SiC பீங்கான் சக் தட்டு பீங்கான் உறிஞ்சும் கோப்பைகள் துல்லியமான இயந்திரம் தனிப்பயனாக்கப்பட்டது
பொருள் பண்புகள்:
1.அதிக கடினத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் மோஸ் கடினத்தன்மை 9.2-9.5 ஆகும், இது வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, வலுவான உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.
2. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைடின் வெப்ப கடத்துத்திறன் 120-200 W/m·K வரை அதிகமாக உள்ளது, இது வெப்பத்தை விரைவாகச் சிதறடிக்கும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலுக்கு ஏற்றது.
3. குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப விரிவாக்க குணகம் குறைவாக உள்ளது (4.0-4.5×10⁻⁶/K), அதிக வெப்பநிலையிலும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை இன்னும் பராமரிக்க முடியும்.
4. வேதியியல் நிலைத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு எதிர்ப்பு, வேதியியல் அரிக்கும் சூழலில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
5. அதிக இயந்திர வலிமை: சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வளைக்கும் வலிமை மற்றும் அமுக்கும் வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பெரிய இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கும்.
அம்சங்கள்:
1. குறைக்கடத்தித் தொழிலில், மிக மெல்லிய செதில்களை ஒரு வெற்றிட உறிஞ்சும் கோப்பையில் வைக்க வேண்டும், வெற்றிட உறிஞ்சுதல் செதில்களை சரிசெய்யப் பயன்படுகிறது, மேலும் மெழுகு, மெல்லியதாக்குதல், மெழுகுதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் வெட்டுதல் போன்ற செயல்முறைகள் செதில்களில் செய்யப்படுகின்றன.
2.சிலிக்கான் கார்பைடு உறிஞ்சி நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது, வளர்பிறை மற்றும் வளர்பிறை நேரத்தை திறம்பட குறைக்கும், உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்தும்.
3.சிலிக்கான் கார்பைடு வெற்றிட உறிஞ்சி நல்ல அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது.
4. பாரம்பரிய கொருண்டம் கேரியர் தட்டுடன் ஒப்பிடுகையில், ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டும் நேரத்தைக் குறைத்து, வேலைத் திறனை மேம்படுத்துகிறது; அதே நேரத்தில், இது மேல் மற்றும் கீழ் தட்டுகளுக்கு இடையே உள்ள தேய்மானத்தைக் குறைக்கலாம், நல்ல விமானத் துல்லியத்தைப் பராமரிக்கலாம் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை சுமார் 40% நீட்டிக்கலாம்.
5. பொருள் விகிதம் சிறியது, எடை குறைவாக உள்ளது. ஆபரேட்டர்கள் பலகைகளை எடுத்துச் செல்வது எளிதானது, போக்குவரத்து சிரமங்களால் ஏற்படும் மோதல் சேதத்தின் அபாயத்தை சுமார் 20% குறைக்கிறது.
6.அளவு: அதிகபட்ச விட்டம் 640மிமீ; தட்டையானது: 3um அல்லது அதற்கும் குறைவாக
விண்ணப்பப் புலம்:
1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
● வேஃபர் செயலாக்கம்:
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி, எச்சிங், மெல்லிய படலப் படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் செதில் நிலைப்படுத்தலுக்கு, அதிக துல்லியம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. இதன் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு கடுமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
●எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி:
SiC அல்லது GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், செதில்களை வெப்பப்படுத்துவதற்கும் சரிசெய்வதற்கும் ஒரு கேரியராக, அதிக வெப்பநிலையில் வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் படிக தரத்தை உறுதிசெய்து, சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
2. ஒளிமின்னழுத்த உபகரணங்கள்
●LED உற்பத்தி:
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும், LED ஒளிரும் திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கும், சபையர் அல்லது SiC அடி மூலக்கூறை சரிசெய்யவும், MOCVD செயல்பாட்டில் வெப்பமூட்டும் கேரியராகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
●லேசர் டையோடு:
உயர் துல்லியமான சாதனமாக, செயல்முறை வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும், லேசர் டையோடின் வெளியீட்டு சக்தி மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும், சரிசெய்தல் மற்றும் வெப்பமூட்டும் அடி மூலக்கூறு.
