உயர்தர சபையர் படிகத்தின் KY முறை கைரோபௌலோஸ் உற்பத்தி மூலம் சபையர் ஒற்றை படிக Al2O3 வளர்ச்சி உலை
தயாரிப்பு அறிமுகம்
கைரோபௌலோஸ் முறை என்பது உயர்தர சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு நுட்பமாகும், இதன் மையமானது வெப்பநிலை புலம் மற்றும் படிக வளர்ச்சி நிலைமைகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் சபையர் படிகங்களின் சீரான வளர்ச்சியை அடைவதாகும். சபையர் இங்காட்டில் KY நுரைக்கும் முறையின் குறிப்பிட்ட விளைவு பின்வருமாறு:
1. உயர்தர படிக வளர்ச்சி:
குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி: KY குமிழி வளர்ச்சி முறையானது மெதுவான குளிர்ச்சி மற்றும் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மூலம் படிகத்திற்குள் இடப்பெயர்வு மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, மேலும் உயர்தர சபையர் இங்காட்டை வளர்க்கிறது.
உயர் சீரான தன்மை: சீரான வெப்பப் புலம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் படிகங்களின் சீரான வேதியியல் கலவை மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை உறுதி செய்கிறது.
2. பெரிய அளவிலான படிக உற்பத்தி:
பெரிய விட்டம் கொண்ட இங்காட்: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளுக்கான தொழில்துறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, 200 மிமீ முதல் 300 மிமீ விட்டம் கொண்ட பெரிய அளவிலான சபையர் இங்காட்டை வளர்ப்பதற்கு KY குமிழி வளர்ச்சி முறை பொருத்தமானது.
படிக இங்காட்: வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், பொருள் பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்த நீண்ட படிக இங்காட்டை வளர்க்கலாம்.
3. உயர் ஒளியியல் செயல்திறன்:
அதிக ஒளி பரிமாற்றம்: KY வளர்ச்சி சபையர் படிக இங்காட் சிறந்த ஒளியியல் பண்புகள், அதிக ஒளி பரிமாற்றம், ஒளியியல் மற்றும் ஒளியியல் மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
குறைந்த உறிஞ்சுதல் விகிதம்: படிகத்தில் ஒளியின் உறிஞ்சுதல் இழப்பைக் குறைத்தல், ஒளியியல் சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
4. சிறந்த வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகள்:
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: சபையர் இங்காட்டின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக சக்தி கொண்ட சாதனங்களின் வெப்பச் சிதறல் தேவைகளுக்கு ஏற்றது.
அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: நீலக்கல் 9 மோஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது, இது தேய்மான எதிர்ப்பு பாகங்கள் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது.
கைரோபௌலோஸ் முறை என்பது உயர்தர சபையர் படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு நுட்பமாகும், இதன் மையமானது வெப்பநிலை புலம் மற்றும் படிக வளர்ச்சி நிலைமைகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் சபையர் படிகங்களின் சீரான வளர்ச்சியை அடைவதாகும். சபையர் இங்காட்டில் KY நுரைக்கும் முறையின் குறிப்பிட்ட விளைவு பின்வருமாறு:
1. உயர்தர படிக வளர்ச்சி:
குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி: KY குமிழி வளர்ச்சி முறையானது மெதுவான குளிர்ச்சி மற்றும் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மூலம் படிகத்திற்குள் இடப்பெயர்வு மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, மேலும் உயர்தர சபையர் இங்காட்டை வளர்க்கிறது.
உயர் சீரான தன்மை: சீரான வெப்பப் புலம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் படிகங்களின் சீரான வேதியியல் கலவை மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை உறுதி செய்கிறது.
2. பெரிய அளவிலான படிக உற்பத்தி:
பெரிய விட்டம் கொண்ட இங்காட்: பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளுக்கான தொழில்துறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, 200 மிமீ முதல் 300 மிமீ விட்டம் கொண்ட பெரிய அளவிலான சபையர் இங்காட்டை வளர்ப்பதற்கு KY குமிழி வளர்ச்சி முறை பொருத்தமானது.
படிக இங்காட்: வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், பொருள் பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்த நீண்ட படிக இங்காட்டை வளர்க்கலாம்.
3. உயர் ஒளியியல் செயல்திறன்:
அதிக ஒளி பரிமாற்றம்: KY வளர்ச்சி சபையர் படிக இங்காட் சிறந்த ஒளியியல் பண்புகள், அதிக ஒளி பரிமாற்றம், ஒளியியல் மற்றும் ஒளியியல் மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
குறைந்த உறிஞ்சுதல் விகிதம்: படிகத்தில் ஒளியின் உறிஞ்சுதல் இழப்பைக் குறைத்தல், ஒளியியல் சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
4. சிறந்த வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகள்:
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: சபையர் இங்காட்டின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக சக்தி கொண்ட சாதனங்களின் வெப்பச் சிதறல் தேவைகளுக்கு ஏற்றது.
அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: நீலக்கல் 9 மோஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது, இது தேய்மான எதிர்ப்பு பாகங்கள் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது.
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
பெயர் | தரவு | விளைவு |
வளர்ச்சி அளவு | விட்டம் 200மிமீ-300மிமீ | பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்த, பெரிய அளவிலான சபையர் படிகத்தை வழங்கவும். |
வெப்பநிலை வரம்பு | அதிகபட்ச வெப்பநிலை 2100°C, துல்லியம் ±0.5°C | அதிக வெப்பநிலை சூழல் படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது, துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு படிக தரத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது. |
வளர்ச்சி வேகம் | 0.5மிமீ/ம - 2மிமீ/ம | படிக வளர்ச்சி விகிதத்தைக் கட்டுப்படுத்தவும், படிகத் தரம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தவும். |
வெப்பமூட்டும் முறை | டங்ஸ்டன் அல்லது மாலிப்டினம் ஹீட்டர் | படிக வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் படிக சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும் ஒரு சீரான வெப்ப புலத்தை வழங்குகிறது. |
குளிரூட்டும் அமைப்பு | திறமையான நீர் அல்லது காற்று குளிரூட்டும் அமைப்புகள் | உபகரணங்களின் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்தல், அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுத்தல் மற்றும் உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டித்தல். |
கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு | PLC அல்லது கணினி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு | உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்த தானியங்கி செயல்பாடு மற்றும் நிகழ்நேர கண்காணிப்பை அடையுங்கள். |
வெற்றிட சூழல் | அதிக வெற்றிடம் அல்லது மந்த வாயு பாதுகாப்பு | படிக தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்ய படிக ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கவும். |
வேலை செய்யும் கொள்கை
KY முறை சபையர் படிக உலையின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை KY முறை (குமிழி வளர்ச்சி முறை) படிக வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தை அடிப்படையாகக் கொண்டது. அடிப்படைக் கொள்கை:
1. மூலப்பொருள் உருகுதல்: டங்ஸ்டன் சிலுவைக்குள் நிரப்பப்பட்ட Al2O3 மூலப்பொருள், ஹீட்டர் வழியாக உருகுநிலைக்கு சூடாக்கப்பட்டு உருகிய சூப் உருவாகிறது.
2. விதை படிக தொடர்பு: உருகிய திரவத்தின் திரவ நிலை நிலைப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, விதை படிகம் உருகிய திரவத்தில் மூழ்கி, அதன் வெப்பநிலை உருகிய திரவத்திற்கு மேலே இருந்து கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் விதை படிகமும் உருகிய திரவமும் திட-திரவ இடைமுகத்தில் விதை படிகத்தைப் போலவே அதே படிக அமைப்பைக் கொண்ட படிகங்களை வளர்க்கத் தொடங்குகின்றன.
3. படிகக் கழுத்து உருவாக்கம்: விதைப் படிகம் மிக மெதுவான வேகத்தில் மேல்நோக்கிச் சுழன்று, சிறிது நேரம் இழுக்கப்பட்டு, படிகக் கழுத்தை உருவாக்குகிறது.
4. படிக வளர்ச்சி: திரவத்திற்கும் விதை படிகத்திற்கும் இடையிலான இடைமுகத்தின் திடப்படுத்தல் விகிதம் நிலையானதாக இருந்த பிறகு, விதை படிகம் இனி இழுக்கவோ சுழலவோ இல்லை, மேலும் படிகத்தை மேலிருந்து கீழாக படிப்படியாக திடப்படுத்தவும், இறுதியாக ஒரு முழுமையான சபையர் ஒற்றை படிகத்தை வளர்க்கவும் குளிரூட்டும் விகிதத்தை மட்டுமே கட்டுப்படுத்துகிறது.
வளர்ச்சிக்குப் பிறகு சபையர் படிக இங்காட்டின் பயன்பாடு
1. LED அடி மூலக்கூறு:
அதிக பிரகாசம் கொண்ட LED: சபையர் இங்காட் அடி மூலக்கூறாக வெட்டப்பட்ட பிறகு, அது GAN-அடிப்படையிலான LED-ஐ தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது, இது விளக்குகள், காட்சி மற்றும் பின்னொளி புலங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
மினி/மைக்ரோ LED: சபையர் அடி மூலக்கூறின் அதிக தட்டையான தன்மை மற்றும் குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி, உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட மினி/மைக்ரோ LED டிஸ்ப்ளேக்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றது.
2. லேசர் டையோடு (LD) :
நீல ஒளிக்கதிர்கள்: தரவு சேமிப்பு, மருத்துவ மற்றும் தொழில்துறை செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு நீல லேசர் டையோட்களை தயாரிக்க நீலக்கல் அடி மூலக்கூறுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
புற ஊதா லேசர்: சபையரின் உயர் ஒளி கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை புற ஊதா லேசர்களின் உற்பத்திக்கு ஏற்றது.
