சபையர் குழாய் சபையர் கம்பிகள் சிறப்பு வடிவம் உயர் அழுத்த KY மற்றும் EFG
விளக்கம்
நீலக்கல் கம்பிகள் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒரு நீலக்கல் கம்பியை அனைத்து மேற்பரப்புகளையும் ஆப்டிகல் மற்றும் தேய்மான பயன்பாடுகளுக்காக மெருகூட்டலாம் அல்லது அனைத்து மேற்பரப்புகளையும் நன்றாக அரைத்து (பாலிஷ் செய்யப்படாதது) ஒரு மின்கடத்தாப் பொருளாகச் செயல்பட வைக்கலாம்.
தொழில்நுட்பம்
ஒரு விதையின் உதவியுடன் உருகிய பகுதியிலிருந்து நீலக்கல் குழாய்களை இழுக்கும் செயல்பாட்டின் போது, திடப்படுத்தப்பட்ட முன் பகுதிக்கும் இழுக்கும் பகுதிக்கும் இடையிலான மண்டலத்தில் நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு 1850 முதல் 1900 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலை 30 டிகிரி செல்சியஸ்/செ.மீ.க்கு மிகாமல் பராமரிக்கப்படுகிறது. இவ்வாறு வளர்க்கப்பட்ட குழாய் 1950 முதல் 2000 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையை 30 முதல் 40 டிகிரி செல்சியஸ்/நிமிடம் என்ற விகிதத்தில் அதிகரிப்பதன் மூலம் அனீல் செய்யப்படுகிறது, மேலும் குழாயை 3 முதல் 4 மணி நேரம் வரை அந்த வெப்பநிலையில் வைத்திருக்க வேண்டும். அதன் பிறகு குழாய் 30-40 டிகிரி செல்சியஸ்/நிமிடம் என்ற விகிதத்தில் அறை வெப்பநிலையில் குளிர்விக்கப்படுகிறது.
குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகள்:
(HPD CVD, PECVD, உலர் எட்ச், ஈரமான எட்ச்)
பிளாஸ்மா அப்ளிகேட்டர் குழாய்
செயல்முறை வாயு உட்செலுத்தி முனைகள்
எண்ட்பாயிண்ட் டிடெக்டர்
எக்ஸைமர் கொரோனா குழாய்கள்
பிளாஸ்மா கட்டுப்பாட்டு குழாய்கள்
பிளாஸ்மா குழாய் சீலிங் இயந்திரம் என்பது மின்னணு கூறுகளை உறையிட பயன்படும் ஒரு சாதனம் ஆகும். இதன் கொள்கை, பிளாஸ்மாவின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தி பேக்கேஜிங் பொருளை உருக்கி, பாகத்தின் மீது உறையிடுவதாகும். பிளாஸ்மா குழாய் சீலிங் இயந்திரத்தின் முக்கிய கூறுகளில் பிளாஸ்மா ஜெனரேட்டர், குழாய் சீலிங் அறை, வெற்றிட அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு போன்றவை அடங்கும்.
வெப்ப மின்னிரட்டை பாதுகாப்பு உறை (தெர்மோவெல்): வெப்ப மின்னிரட்டை என்பது வெப்பநிலை அளவிடும் கருவியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்பநிலை அளவிடும் உறுப்பு ஆகும், இது வெப்பநிலையை நேரடியாக அளவிடுகிறது, மேலும் வெப்பநிலை சமிக்ஞையை வெப்ப மின்னியக்க மின்னோட்ட விசை சமிக்ஞையாக மாற்றுகிறது, மின் கருவி (இரண்டாம் நிலை கருவி) மூலம் அளவிடப்பட்ட ஊடகத்தின் வெப்பநிலையாக மாற்றுகிறது.
நீர் சுத்திகரிப்பு/சுத்தம் செய்தல்
நீலக்கல் குழாய் பண்புகள் (கோட்பாட்டு ரீதியாக)
| கூட்டு சூத்திரம் | அல்2ஓ3 |
| மூலக்கூறு எடை | 101.96 தமிழ் |
| தோற்றம் | ஒளிஊடுருவக்கூடிய குழாய்கள் |
| உருகுநிலை | 2050 °C (3720 °F) |
| கொதிநிலை | 2,977° செல்சியஸ் (5,391° பாரன்ஹீட்) |
| அடர்த்தி | 4.0 கிராம்/செ.மீ3 |
| உருவவியல் | முக்கோணம் (ஹெக்ஸ்), R3c |
| H2O இல் கரைதிறன் | 98 x 10-6 கிராம்/100 கிராம் |
| ஒளிவிலகல் குறியீடு | 1.8 தமிழ் |
| மின் எதிர்ப்புத்திறன் | 17 10x Ω-மீ |
| பாய்சன் விகிதம் | 0.28 (0.28) |
| குறிப்பிட்ட வெப்பம் | 760 ஜே கி.கி-1 கே-1 (293கே) |
| இழுவிசை வலிமை | 1390 MPa (அல்டிமேட்) |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | 30 வாட்ஸ்/மீகே |
| வெப்ப விரிவாக்கம் | 5.3 µமீ/மீகே |
| யங்கின் மாடுலஸ் | 450 ஜிபிஏ |
| சரியான நிறை | 101.948 கிராம்/மோல் |
| மோனோஐசோடோபிக் நிறை | 101.94782 டா |
விரிவான வரைபடம்