3. துல்லியமான எந்திரம்
● ஆப்டிகல் கூறு செயலாக்கம்:
செயலாக்கத்தின் போது அதிக துல்லியம் மற்றும் குறைந்த மாசுபாட்டை உறுதி செய்வதற்காக ஆப்டிகல் லென்ஸ்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள் போன்ற துல்லியமான கூறுகளை சரிசெய்வதற்கு இது பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அதிக தீவிரம் கொண்ட எந்திரத்திற்கு ஏற்றது.
●பீங்கான் பதப்படுத்துதல்:
உயர் நிலைத்தன்மை கொண்ட சாதனமாக, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழலின் கீழ் இயந்திர துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக பீங்கான் பொருட்களின் துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கலுக்கு இது பொருத்தமானது.
4. அறிவியல் பரிசோதனைகள்
●அதிக வெப்பநிலை பரிசோதனை:
அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் மாதிரி நிலைப்படுத்தல் சாதனமாக, வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் மாதிரி நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக 1600°C க்கும் அதிகமான தீவிர வெப்பநிலை பரிசோதனைகளை இது ஆதரிக்கிறது.
●வெற்றிட சோதனை:
வெற்றிட சூழலில் மாதிரி பொருத்துதல் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கேரியராக, பரிசோதனையின் துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, வெற்றிட பூச்சு மற்றும் வெப்ப சிகிச்சைக்கு ஏற்றது.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:
| (பொருள் சொத்து) | (அலகு) | (சிசி) | |
| (SiC உள்ளடக்கம்) |
| (வெள்ளி)% | >99 काला |
| (சராசரி தானிய அளவு) |
| மைக்ரான் | 4-10 |
| (அடர்த்தி) |
| கிலோ/டிஎம்3 | >3.14 |
| (வெளிப்படையான போரோசிட்டி) |
| வோ1% | <0.5 <0.5 |
| (விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை) | எச்.வி 0.5 | ஜி.பி.ஏ. | 28 |
| *( நெகிழ்வு வலிமை) | 20ºC | எம்.பி.ஏ. | 450 மீ |
| (அமுக்க வலிமை) | 20ºC | எம்.பி.ஏ. | 3900 समानीकारिका समार्ग |
| (மீள் தன்மை) | 20ºC | ஜி.பி.ஏ. | 420 (அ) |
| (எலும்பின் கடினத்தன்மை) |
| MPa/மீ'% | 3.5 |
| (வெப்ப கடத்துத்திறன்) | 20°ºC வெப்பநிலை | சதுர அடி | 160 தமிழ் |
| (எதிர்ப்பு) | 20°ºC வெப்பநிலை | ஓம்.செ.மீ. | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | கே-1*10-6 | 4.3 தமிழ் |
|
|
| oºC | 1700 - अनुक्षिती |
பல வருட தொழில்நுட்ப குவிப்பு மற்றும் தொழில்துறை அனுபவத்துடன், XKH வாடிக்கையாளரின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப சக்கின் அளவு, வெப்பமூட்டும் முறை மற்றும் வெற்றிட உறிஞ்சுதல் வடிவமைப்பு போன்ற முக்கிய அளவுருக்களை வடிவமைக்க முடிகிறது, இதனால் தயாரிப்பு வாடிக்கையாளரின் செயல்முறைக்கு ஏற்றவாறு மாற்றியமைக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. SiC சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்குகள், அவற்றின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை காரணமாக வேஃபர் செயலாக்கம், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் பிற முக்கிய செயல்முறைகளில் இன்றியமையாத கூறுகளாக மாறியுள்ளன. குறிப்பாக SiC மற்றும் GaN போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்தியில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்குகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருகிறது. எதிர்காலத்தில், 5G, மின்சார வாகனங்கள், செயற்கை நுண்ணறிவு மற்றும் பிற தொழில்நுட்பங்களின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்குகளின் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள் பரந்ததாக இருக்கும்.
விரிவான வரைபடம்
