண்ட நோக்கத்திற்கு பொருந்தாது.
இந்த விளைவுகளைத் தணிக்க, வெட்டும் போது வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்துதல், வெட்டு அளவுருக்களை மேம்படுத்துதல் மற்றும் குளிரூட்டும் ஜெட் அல்லது பிந்தைய செயலாக்க சிகிச்சைகள் போன்ற முறைகளை ஆராய்வது வெப்ப தாக்கத்தின் அளவைக் குறைப்பதற்கும் பொருள் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பதற்கும் இன்றியமையாத உத்திகளாகும்.
ஒட்டுமொத்தமாக, மைக்ரோகிராக்குகள் மற்றும் வெப்ப தாக்க மண்டலங்கள் இரண்டும் செதில் டைசிங் தொழில்நுட்பத்தில் முக்கியமான சவால்கள். செமிகண்டக்டர் தயாரிப்புகளின் தரத்தை மேம்படுத்தவும், அவற்றின் சந்தைப் போட்டித்தன்மையை அதிகரிக்கவும், தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்கள் மற்றும் தரக் கட்டுப்பாட்டு நடவடிக்கைகளுடன் தொடர்ச்சியான ஆராய்ச்சி அவசியமாகும்.
வெப்பத் தாக்க மண்டலத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான நடவடிக்கைகள்:
கட்டிங் செயல்முறை அளவுருக்களை மேம்படுத்துதல்: வெட்டு வேகம் மற்றும் சக்தியை குறைப்பது வெப்ப தாக்க மண்டலத்தின் (TAZ) அளவை திறம்பட குறைக்கலாம். இது வெட்டுச் செயல்பாட்டின் போது உருவாகும் வெப்பத்தின் அளவைக் கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, இது செதில்களின் பொருள் பண்புகளை நேரடியாக பாதிக்கிறது.
மேம்பட்ட குளிரூட்டும் தொழில்நுட்பங்கள்: திரவ நைட்ரஜன் குளிரூட்டல் மற்றும் மைக்ரோஃப்ளூய்டிக் குளிரூட்டல் போன்ற தொழில்நுட்பங்களின் பயன்பாடு வெப்ப தாக்க மண்டலத்தின் வரம்பை கணிசமாகக் குறைக்கும். இந்த குளிரூட்டும் முறைகள் வெப்பத்தை மிகவும் திறமையாக சிதறடிக்க உதவுகின்றன, இதனால் செதில்களின் பொருள் பண்புகளை பாதுகாக்கிறது மற்றும் வெப்ப சேதத்தை குறைக்கிறது.
பொருள் தேர்வு: சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர வலிமை கொண்ட கார்பன் நானோகுழாய்கள் மற்றும் கிராபெனின் போன்ற புதிய பொருட்களை ஆராய்ச்சியாளர்கள் ஆராய்ந்து வருகின்றனர். இந்த பொருட்கள் சில்லுகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்தும் போது வெப்ப தாக்க மண்டலத்தை குறைக்கலாம்.
சுருக்கமாக, வெப்ப தாக்க மண்டலம் வெப்ப வெட்டு தொழில்நுட்பங்களின் தவிர்க்க முடியாத விளைவு என்றாலும், உகந்த செயலாக்க நுட்பங்கள் மற்றும் பொருள் தேர்வு மூலம் அதை திறம்பட கட்டுப்படுத்த முடியும். எதிர்கால ஆராய்ச்சியானது மிகவும் திறமையான மற்றும் துல்லியமான செதில் டைசிங்கை அடைய வெப்ப வெட்டு செயல்முறைகளை நன்றாகச் சரிசெய்தல் மற்றும் தானியங்குபடுத்துவதில் கவனம் செலுத்தும்.
இருப்பு உத்தி:
செதில் விளைச்சல் மற்றும் உற்பத்தி திறன் ஆகியவற்றுக்கு இடையே உகந்த சமநிலையை அடைவது செதில் டைசிங் தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு தொடர்ச்சியான சவாலாகும். பகுத்தறிவு உற்பத்தி உத்தி மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை உருவாக்க, உற்பத்தியாளர்கள் சந்தை தேவை, உற்பத்தி செலவுகள் மற்றும் தயாரிப்பு தரம் போன்ற பல காரணிகளை கருத்தில் கொள்ள வேண்டும். அதே நேரத்தில், மேம்பட்ட வெட்டு உபகரணங்களை அறிமுகப்படுத்துதல், ஆபரேட்டர் திறன்களை மேம்படுத்துதல் மற்றும் மூலப்பொருட்களின் தரக் கட்டுப்பாட்டை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை உற்பத்தித் திறனை அதிகரிக்கும் அதே வேளையில் விளைச்சலைப் பராமரிக்க அல்லது மேம்படுத்தவும் அவசியம்.
எதிர்கால சவால்கள் மற்றும் வாய்ப்புகள்:
குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், செதில் வெட்டுதல் புதிய சவால்களையும் வாய்ப்புகளையும் எதிர்கொள்கிறது. சிப் அளவுகள் சுருங்கும்போது மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு அதிகரிக்கும்போது, துல்லியம் மற்றும் தரத்தை குறைப்பதற்கான தேவைகள் கணிசமாக வளரும். அதே நேரத்தில், வளர்ந்து வரும் தொழில்நுட்பங்கள் செதில் வெட்டு நுட்பங்களின் வளர்ச்சிக்கான புதிய யோசனைகளை வழங்குகின்றன. உற்பத்தியாளர்கள் சந்தை மாற்றங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உற்பத்தி உத்திகள் மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்களை தொடர்ந்து சரிசெய்தல் மற்றும் மேம்படுத்துதல், சந்தை இயக்கவியல் மற்றும் தொழில்நுட்ப போக்குகளுடன் இணைந்திருக்க வேண்டும்.
