பிரீமியம் சபையர் லிஃப்ட் பின்ஸ் ஒற்றை படிக Al₂O₃ வேஃபர் லிஃப்ட் பின்

குறுகிய விளக்கம்:

நவீன நுண் துணி தொழில்நுட்பங்களின் துல்லியமான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, அதி-உயர்-தூய்மை ஒற்றை-படிக சபையரில் (Al₂O₃) இருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி செயலாக்க கூறுகளில் சபையர் லிஃப்ட் பின்கள் ஒரு முக்கியமான முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கின்றன. குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தி, LED எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அமைப்புகள் மற்றும் மேம்பட்ட வேஃபர் செயலாக்க பயன்பாடுகளில் இந்த துல்லியமான கூறுகள் இன்றியமையாததாகிவிட்டன. செயற்கை சபையரின் தனித்துவமான படிக அமைப்பு அசாதாரண பொருள் பண்புகளை வழங்குகிறது, இது இந்த லிஃப்ட் பின்கள் மிகவும் சவாலான செயல்பாட்டு சூழல்களில் வழக்கமான மாற்றுகளை விஞ்ச உதவுகிறது. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை தீவிர வெப்பநிலை சாய்வுகளில் இயந்திர ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, அதே நேரத்தில் அவற்றின் உள்ளார்ந்த வேதியியல் எதிர்ப்பு ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வேதியியலுக்கு வெளிப்படும் போது நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. இந்த பண்புகளின் கலவையானது நானோமீட்டர்-நிலை துல்லியம், மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை நம்பகத்தன்மை மிக முக்கியமானதாக இருக்கும் முக்கியமான வேஃபர் கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு சபையர் லிஃப்ட் பின்களை விருப்பமான தீர்வாக ஆக்குகிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

வேதியியல் கலவை அல்2ஓ3
கடினத்தன்மை 9மோஸ்
ஒளியியல் தன்மை ஒற்றை அச்சு
ஒளிவிலகல் குறியீடு 1.762-1.770 (ஆங்கிலம்: अंगिताना)
இருமுனைத் திரிபு 0.008-0.010
சிதறல் குறைவு, 0.018
பளபளப்பு கண்ணாடியாலான
ப்ளியோக்ரோயிசம் மிதமானது முதல் வலுவானது
விட்டம் 0.4மிமீ-30மிமீ
விட்டம் சகிப்புத்தன்மை 0.004மிமீ-0.05மிமீ
நீளம் 2மிமீ-150மிமீ
நீள சகிப்புத்தன்மை 0.03மிமீ-0.25மிமீ
மேற்பரப்பு தரம் 40/20
மேற்பரப்பு வட்டத்தன்மை ரூ.0.05
தனிப்பயன் வடிவம் இரண்டு முனைகளும் தட்டையானவை, ஒரு முனை ரெடியஸ், இரண்டு முனை ரெடியஸ்,
சேணம் ஊசிகளும் சிறப்பு வடிவங்களும்

முக்கிய அம்சங்கள்

1. விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக 9 என்ற மோஸ் கடினத்தன்மை மதிப்பீட்டைக் கொண்ட சபையர் லிஃப்ட் பின்கள், பாரம்பரிய சிலிக்கான் கார்பைடு, அலுமினா பீங்கான் அல்லது உலோக அலாய் மாற்றுகளை வியத்தகு முறையில் விஞ்சும் உடைகள் பண்புகளை நிரூபிக்கின்றன. இந்த தீவிர கடினத்தன்மை துகள் உற்பத்தி மற்றும் பராமரிப்பு தேவைகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, சேவை ஆயுட்காலம் பொதுவாக ஒப்பிடக்கூடிய பயன்பாடுகளில் வழக்கமான பொருட்களை விட 3-5 மடங்கு அதிகமாகும்.

