KY மற்றும் EFG சபையர் முறை குழாய் சபையர் கம்பிகள் குழாய் உயர் அழுத்த
விளக்கம்
சபையர் தண்டுகள் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒரு சபையர் கம்பியை ஆப்டிகல் மற்றும் உடைகள் பயன்பாடுகளுக்காக பளபளப்பான அனைத்து மேற்பரப்புகளுடன் அல்லது அனைத்து மேற்பரப்புகளையும் நன்றாக அரைத்து (அன்-பாலீஷ்) இன்சுலேட்டராக பணியாற்றலாம்.
தொழில்நுட்பம்
1850 முதல் 1900 டிகிரி வரை வெப்பநிலை இருக்கும் இடத்தில் திடப்படுத்தப்பட்ட முன் மற்றும் இழுக்கும் பகுதிக்கு இடையே உள்ள மண்டலத்தில் நீளமான வெப்பநிலை சாய்வு, ஒரு விதையின் உதவியுடன் உருகும்போது சபையர் குழாய்களை இழுக்கும் செயல்முறையின் போது. C 30 டிகிரிக்கு மிகாமல் பராமரிக்கப்படுகிறது. C/cm. அவ்வாறு வளர்க்கப்படும் குழாய் 1950 முதல் 2000 டிகிரி வரை வெப்பநிலையில் இணைக்கப்படுகிறது. 30 முதல் 40 டிகிரி வரை வெப்பநிலையை அதிகரிப்பதன் மூலம் சி. C/min மற்றும் 3 மற்றும் 4 மணிநேரங்களுக்கு இடைப்பட்ட காலத்தில் குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் குழாயை வைத்திருத்தல். அதன் பிறகு, குழாய் 30-40 டிகிரி என்ற விகிதத்தில் அறை வெப்பநிலையில் குளிர்விக்கப்படுகிறது. C/min
குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகள்
(HPD CVD, PECVD, Dry Etch, Wet Etch).
பிளாஸ்மா அப்ளிகேட்டர் குழாய்.
செயல்முறை எரிவாயு உட்செலுத்தி முனைகள்.
எண்ட்பாயிண்ட் டிடெக்டர்.
Excimer கொரோனா குழாய்கள்.
பிளாஸ்மா கட்டுப்பாட்டு குழாய்கள்
பிளாஸ்மா குழாய் சீல் இயந்திரம் என்பது மின்னணு கூறுகளை இணைக்கப் பயன்படும் ஒரு சாதனம் ஆகும். பிளாஸ்மாவின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தி பேக்கேஜிங் பொருளை உருக்கி, பாகத்தில் இணைக்க வேண்டும் என்பதே இதன் கொள்கை. பிளாஸ்மா குழாய் சீல் இயந்திரத்தின் முக்கிய கூறுகளில் பிளாஸ்மா ஜெனரேட்டர், குழாய் சீல் அறை, வெற்றிட அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு போன்றவை அடங்கும்.
தெர்மோகப்பிள் பாதுகாப்பு உறை (தெர்மோவெல்)
தெர்மோகப்பிள் என்பது வெப்பநிலை அளவிடும் கருவியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்பநிலையை அளவிடும் உறுப்பு ஆகும், இது வெப்பநிலையை நேரடியாக அளவிடுகிறது மற்றும் வெப்பநிலை சமிக்ஞையை தெர்மோஎலக்ட்ரிக் எலக்ட்ரோமோட்டிவ் ஃபோர்ஸ் சிக்னலாக மாற்றுகிறது, மின் கருவி (இரண்டாம் கருவி) மூலம் அளவிடப்பட்ட ஊடகத்தின் வெப்பநிலையாக மாற்றுகிறது.
நீர் சுத்திகரிப்பு / சுத்தம் செய்தல்
சபையர் குழாய் பண்புகள் (கோட்பாட்டு)
கூட்டு சூத்திரம் | Al2O3 |
மூலக்கூறு எடை | 101.96 |
தோற்றம் | ஒளிஊடுருவக்கூடிய குழாய்கள் |
உருகுநிலை | 2050 °C (3720 °F) |
கொதிநிலை | 2,977° C (5,391° F) |
அடர்த்தி | 4.0 கிராம்/செமீ3 |
உருவவியல் | முக்கோணம் (ஹெக்ஸ்), R3c |
H2O இல் கரைதிறன் | 98 x 10-6 கிராம்/100 கிராம் |
ஒளிவிலகல் குறியீடு | 1.8 |
மின் எதிர்ப்பாற்றல் | 17 10x Ω-m |
பாய்சன் விகிதம் | 0.28 |
குறிப்பிட்ட வெப்பம் | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
இழுவிசை வலிமை | 1390 MPa (அல்டிமேட்) |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 30 W/mK |
வெப்ப விரிவாக்கம் | 5.3 µm/mK |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 450 GPa |
சரியான நிறை | 101.948 g/mol |
மோனோஐசோடோபிக் நிறை | 101.94782 டா |