2 அங்குலம்-12 அங்குல சபையர் வேஃபர்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான சபையர் இங்காட் வளர்ச்சி உபகரணங்கள் சோக்ரால்ஸ்கி CZ முறை

குறுகிய விளக்கம்:

சபையர் இங்காட் வளர்ச்சி உபகரணங்கள் (சோக்ரால்ஸ்கி முறை) என்பது உயர்-தூய்மை, குறைந்த-குறைபாடுள்ள சபையர் ஒற்றை-படிக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதிநவீன அமைப்பாகும். சோக்ரால்ஸ்கி (CZ) முறை விதை படிக இழுக்கும் வேகம் (0.5–5 மிமீ/மணி), சுழற்சி விகிதம் (5–30 ஆர்பிஎம்) மற்றும் இரிடியம் க்ரூசிபிளில் வெப்பநிலை சாய்வு ஆகியவற்றை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, இது 12 அங்குலங்கள் (300 மிமீ) விட்டம் வரை அச்சு சமச்சீரற்ற படிகங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த உபகரணங்கள் சி/ஏ-பிளேன் படிக நோக்குநிலை கட்டுப்பாட்டை ஆதரிக்கின்றன, இது ஆப்டிகல்-கிரேடு, எலக்ட்ரானிக்-கிரேடு மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட சபையர் (எ.கா., Cr³⁺ ரூபி, Ti³⁺ நட்சத்திர சபையர்) வளர்ச்சியை செயல்படுத்துகிறது.

LED அடி மூலக்கூறுகள், GaN எபிடாக்ஸி மற்றும் குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு மாதாந்திர 5,000+ வேஃபர் வெளியீட்டுடன், உபகரணத் தனிப்பயனாக்கம் (2–12-இன்ச் வேஃபர் உற்பத்தி), செயல்முறை உகப்பாக்கம் (குறைபாடு அடர்த்தி <100/செ.மீ²) மற்றும் தொழில்நுட்ப பயிற்சி உள்ளிட்ட முழுமையான தீர்வுகளை XKH வழங்குகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

வேலை செய்யும் கொள்கை

CZ முறை பின்வரும் படிகள் மூலம் செயல்படுகிறது:
1. உருகும் மூலப்பொருட்கள்: உயர்-தூய்மை Al₂O₃ (தூய்மை >99.999%) 2050–2100°C வெப்பநிலையில் இரிடியம் சிலுவை ஒன்றில் உருக்கப்படுகிறது.
2. விதை படிகம் அறிமுகம்: ஒரு விதை படிகம் உருகும் இடத்தில் இறக்கப்பட்டு, பின்னர் விரைவாக இழுக்கப்பட்டு கழுத்தை (விட்டம் <1 மிமீ) உருவாக்கி இடப்பெயர்வுகளை நீக்குகிறது.
3. தோள்பட்டை உருவாக்கம் மற்றும் மொத்த வளர்ச்சி: இழுக்கும் வேகம் 0.2–1 மிமீ/மணிக்குக் குறைக்கப்பட்டு, படிக விட்டம் படிப்படியாக இலக்கு அளவிற்கு விரிவடைகிறது (எ.கா., 4–12 அங்குலம்).
4. அனீலிங் மற்றும் குளிர்வித்தல்: வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் விரிசலைக் குறைக்க படிகம் 0.1–0.5°C/நிமிடத்தில் குளிர்விக்கப்படுகிறது.
5. இணக்கமான படிக வகைகள்:
மின்னணு தரம்: குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகள் (TTV <5 μm)
ஒளியியல் தரம்: UV லேசர் ஜன்னல்கள் (டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ் >90%@200 nm)
கலப்பட வகைகள்: ரூபி (Cr³⁺ செறிவு 0.01–0.5 wt.%), நீல சபையர் குழாய்

மைய அமைப்பு கூறுகள்

1. உருகும் அமைப்பு
இரிடியம் க்ரூசிபிள்: 2300°C வரை வெப்பநிலையை எதிர்க்கும், அரிப்பை எதிர்க்கும், பெரிய உருகல்களுடன் (100–400 கிலோ) இணக்கமானது.
தூண்டல் வெப்பமூட்டும் உலை: பல மண்டல சுயாதீன வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு (± 0.5°C), உகந்த வெப்ப சாய்வுகள்.

2. இழுத்தல் மற்றும் சுழற்சி அமைப்பு
உயர்-துல்லிய சர்வோ மோட்டார்: இழுக்கும் தெளிவுத்திறன் 0.01 மிமீ/ம, சுழற்சி செறிவு <0.01 மிமீ.
காந்த திரவ முத்திரை: தொடர்ச்சியான வளர்ச்சிக்கு (>72 மணிநேரம்) தொடர்பு இல்லாத பரிமாற்றம்.

3. வெப்பக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு
PID மூடிய-சுழற்சி கட்டுப்பாடு: வெப்ப புலத்தை நிலைப்படுத்த நிகழ்நேர சக்தி சரிசெய்தல் (50–200 kW).
மந்த வாயு பாதுகாப்பு: ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்க Ar/N₂ கலவை (99.999% தூய்மை).

4. ஆட்டோமேஷன் மற்றும் கண்காணிப்பு
CCD விட்டம் கண்காணிப்பு: நிகழ்நேர பின்னூட்டம் (துல்லியம் ±0.01 மிமீ).
அகச்சிவப்பு வெப்பவியல்: திட-திரவ இடைமுக உருவ அமைப்பைக் கண்காணிக்கிறது.

