செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் உபகரணங்கள் இங்காட் மெலிவை புரட்சிகரமாக்குகின்றன
விரிவான வரைபடம்


செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவியின் தயாரிப்பு அறிமுகம்
செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி என்பது லேசர் தூண்டப்பட்ட லிஃப்ட்-ஆஃப் நுட்பங்கள் மூலம் குறைக்கடத்தி இங்காட்களின் துல்லியமான மற்றும் தொடர்பு இல்லாத மெலிவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த தொழில்துறை தீர்வாகும். இந்த மேம்பட்ட அமைப்பு நவீன குறைக்கடத்தி வேஃபரிங் செயல்முறைகளில், குறிப்பாக உயர் செயல்திறன் கொண்ட பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், LEDகள் மற்றும் RF சாதனங்களுக்கான மிக மெல்லிய செதில்களை உருவாக்குவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. மொத்த இங்காட்கள் அல்லது நன்கொடையாளர் அடி மூலக்கூறுகளிலிருந்து மெல்லிய அடுக்குகளைப் பிரிக்க உதவுவதன் மூலம், செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி, இயந்திர அறுக்கும், அரைக்கும் மற்றும் வேதியியல் பொறித்தல் படிகளை நீக்குவதன் மூலம் இங்காட் மெலிவுபடுத்தலில் புரட்சியை ஏற்படுத்துகிறது.
காலியம் நைட்ரைடு (GaN), சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் சபையர் போன்ற குறைக்கடத்தி இங்காட்களின் பாரம்பரிய மெலிதல் பெரும்பாலும் உழைப்பு மிகுந்ததாகவும், வீணானதாகவும், மைக்ரோகிராக்குகள் அல்லது மேற்பரப்பு சேதத்திற்கு ஆளாகக்கூடியதாகவும் இருக்கும். இதற்கு நேர்மாறாக, குறைக்கடத்தி லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி, உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்கும் அதே வேளையில் பொருள் இழப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு அழுத்தத்தைக் குறைக்கும் அழிவில்லாத, துல்லியமான மாற்றீட்டை வழங்குகிறது. இது பல்வேறு வகையான படிக மற்றும் கலவை பொருட்களை ஆதரிக்கிறது மற்றும் முன்-இறுதி அல்லது நடுத்தர குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கப்படலாம்.
கட்டமைக்கக்கூடிய லேசர் அலைநீளங்கள், தகவமைப்பு கவனம் அமைப்புகள் மற்றும் வெற்றிட-இணக்கமான வேஃபர் சக்குகளுடன், இந்த உபகரணமானது செங்குத்து சாதன கட்டமைப்புகள் அல்லது ஹெட்டோரோபிடாக்சியல் அடுக்கு பரிமாற்றத்திற்கான இங்காட் ஸ்லைசிங், லேமல்லா உருவாக்கம் மற்றும் மிக மெல்லிய படலப் பிரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவியின் அளவுரு
அலைநீளம் | ஐஆர்/சுகாதாரத் துறை/THG/FHG |
---|---|
துடிப்பு அகலம் | நானோ வினாடி, பைக்கோ வினாடி, ஃபெம்டோ வினாடி |
ஆப்டிகல் சிஸ்டம் | நிலையான ஒளியியல் அமைப்பு அல்லது கால்வனோ-ஒளியியல் அமைப்பு |
XY நிலை | 500 மிமீ × 500 மிமீ |
செயலாக்க வரம்பு | 160 மி.மீ. |
இயக்க வேகம் | அதிகபட்சம் 1,000 மிமீ/வினாடி |
மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை | ±1 μm அல்லது அதற்கும் குறைவாக |
முழுமையான நிலை துல்லியம்: | ±5 μm அல்லது அதற்கும் குறைவாக |
வேஃபர் அளவு | 2–6 அங்குலம் அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்டது |
கட்டுப்பாடு | விண்டோஸ் 10,11 மற்றும் பிஎல்சி |
மின்சாரம் வழங்கல் மின்னழுத்தம் | AC 200 V ±20 V, ஒற்றை-கட்டம், 50/60 kHz |
வெளிப்புற பரிமாணங்கள் | 2400 மிமீ (அ) × 1700 மிமீ (அ) × 2000 மிமீ (அ) |
எடை | 1,000 கிலோ |
குறைக்கடத்தி லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவியின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவியின் மைய பொறிமுறையானது, டோனர் இங்காட் மற்றும் எபிடாக்சியல் அல்லது இலக்கு அடுக்குக்கு இடையிலான இடைமுகத்தில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஒளிவெப்ப சிதைவு அல்லது நீக்குதலை நம்பியுள்ளது. ஒரு உயர் ஆற்றல் கொண்ட UV லேசர் (பொதுவாக 248 nm இல் KrF அல்லது 355 nm இல் திட-நிலை UV லேசர்கள்) ஒரு வெளிப்படையான அல்லது அரை-வெளிப்படையான டோனர் பொருள் மூலம் கவனம் செலுத்தப்படுகிறது, அங்கு ஆற்றல் முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட ஆழத்தில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட முறையில் உறிஞ்சப்படுகிறது.