3. ஆப்டிகல் சாளரம்:
உயர் ஒளி பரிமாற்ற சாளரம்: லேசர்கள், அகச்சிவப்பு சாதனங்கள் மற்றும் உயர்நிலை கேமராக்களுக்கான ஒளியியல் சாளரங்களை தயாரிக்க நீலக்கல் இங்காட் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
உடைகள் எதிர்ப்பு சாளரம்: சபையரின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு அதை கடுமையான சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக ஆக்குகிறது.
4. குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறு:
GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி: உயர் எலக்ட்ரான் இயக்கம் கொண்ட டிரான்சிஸ்டர்கள் (HEMTகள்) மற்றும் RF சாதனங்களை உற்பத்தி செய்ய GaN எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்க நீலக்கல் அடி மூலக்கூறுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
AlN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி: ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டிகள் மற்றும் லேசர்களை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
5. நுகர்வோர் மின்னணுவியல்:
ஸ்மார்ட்போன் கேமரா கவர் பிளேட்: அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் கீறல் எதிர்ப்பு கேமரா கவர் பிளேட்டை உருவாக்க நீலக்கல் இங்காட் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஸ்மார்ட் வாட்ச் கண்ணாடி: சபையரின் அதிக தேய்மான எதிர்ப்பு, உயர்நிலை ஸ்மார்ட் வாட்ச் கண்ணாடியை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
6. தொழில்துறை பயன்பாடுகள்:
அணியும் பாகங்கள்: தாங்கு உருளைகள் மற்றும் முனைகள் போன்ற தொழில்துறை உபகரணங்களுக்கான அணியும் பாகங்களை தயாரிக்க நீலக்கல் இங்காட் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
உயர் வெப்பநிலை உணரிகள்: சபையரின் வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை பண்புகள் உயர் வெப்பநிலை உணரிகளின் உற்பத்திக்கு ஏற்றவை.
7. விண்வெளி:
உயர் வெப்பநிலை ஜன்னல்கள்: விண்வெளி உபகரணங்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை ஜன்னல்கள் மற்றும் சென்சார்களை தயாரிக்க நீலக்கல் இங்காட் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
அரிப்பை எதிர்க்கும் பாகங்கள்: சபையரின் வேதியியல் நிலைத்தன்மை அரிப்பை எதிர்க்கும் பாகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
8. மருத்துவ உபகரணங்கள்:
உயர் துல்லிய கருவிகள்: ஸ்கால்பெல்ஸ் மற்றும் எண்டோஸ்கோப்புகள் போன்ற உயர் துல்லிய மருத்துவ கருவிகளை தயாரிக்க நீலக்கல் இங்காட் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
உயிரி உணரிகள்: நீலக்கல்லின் உயிரி இணக்கத்தன்மை, உயிரி உணரிகளின் உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
வாடிக்கையாளர்கள் பயன்பாட்டு செயல்பாட்டில் விரிவான, சரியான நேரத்தில் மற்றும் பயனுள்ள ஆதரவைப் பெறுவதை உறுதிசெய்ய, XKH வாடிக்கையாளர்களுக்கு முழு அளவிலான ஒரே இடத்தில் KY செயல்முறை சபையர் உலை உபகரண சேவைகளை வழங்க முடியும்.
1. உபகரண விற்பனை: வாடிக்கையாளர் உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, பல்வேறு மாதிரிகள், உபகரணத் தேர்வின் விவரக்குறிப்புகள் உள்ளிட்ட KY முறை சபையர் உலை உபகரண விற்பனை சேவைகளை வழங்குதல்.
2. தொழில்நுட்ப ஆதரவு: உபகரணங்கள் சாதாரணமாக இயங்குவதையும் சிறந்த உற்பத்தி முடிவுகளை அடைவதையும் உறுதிசெய்ய, வாடிக்கையாளர்களுக்கு உபகரணங்களை நிறுவுதல், ஆணையிடுதல், செயல்பாடு மற்றும் தொழில்நுட்ப ஆதரவின் பிற அம்சங்களை வழங்குதல்.
3. பயிற்சி சேவைகள்: வாடிக்கையாளர்களுக்கு உபகரண செயல்பாடு, பராமரிப்பு மற்றும் பயிற்சி சேவைகளின் பிற அம்சங்களை வழங்குதல், உபகரண செயல்பாட்டு செயல்முறையை நன்கு அறிந்த வாடிக்கையாளர்களுக்கு உதவுதல், உபகரண பயன்பாட்டின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
4. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள்: வாடிக்கையாளர்களின் சிறப்புத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, உபகரண வடிவமைப்பு, உற்பத்தி, நிறுவல் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளின் பிற அம்சங்கள் உட்பட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உபகரண சேவைகளை வழங்கவும்.
விரிவான வரைபடம்