முடிவில், சந்தை தேவை, உற்பத்தி செலவுகள் மற்றும் தயாரிப்பு தரம் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து, மேம்பட்ட உபகரணங்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பத்தை அறிமுகப்படுத்துதல், ஆபரேட்டர் திறன்களை மேம்படுத்துதல் மற்றும் மூலப்பொருட்களின் கட்டுப்பாட்டை வலுப்படுத்துதல் ஆகியவற்றின் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் செதில் விளைச்சல் மற்றும் உற்பத்தி திறனுக்கு இடையே சிறந்த சமநிலையை அடைய முடியும். , திறமையான மற்றும் உயர்தர குறைக்கடத்தி தயாரிப்பு உற்பத்திக்கு வழிவகுக்கிறது.
எதிர்காலக் கண்ணோட்டம்:
விரைவான தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களுடன், குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் முன்னோடியில்லாத வேகத்தில் முன்னேறி வருகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான படியாக, செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் அற்புதமான புதிய முன்னேற்றங்களுக்கு தயாராக உள்ளது. முன்னோக்கிப் பார்க்கும்போது, செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியில் புதிய உயிர்ச்சக்தியைப் புகுத்தி, செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் செலவில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றங்களை அடையும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
அதிகரிக்கும் துல்லியம்:
அதிகத் துல்லியத்தைப் பின்தொடர்வதில், செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் தற்போதுள்ள செயல்முறைகளின் வரம்புகளைத் தொடர்ந்து தள்ளும். வெட்டும் செயல்முறையின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் வழிமுறைகளை ஆழமாகப் படிப்பதன் மூலமும், வெட்டு அளவுருக்களை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலமும், பெருகிய முறையில் சிக்கலான சுற்று வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சிறந்த வெட்டு முடிவுகள் அடையப்படும். கூடுதலாக, புதிய பொருட்கள் மற்றும் வெட்டு முறைகளின் ஆய்வு மகசூல் மற்றும் தரத்தை கணிசமாக மேம்படுத்தும்.
செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்:
புதிய செதில் வெட்டும் உபகரணங்கள் ஸ்மார்ட் மற்றும் தானியங்கி வடிவமைப்பில் கவனம் செலுத்தும். மேம்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் மற்றும் வழிமுறைகளின் அறிமுகம் பல்வேறு பொருட்கள் மற்றும் வடிவமைப்பு தேவைகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் வெட்டு அளவுருக்களை தானாக சரிசெய்ய சாதனங்களை செயல்படுத்துகிறது, இதனால் உற்பத்தி திறன் கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. மல்டி-வேஃபர் கட்டிங் டெக்னாலஜி மற்றும் ரேபிட் பிளேட் ரீப்ளேஸ்மென்ட் சிஸ்டம் போன்ற கண்டுபிடிப்புகள் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கும்.
செலவுகளைக் குறைத்தல்:
செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு செலவுகளைக் குறைப்பது ஒரு முக்கிய திசையாகும். புதிய பொருட்கள் மற்றும் வெட்டு முறைகள் உருவாக்கப்படுவதால், உபகரணங்கள் செலவுகள் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகள் திறம்பட கட்டுப்படுத்தப்படும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. கூடுதலாக, உற்பத்தி செயல்முறைகளை மேம்படுத்துதல் மற்றும் ஸ்கிராப் விகிதங்களைக் குறைத்தல் ஆகியவை உற்பத்தியின் போது கழிவுகளை மேலும் குறைக்கும், இது ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி செலவுகளில் குறைவுக்கு வழிவகுக்கும்.
ஸ்மார்ட் உற்பத்தி மற்றும் IoT:
ஸ்மார்ட் உற்பத்தி மற்றும் இன்டர்நெட் ஆஃப் திங்ஸ் (IoT) தொழில்நுட்பங்களின் ஒருங்கிணைப்பு, வேஃபர் கட்டிங் தொழில்நுட்பத்தில் மாற்றத்தை ஏற்படுத்தும். சாதனங்களுக்கிடையேயான தொடர்பு மற்றும் தரவுப் பகிர்வு மூலம், உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒவ்வொரு அடியையும் உண்மையான நேரத்தில் கண்காணிக்கவும் மேம்படுத்தவும் முடியும். இது உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், நிறுவனங்களுக்கு மிகவும் துல்லியமான சந்தை முன்கணிப்பு மற்றும் முடிவெடுக்கும் ஆதரவையும் வழங்குகிறது.
எதிர்காலத்தில், செதில் வெட்டும் தொழில்நுட்பம் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் செலவு ஆகியவற்றில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றங்களைச் செய்யும். இந்த முன்னேற்றங்கள் குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சிக்கு உந்துதல் மற்றும் மனித சமுதாயத்திற்கு அதிக தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகள் மற்றும் வசதிகளை கொண்டு வரும்.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-19-2024