2. உயர்ந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: 1000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் சிதைவு இல்லாமல் நீடித்த செயல்பாட்டைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்ட சபையர் லிஃப்ட் ஊசிகள், மிகவும் தேவைப்படும் வெப்ப செயல்முறைகளில் பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையைப் பராமரிக்கின்றன. இது வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD), உலோக-கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) மற்றும் வெப்ப விரிவாக்க பொருத்தமின்மை செயல்முறை விளைச்சலை சமரசம் செய்யக்கூடிய உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங் அமைப்புகள் போன்ற முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு அவற்றை குறிப்பாக மதிப்புமிக்கதாக ஆக்குகிறது.

3.வேதியியல் மந்தநிலை: ஒற்றை-படிக சபையர் அமைப்பு, HF அமிலம், குளோரின் அடிப்படையிலான வேதியியல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொதுவாகக் காணப்படும் பிற ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வாயுக்களின் தாக்குதலுக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பைக் காட்டுகிறது. இந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை பிளாஸ்மா சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வேஃபர் மாசுபாட்டிற்கு வழிவகுக்கும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் உருவாவதைத் தடுக்கிறது.

4.குறைந்த துகள் மாசுபாடு: குறைபாடு இல்லாத, அதிக தூய்மை கொண்ட சபையர் படிகங்களிலிருந்து (பொதுவாக >99.99%) தயாரிக்கப்படும் இந்த லிப்ட் ஊசிகள் நீண்ட பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் குறைந்தபட்ச துகள் உதிர்தலைக் காட்டுகின்றன. அவற்றின் நுண்துளைகள் இல்லாத மேற்பரப்பு அமைப்பு மற்றும் மெருகூட்டப்பட்ட பூச்சுகள் மிகவும் கடுமையான சுத்தமான அறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன, மேம்பட்ட முனை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட செயல்முறை விளைச்சலுக்கு நேரடியாக பங்களிக்கின்றன.

உயர்-துல்லிய இயந்திரம்: மேம்பட்ட வைர அரைத்தல் மற்றும் லேசர் செயலாக்க நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி, சபையர் லிஃப்ட் ஊசிகளை 0.05μm ராட்டிற்குக் கீழே சப்-மைக்ரான் சகிப்புத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு பூச்சுகளுடன் தயாரிக்க முடியும். குறுகலான சுயவிவரங்கள், சிறப்பு முனை உள்ளமைவுகள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சீரமைப்பு அம்சங்கள் உள்ளிட்ட தனிப்பயன் வடிவியல்களை அடுத்த தலைமுறை உற்பத்தி உபகரணங்களில் குறிப்பிட்ட வேஃபர் கையாளுதல் சவால்களை எதிர்கொள்ள வடிவமைக்க முடியும்.

முதன்மை பயன்பாடுகள்

1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: மேம்பட்ட வேஃபர் செயலாக்க அமைப்புகளில் சபையர் லிஃப்ட் ஊசிகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, பொறித்தல், படிவு மற்றும் ஆய்வு செயல்முறைகளின் போது நம்பகமான ஆதரவையும் துல்லியமான நிலைப்பாட்டையும் வழங்குகின்றன. அவற்றின் வெப்ப மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை, நானோமீட்டர் அளவுகளில் பரிமாண நிலைத்தன்மை அவசியமான EUV லித்தோகிராஃபி கருவிகள் மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் பயன்பாடுகளில் அவற்றை குறிப்பாக மதிப்புமிக்கதாக ஆக்குகிறது.

2.LED எபிடாக்ஸி (MOCVD): காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் தொடர்புடைய கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி அமைப்புகளில், சபையர் லிஃப்ட் ஊசிகள் பெரும்பாலும் 1000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் நிலையான வேஃபர் ஆதரவை வழங்குகின்றன. சபையர் அடி மூலக்கூறுகளுடன் அவற்றின் பொருந்தக்கூடிய வெப்ப விரிவாக்க பண்புகள் எபிடாக்ஸியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது வேஃபர் குனிதல் மற்றும் சறுக்கல் உருவாவதைக் குறைக்கின்றன.

3. ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்: உயர்-செயல்திறன் கொண்ட சூரிய மின்கல உற்பத்தி, உயர்-வெப்பநிலை பரவல், சின்டரிங் மற்றும் மெல்லிய-படல படிவு செயல்முறைகளில் சபையரின் தனித்துவமான பண்புகளிலிருந்து பயனடைகிறது. கூறுகளின் நீண்ட ஆயுள் உற்பத்திச் செலவுகளை நேரடியாக பாதிக்கும் வெகுஜன உற்பத்தி சூழல்களில் ஊசிகளின் தேய்மான எதிர்ப்பு குறிப்பாக மதிப்புமிக்கது.

4. துல்லிய ஒளியியல் & மின்னணுவியல் செயலாக்கம்: குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு அப்பால், சபையர் லிஃப்ட் பின்கள் நுட்பமான ஒளியியல் கூறுகள், MEMS சாதனங்கள் மற்றும் மாசு இல்லாத செயலாக்கம் மற்றும் கீறல் தடுப்பு மிக முக்கியமான சிறப்பு அடி மூலக்கூறுகளைக் கையாள்வதில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் மின் காப்பு பண்புகள் மின்னியல்-உணர்திறன் சாதனங்களை உள்ளடக்கிய பயன்பாடுகளுக்கு அவற்றை சிறந்ததாக ஆக்குகின்றன.

சபையர் லிப்ட் ஊசிகளுக்கான XKH இன் சேவைகள்

XKH சபையர் லிஃப்ட் பின்களுக்கு விரிவான தொழில்நுட்ப ஆதரவையும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளையும் வழங்குகிறது:

1. தனிப்பயன் மேம்பாட்டு சேவைகள்
· பரிமாண, வடிவியல் மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை தனிப்பயனாக்கத்திற்கான ஆதரவு
· பொருள் தேர்வு மற்றும் தொழில்நுட்ப அளவுரு உகப்பாக்க பரிந்துரைகள்
· கூட்டு தயாரிப்பு வடிவமைப்பு மற்றும் உருவகப்படுத்துதல் சரிபார்ப்பு
2. துல்லியமான உற்பத்தி திறன்கள்
· ±1μm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படும் சகிப்புத்தன்மையுடன் கூடிய உயர்-துல்லிய எந்திரம்
· கண்ணாடி பாலிஷ் செய்தல் மற்றும் விளிம்பு சேம்ஃபரிங் உள்ளிட்ட சிறப்பு சிகிச்சைகள்
· குச்சி எதிர்ப்பு பூச்சுகள் போன்ற விருப்ப மேற்பரப்பு மாற்ற தீர்வுகள்
3. தர உறுதி அமைப்பு
· உள்வரும் பொருள் ஆய்வு மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை கண்டிப்பாக செயல்படுத்துதல்.
· முழு பரிமாண ஒளியியல் ஆய்வு மற்றும் மேற்பரப்பு உருவவியல் பகுப்பாய்வு
· தயாரிப்பு செயல்திறன் சோதனை அறிக்கைகளை வழங்குதல்
4. விநியோகச் சங்கிலி சேவைகள்
· தரமான தயாரிப்புகளின் விரைவான விநியோகம்
· முக்கிய கணக்குகளுக்கான பிரத்யேக சரக்கு மேலாண்மை
5. தொழில்நுட்ப ஆதரவு
· விண்ணப்ப தீர்வு ஆலோசனை
· விற்பனைக்குப் பிந்தைய உடனடி பதில்
குறைக்கடத்தி, LED மற்றும் பிற மேம்பட்ட தொழில்களின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உயர்தர சபையர் லிஃப்ட் பின்ஸ் தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்முறை தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம்.

நீலக்கல் லிஃப்ட் ஊசிகள் 1
நீலக்கல் லிஃப்ட் ஊசிகள் 4