CZ vs. KY முறை ஒப்பீடு

அளவுரு	CZ முறை	KY முறை
அதிகபட்ச படிக அளவு	12 அங்குலம் (300 மிமீ)	400 மிமீ (பேரிக்காய் வடிவ இங்காட்)
குறைபாடு அடர்த்தி	<100/செமீ²	<50/செமீ²
வளர்ச்சி விகிதம்	0.5–5 மிமீ/மணி	0.1–2 மிமீ/மணி
ஆற்றல் நுகர்வு	50–80 கிலோவாட்/கிலோ	80–120 கிலோவாட்/கிலோ
விண்ணப்பங்கள்	LED அடி மூலக்கூறுகள், GaN எபிடாக்ஸி	ஒளியியல் ஜன்னல்கள், பெரிய இங்காட்கள்
செலவு	மிதமான (அதிக உபகரண முதலீடு)	உயர் (சிக்கலான செயல்முறை)

முக்கிய பயன்பாடுகள்

1. குறைக்கடத்தி தொழில்
GaN எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறுகள்: மைக்ரோ-LEDகள் மற்றும் லேசர் டையோட்களுக்கான 2–8-இன்ச் வேஃபர்கள் (TTV <10 μm).
SOI வேஃபர்கள்: 3D-ஒருங்கிணைந்த சில்லுகளுக்கான மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை <0.2 nm.

2. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்
UV லேசர் ஜன்னல்கள்: லித்தோகிராஃபி ஒளியியலுக்கு 200 W/cm² மின் அடர்த்தியைத் தாங்கும்.
அகச்சிவப்பு கூறுகள்: வெப்ப இமேஜிங்கிற்கான உறிஞ்சுதல் குணகம் <10⁻³ செ.மீ⁻¹.

3. நுகர்வோர் மின்னணுவியல்
ஸ்மார்ட்போன் கேமரா கவர்கள்: மோஸ் கடினத்தன்மை 9, 10× கீறல் எதிர்ப்பு மேம்பாடு.
ஸ்மார்ட்வாட்ச் காட்சிகள்: தடிமன் 0.3–0.5 மிமீ, டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ் >92%.

4. பாதுகாப்பு மற்றும் விண்வெளி
அணு உலை ஜன்னல்கள்: 10¹⁶ n/cm² வரை கதிர்வீச்சு சகிப்புத்தன்மை.
உயர்-சக்தி லேசர் கண்ணாடிகள்: வெப்ப சிதைவு <λ/20@1064 nm.

XKH இன் சேவைகள்

1. உபகரணத் தனிப்பயனாக்கம்
அளவிடக்கூடிய அறை வடிவமைப்பு: 2–12-அங்குல வேஃபர் உற்பத்திக்கான Φ200–400 மிமீ உள்ளமைவுகள்.
ஊக்கமருந்து நெகிழ்வுத்தன்மை: வடிவமைக்கப்பட்ட ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பண்புகளுக்கு அரிய-பூமி (Er/Yb) மற்றும் மாற்றம்-உலோகம் (Ti/Cr) ஊக்கமருந்தை ஆதரிக்கிறது.

2. முழுமையான ஆதரவு
செயல்முறை உகப்பாக்கம்: LED, RF சாதனங்கள் மற்றும் கதிர்வீச்சு-கடினப்படுத்தப்பட்ட கூறுகளுக்கான முன்-சரிபார்க்கப்பட்ட சமையல் குறிப்புகள் (50+).
உலகளாவிய சேவை வலையமைப்பு: 24/7 தொலைதூர நோயறிதல் மற்றும் 24 மாத உத்தரவாதத்துடன் ஆன்-சைட் பராமரிப்பு.

3. டவுன்ஸ்ட்ரீம் செயலாக்கம்
வேஃபர் தயாரிப்பு: 2–12-இன்ச் வேஃபர்களுக்கு (C/A-plane) வெட்டுதல், அரைத்தல் மற்றும் பாலிஷ் செய்தல்.
மதிப்பு கூட்டப்பட்ட தயாரிப்புகள்:
ஒளியியல் கூறுகள்: UV/IR ஜன்னல்கள் (0.5–50 மிமீ தடிமன்).
நகை தரப் பொருட்கள்: Cr³⁺ ரூபி (GIA-சான்றளிக்கப்பட்டது), Ti³⁺ நட்சத்திர சபையர்.

4. தொழில்நுட்ப தலைமைத்துவம்
சான்றிதழ்கள்: EMI- இணக்கமான வேஃபர்கள்.
காப்புரிமைகள்: CZ முறை கண்டுபிடிப்புகளில் முக்கிய காப்புரிமைகள்.

முடிவுரை

CZ முறை உபகரணங்கள் பெரிய பரிமாண இணக்கத்தன்மை, மிகக் குறைந்த குறைபாடு விகிதங்கள் மற்றும் உயர் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன, இது LED, குறைக்கடத்தி மற்றும் பாதுகாப்பு பயன்பாடுகளுக்கான தொழில்துறை அளவுகோலாக அமைகிறது. XKH உபகரண வரிசைப்படுத்தல் முதல் வளர்ச்சிக்குப் பிந்தைய செயலாக்கம் வரை விரிவான ஆதரவை வழங்குகிறது, இதனால் வாடிக்கையாளர்கள் செலவு குறைந்த, உயர் செயல்திறன் கொண்ட சபையர் படிக உற்பத்தியை அடைய முடியும்.