P-வகை SiC வேஃபர் 4H/6H-P 3C-N 6inch தடிமன் 350 μm முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலையுடன்
விவரக்குறிப்பு4H/6H-P வகை SiC கலவை அடி மூலக்கூறுகள் பொதுவான அளவுரு அட்டவணை
6 அங்குல விட்டம் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறு விவரக்குறிப்பு
தரம் | ஜீரோ MPD உற்பத்திகிரேடு (Z தரம்) | நிலையான உற்பத்திதரம் (பி தரம்) | போலி தரம் (D தரம்) | ||
விட்டம் | 145.5 மிமீ~150.0 மிமீ | ||||
தடிமன் | 350 μm ± 25 μm | ||||
வேஃபர் நோக்குநிலை | -Offஅச்சு: 2.0°-4.0° நோக்கி [1120] ± 0.5° 4H/6H-P, அச்சில்:〈111〉± 0.5° 3C-N | ||||
நுண்குழாய் அடர்த்தி | 0 செமீ-2 | ||||
எதிர்ப்பாற்றல் | p-வகை 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n-வகை 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 மீ Ωꞏcm | |||
முதன்மை பிளாட் நோக்குநிலை | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
முதன்மை பிளாட் நீளம் | 32.5 மிமீ ± 2.0 மிமீ | ||||
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நீளம் | 18.0 மிமீ ± 2.0 மிமீ | ||||
இரண்டாம் நிலை பிளாட் நோக்குநிலை | சிலிக்கான் முகம்: 90° CW. பிரைம் பிளாட் ± 5.0° இலிருந்து | ||||
எட்ஜ் விலக்கு | 3 மி.மீ | 6 மி.மீ | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
முரட்டுத்தனம் | போலிஷ் Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் விளிம்பு விரிசல் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த நீளம் ≤ 10 மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2 மிமீ | |||
ஹெக்ஸ் தட்டுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம் | ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05% | ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.1% | |||
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3% | |||
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள் | ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤0.05% | ஒட்டுமொத்த பகுதி ≤3% | |||
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு கீறல்கள் | இல்லை | ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1×செதில் விட்டம் | |||
தீவிர ஒளி மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் உயர் | ≥0.2 மிமீ அகலம் மற்றும் ஆழம் எதுவும் அனுமதிக்கப்படவில்லை | 5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ஒவ்வொன்றும் ≤1 மிமீ | |||
அதிக தீவிரத்தினால் சிலிக்கான் மேற்பரப்பு மாசுபாடு | இல்லை | ||||
பேக்கேஜிங் | மல்டி-வேஃபர் கேசட் அல்லது ஒற்றை வேஃபர் கொள்கலன் |
குறிப்புகள்:
※ குறைபாடுகள் வரம்புகள் விளிம்பு விலக்கு பகுதி தவிர முழு செதில் மேற்பரப்புக்கும் பொருந்தும். # கீறல்கள் Si முகத்தில் சரிபார்க்கப்பட வேண்டும்
P-வகை SiC வேஃபர், 4H/6H-P 3C-N, அதன் 6-இன்ச் அளவு மற்றும் 350 μm தடிமன் கொண்டது, அதிக செயல்திறன் கொண்ட பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்துறை உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர் முறிவு மின்னழுத்தம் மின்சார வாகனங்கள், மின் கட்டங்கள் மற்றும் புதுப்பிக்கத்தக்க ஆற்றல் அமைப்புகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படும் பவர் சுவிட்சுகள், டையோட்கள் மற்றும் டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்ற கூறுகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கடுமையான சூழ்நிலைகளில் திறமையாக செயல்படும் செதில்களின் திறன், அதிக ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் ஆற்றல் திறன் தேவைப்படும் தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, அதன் முதன்மையான தட்டையான நோக்குநிலை சாதனம் புனையலின் போது துல்லியமான சீரமைப்புக்கு உதவுகிறது, உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு நிலைத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.
N-வகை SiC கலவை அடி மூலக்கூறுகளின் நன்மைகள் அடங்கும்
- உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: P-வகை SiC செதில்கள் வெப்பத்தை திறம்படச் சிதறடித்து, அதிக வெப்பநிலை பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
- உயர் முறிவு மின்னழுத்தம்: அதிக மின்னழுத்தங்களை தாங்கும் திறன் கொண்டது, மின்சக்தி மின்னணுவியல் மற்றும் உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களில் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
- கடுமையான சூழல்களுக்கு எதிர்ப்புஉயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்கள் போன்ற தீவிர நிலைகளில் சிறந்த ஆயுள்.
- திறமையான ஆற்றல் மாற்றம்: P-வகை ஊக்கமருந்து திறமையான சக்தி கையாளுதலை எளிதாக்குகிறது, இது செதில் ஆற்றல் மாற்ற அமைப்புகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
- முதன்மை பிளாட் நோக்குநிலை: உற்பத்தியின் போது துல்லியமான சீரமைப்பை உறுதி செய்கிறது, சாதனத்தின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
- மெல்லிய அமைப்பு (350 μm): செதில்களின் உகந்த தடிமன் மேம்பட்ட, இடவசதியற்ற மின்னணு சாதனங்களில் ஒருங்கிணைப்பை ஆதரிக்கிறது.
ஒட்டுமொத்தமாக, P-வகை SiC வேஃபர், 4H/6H-P 3C-N, தொழில்துறை மற்றும் மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக இருக்கும் பல நன்மைகளை வழங்குகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் முறிவு மின்னழுத்தம் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் மின்னழுத்த சூழல்களில் நம்பகமான செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் கடுமையான நிலைமைகளுக்கு அதன் எதிர்ப்பானது நீடித்த தன்மையை உறுதி செய்கிறது. P-வகை ஊக்கமருந்து திறமையான சக்தி மாற்றத்தை அனுமதிக்கிறது, இது ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் ஆற்றல் அமைப்புகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. கூடுதலாக, செதில்களின் முதன்மையான தட்டையான நோக்குநிலையானது உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது துல்லியமான சீரமைப்பை உறுதிசெய்து, உற்பத்தி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. 350 μm தடிமன் கொண்ட, இது மேம்பட்ட, சிறிய சாதனங்களில் ஒருங்கிணைக்க மிகவும் பொருத்தமானது.