இந்த உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட ஆற்றல் உறிஞ்சுதல் இடைமுகத்தில் ஒரு உயர் அழுத்த வாயு கட்டம் அல்லது வெப்ப விரிவாக்க அடுக்கை உருவாக்குகிறது, இது இங்காட் தளத்திலிருந்து மேல் வேஃபர் அல்லது சாதன அடுக்கின் சுத்தமான டிலாமினேஷனைத் தொடங்குகிறது. துடிப்பு அகலம், லேசர் சரளத்தன்மை, ஸ்கேனிங் வேகம் மற்றும் z-அச்சு குவிய ஆழம் போன்ற அளவுருக்களை சரிசெய்வதன் மூலம் இந்த செயல்முறை நேர்த்தியாக சரிசெய்யப்படுகிறது. இதன் விளைவாக ஒரு மிக மெல்லிய துண்டு - பெரும்பாலும் 10 முதல் 50 µm வரம்பில் - இயந்திர சிராய்ப்பு இல்லாமல் தாய் இங்காட்டிலிருந்து சுத்தமாக பிரிக்கப்படுகிறது.
இங்காட் மெலிதலுக்கான இந்த லேசர் லிப்ட்-ஆஃப் முறை, வைர கம்பி அறுத்தல் அல்லது இயந்திர லேப்பிங்குடன் தொடர்புடைய கெர்ஃப் இழப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது. இது படிக ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் கீழ்நிலை பாலிஷ் தேவைகளைக் குறைக்கிறது, செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவியை அடுத்த தலைமுறை வேஃபர் உற்பத்திக்கான விளையாட்டை மாற்றும் கருவியாக மாற்றுகிறது.
குறைக்கடத்தி லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் உபகரணங்களின் பயன்பாடுகள்
செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி, பல்வேறு மேம்பட்ட பொருட்கள் மற்றும் சாதன வகைகளில் இங்காட் மெலிதலில் பரந்த பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் காண்கிறது, அவற்றுள்:
-
மின் சாதனங்களுக்கான GaN மற்றும் GaAs இங்காட் மெலிதல்
அதிக திறன், குறைந்த எதிர்ப்பு சக்தி டிரான்சிஸ்டர்கள் மற்றும் டையோட்களுக்கு மெல்லிய வேஃபர் உருவாக்கத்தை செயல்படுத்துகிறது.
-
SiC அடி மூலக்கூறு மறுசீரமைப்பு மற்றும் லேமெல்லா பிரிப்பு
செங்குத்து சாதன கட்டமைப்புகள் மற்றும் வேஃபர் மறுபயன்பாட்டிற்காக மொத்த SiC அடி மூலக்கூறுகளிலிருந்து வேஃபர்-அளவிலான லிஃப்ட்-ஆஃப்-ஐ அனுமதிக்கிறது.
-
LED வேஃபர் ஸ்லைசிங்
தடிமனான சபையர் இங்காட்களிலிருந்து GaN அடுக்குகளை உயர்த்தி, மிக மெல்லிய LED அடி மூலக்கூறுகளை உருவாக்க உதவுகிறது.
-
RF மற்றும் மைக்ரோவேவ் சாதன உற்பத்தி
5G மற்றும் ரேடார் அமைப்புகளில் தேவைப்படும் மிக மெல்லிய உயர்-எலக்ட்ரான்-மொபிலிட்டி டிரான்சிஸ்டர் (HEMT) கட்டமைப்புகளை ஆதரிக்கிறது.
-
எபிடாக்சியல் அடுக்கு பரிமாற்றம்
மறுபயன்பாடு அல்லது ஹீட்டோரோஸ்ட்ரக்சர்களில் ஒருங்கிணைப்பதற்காக படிக இங்காட்களிலிருந்து எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை துல்லியமாகப் பிரிக்கிறது.
-
மெல்லிய-பட சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தங்கள்
நெகிழ்வான அல்லது உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்களுக்கு மெல்லிய உறிஞ்சு அடுக்குகளைப் பிரிக்கப் பயன்படுகிறது.
இந்த ஒவ்வொரு டொமைனிலும், செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி தடிமன் சீரான தன்மை, மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் அடுக்கு ஒருமைப்பாடு ஆகியவற்றின் மீது ஒப்பிடமுடியாத கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.

