p-வகை 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC அடி மூலக்கூறு 4inch 〈111〉± 0.5°Zero MPD

p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC அடி மூலக்கூறு 4inch 〈111〉± 0.5°Zero MPD சிறப்புப் படம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

P-வகை 4H/6H-P 3C-N வகை SiC அடி மூலக்கூறு, 4-இன்ச் ஒரு 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலை மற்றும் ஜீரோ MPD (மைக்ரோ பைப் குறைபாடு) தரம், மேம்பட்ட மின்னணு சாதனத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பொருள் ஆகும். உற்பத்தி. சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் முறிவு மின்னழுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்புக்கு வலுவான எதிர்ப்பிற்காக அறியப்பட்ட இந்த அடி மூலக்கூறு மின் மின்னணுவியல் மற்றும் RF பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது. ஜீரோ MPD தரமானது குறைந்த பட்ச குறைபாடுகளுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, அதிக செயல்திறன் கொண்ட சாதனங்களில் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. அதன் துல்லியமான 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலை புனையலின் போது துல்லியமான சீரமைப்பை அனுமதிக்கிறது, இது பெரிய அளவிலான உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இந்த அடி மூலக்கூறு அதிக வெப்பநிலை, உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் மின் மாற்றிகள், இன்வெர்ட்டர்கள் மற்றும் RF கூறுகள் போன்ற உயர் அதிர்வெண் மின்னணு சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

4H/6H-P வகை SiC கூட்டு அடி மூலக்கூறுகள் பொதுவான அளவுரு அட்டவணை

4 அங்குல விட்டம் சிலிக்கான்கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறு விவரக்குறிப்பு

தரம்			ஜீரோ MPD உற்பத்தி கிரேடு (Z தரம்)	நிலையான உற்பத்தி தரம் (பி தரம்)	போலி தரம் (D தரம்)
விட்டம்			99.5 மிமீ~100.0 மிமீ
தடிமன்			350 μm ± 25 μm
வேஃபர் நோக்குநிலை			ஆஃப் அச்சு: 2.0°-4.0° நோக்கி [112(-)4H/6H-க்கு 0] ± 0.5°P, On அச்சு:〈111〉± 3C-Nக்கு 0.5°
நுண்குழாய் அடர்த்தி			0 செமீ-2
எதிர்ப்பாற்றல்	p-வகை 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 Ωꞏcm
	n-வகை 3C-N		≤0.8 mΩꞏcm		≤1 மீ Ωꞏcm
முதன்மை பிளாட் நோக்குநிலை		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
முதன்மை பிளாட் நீளம்			32.5 மிமீ ± 2.0 மிமீ
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நீளம்			18.0 மிமீ ± 2.0 மிமீ
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நோக்குநிலை			சிலிக்கான் முகம்: 90° CW. பிரைம் பிளாட்டில் இருந்து±5.0°
எட்ஜ் விலக்கு			3 மி.மீ		6 மி.மீ
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
முரட்டுத்தனம்			போலிஷ் Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் விளிம்பு விரிசல்			இல்லை		ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ 10 மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2 மிமீ
ஹெக்ஸ் தட்டுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம்			ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05%		ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.1%
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள்			இல்லை		ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள்			ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05%		ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤3%
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு கீறல்கள்			இல்லை		ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1×செதில் விட்டம்
தீவிர ஒளி மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் உயர்			≥0.2 மிமீ அகலம் மற்றும் ஆழம் எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை		5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ஒவ்வொன்றும் ≤1 மிமீ
அதிக தீவிரத்தினால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு			இல்லை
பேக்கேஜிங்			மல்டி-வேஃபர் கேசட் அல்லது ஒற்றை வேஃபர் கொள்கலன்

குறிப்புகள்:

※ குறைபாடுகள் வரம்புகள் விளிம்பு விலக்கு பகுதி தவிர முழு செதில் மேற்பரப்புக்கும் பொருந்தும். # கீறல்கள் Si முகத்தில் மட்டுமே சரிபார்க்கப்பட வேண்டும்.

P-type 4H/6H-P 3C-N வகை 4-inch SiC அடி மூலக்கூறுடன் 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலை மற்றும் ஜீரோ MPD தரம் அதிக செயல்திறன் கொண்ட மின்னணு பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் முறிவு மின்னழுத்தம், தீவிர நிலைகளில் இயங்கும் உயர் மின்னழுத்த சுவிட்சுகள், இன்வெர்ட்டர்கள் மற்றும் பவர் கன்வெர்ட்டர்கள் போன்ற பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்க்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, அடி மூலக்கூறின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு கடுமையான சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலையானது உற்பத்தித் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது, இது RF சாதனங்கள் மற்றும் ரேடார் அமைப்புகள் மற்றும் வயர்லெஸ் தகவல் தொடர்பு சாதனங்கள் போன்ற உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

N-வகை SiC கலவை அடி மூலக்கூறுகளின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:

1. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: திறமையான வெப்பச் சிதறல், அதிக வெப்பநிலை சூழல்கள் மற்றும் அதிக சக்தி பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
2. உயர் முறிவு மின்னழுத்தம்: மின் மாற்றிகள் மற்றும் இன்வெர்ட்டர்கள் போன்ற உயர் மின்னழுத்த பயன்பாடுகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
3. ஜீரோ எம்பிடி (மைக்ரோ பைப் குறைபாடு) தரம்: குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, முக்கியமான மின்னணு சாதனங்களில் நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.
4. அரிப்பு எதிர்ப்பு: கடுமையான சூழல்களில் நீடித்தது, கோரும் நிலைமைகளில் நீண்ட கால செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
5. துல்லியமான 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலை: உற்பத்தியின் போது துல்லியமான சீரமைப்புக்கு அனுமதிக்கிறது, அதிக அதிர்வெண் மற்றும் RF பயன்பாடுகளில் சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

ஒட்டுமொத்தமாக, P-வகை 4H/6H-P 3C-N வகை 4-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறுடன் 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலை மற்றும் ஜீரோ MPD தரம் மேம்பட்ட மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்ற உயர் செயல்திறன் பொருள் ஆகும். அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் முறிவு மின்னழுத்தம் உயர் மின்னழுத்த சுவிட்சுகள், இன்வெர்ட்டர்கள் மற்றும் மாற்றிகள் போன்ற மின்னியல் சாதனங்களுக்கு சரியானதாக அமைகிறது. ஜீரோ MPD தரமானது, முக்கியமான சாதனங்களில் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்கும் குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, அடி மூலக்கூறின் அரிப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலைகளுக்கு எதிர்ப்பு கடுமையான சூழல்களில் நீடித்து நிலைத்திருப்பதை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான 〈111〉± 0.5° நோக்குநிலையானது உற்பத்தியின் போது துல்லியமான சீரமைப்பை அனுமதிக்கிறது, இது RF சாதனங்கள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண் பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் ஏற்றதாக அமைகிறது.