லேசர் அடிப்படையிலான இங்காட் மெலிதலின் நன்மைகள்
-
பூஜ்ஜிய-கெர்ஃப் பொருள் இழப்பு
பாரம்பரிய வேஃபர் ஸ்லைசிங் முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, லேசர் செயல்முறை கிட்டத்தட்ட 100% பொருள் பயன்பாட்டை விளைவிக்கிறது.
-
குறைந்தபட்ச மன அழுத்தம் மற்றும் சிதைவு
தொடுதல் இல்லாத லிஃப்ட்-ஆஃப் இயந்திர அதிர்வுகளை நீக்குகிறது, வேஃபர் வில் மற்றும் மைக்ரோகிராக் உருவாவதைக் குறைக்கிறது.
-
மேற்பரப்பு தரத்தைப் பாதுகாத்தல்
லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் மேல்-மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாப்பதால், பல சந்தர்ப்பங்களில் மெல்லிய பிறகு லேப்பிங் அல்லது பாலிஷ் தேவையில்லை.
-
உயர் செயல்திறன் மற்றும் ஆட்டோமேஷன் தயார்
தானியங்கி ஏற்றுதல்/இறக்குதல் மூலம் ஒரு ஷிப்டுக்கு நூற்றுக்கணக்கான அடி மூலக்கூறுகளை செயலாக்கும் திறன் கொண்டது.
-
பல பொருட்களுக்கு ஏற்றவாறு மாற்றியமைக்கக்கூடியது
GaN, SiC, சபையர், GaAs மற்றும் வளர்ந்து வரும் III-V பொருட்களுடன் இணக்கமானது.
-
சுற்றுச்சூழலுக்கு பாதுகாப்பானது
குழம்பு அடிப்படையிலான மெல்லிய செயல்முறைகளில் பொதுவாகக் காணப்படும் சிராய்ப்புகள் மற்றும் கடுமையான இரசாயனங்களின் பயன்பாட்டைக் குறைக்கிறது.
-
அடி மூலக்கூறு மறுபயன்பாடு
நன்கொடை இங்காட்களை பல லிஃப்ட்-ஆஃப் சுழற்சிகளுக்கு மறுசுழற்சி செய்யலாம், இது பொருள் செலவுகளை வெகுவாகக் குறைக்கிறது.
செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் உபகரணங்களின் அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)
-
Q1: செமிகண்டக்டர் லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் கருவி வேஃபர் துண்டுகளுக்கு என்ன தடிமன் வரம்பை அடைய முடியும்?
எ 1:பொருள் மற்றும் உள்ளமைவைப் பொறுத்து வழக்கமான துண்டு தடிமன் 10 µm முதல் 100 µm வரை இருக்கும்.கேள்வி 2: SiC போன்ற ஒளிபுகா பொருட்களால் செய்யப்பட்ட இங்காட்களை மெல்லியதாக மாற்ற இந்த உபகரணத்தைப் பயன்படுத்த முடியுமா?
A2:ஆம். லேசர் அலைநீளத்தை சரிசெய்து இடைமுக பொறியியலை மேம்படுத்துவதன் மூலம் (எ.கா., தியாக இடை அடுக்குகள்), பகுதியளவு ஒளிபுகா பொருட்களைக் கூட செயலாக்க முடியும்.கேள்வி 3: லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் செய்வதற்கு முன் நன்கொடையாளர் அடி மூலக்கூறு எவ்வாறு சீரமைக்கப்படுகிறது?
A3:இந்த அமைப்பு, நம்பகமான குறிகள் மற்றும் மேற்பரப்பு பிரதிபலிப்பு ஸ்கேன்களின் பின்னூட்டங்களுடன் துணை-மைக்ரான் பார்வை அடிப்படையிலான சீரமைப்பு தொகுதிகளைப் பயன்படுத்துகிறது.கேள்வி 4: ஒரு லேசர் லிஃப்ட்-ஆஃப் செயல்பாட்டிற்கு எதிர்பார்க்கப்படும் சுழற்சி நேரம் என்ன?
A4:செதில் அளவு மற்றும் தடிமன் ஆகியவற்றைப் பொறுத்து, வழக்கமான சுழற்சிகள் 2 முதல் 10 நிமிடங்கள் வரை நீடிக்கும்.கேள்வி 5: இந்த செயல்முறைக்கு சுத்தமான அறை சூழல் தேவையா?
A5:கட்டாயமில்லை என்றாலும், உயர் துல்லியமான செயல்பாடுகளின் போது அடி மூலக்கூறு தூய்மை மற்றும் சாதன மகசூலைப் பராமரிக்க சுத்தமான அறை ஒருங்கிணைப்பு பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.
எங்களை பற்றி
சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.
