Sic பீங்கான் சக் தட்டு பீங்கான் உறிஞ்சும் கோப்பைகள் துல்லிய எந்திரம் தனிப்பயனாக்கப்பட்டது
பொருள் பண்புகள்:
1. உயர் கடினத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் MOHS கடினத்தன்மை 9.2-9.5, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, வலுவான உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.
2. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் 120-200 W/m · K வரை அதிகமாக உள்ளது, இது வெப்பத்தை விரைவாகக் சிதறடிக்கும் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலுக்கு ஏற்றது.
3. குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப விரிவாக்க குணகம் குறைவாக உள்ளது (4.0-4.5 × 10⁻⁶/K), அதிக வெப்பநிலையில் பரிமாண நிலைத்தன்மையை இன்னும் பராமரிக்க முடியும்.
4. வேதியியல் நிலைத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு எதிர்ப்பு, வேதியியல் அரிக்கும் சூழலில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
5. உயர் இயந்திர வலிமை: சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வளைக்கும் வலிமையையும் சுருக்க வலிமையையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் பெரிய இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கும்.
அம்சங்கள்:
.
2. சிலிக்கான் கார்பைடு உறிஞ்சிக்கு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் உள்ளது, மெழுகு மற்றும் மெழுகு நேரத்தை திறம்பட சுருக்கி, உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.
3. சிலிக்கான் கார்பைடு வெற்றிட உறிஞ்சியில் நல்ல அமிலம் மற்றும் கார அரிப்பு எதிர்ப்பும் உள்ளது.
4. பாரம்பரிய கொருண்டம் கேரியர் தட்டுடன் ஒப்பிடும்போது, ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் நேரத்தை சுருக்கவும், வேலை செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்; அதே நேரத்தில், இது மேல் மற்றும் கீழ் தகடுகளுக்கு இடையில் உடைகளை குறைக்கலாம், நல்ல விமான துல்லியத்தை பராமரிக்கலாம், மேலும் சேவை வாழ்க்கையை சுமார் 40%நீட்டிக்க முடியும்.
5. பொருள் விகிதம் சிறியது, குறைந்த எடை. ஆபரேட்டர்கள் பலகைகளை எடுத்துச் செல்வது எளிதானது, போக்குவரத்து சிக்கல்களால் ஏற்படும் மோதல் சேதத்தின் அபாயத்தை சுமார் 20%குறைக்கிறது.
6. அளவு: அதிகபட்ச விட்டம் 640 மிமீ; தட்டையானது: 3um அல்லது அதற்கும் குறைவாக
பயன்பாட்டு புலம்:
1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
● செதில் செயலாக்கம்:
ஃபோட்டோலிதோகிராஃபி, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் செதில் சரிசெய்தல், அதிக துல்லியம் மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. அதன் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு கடுமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
● எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி:
SIC அல்லது GAN EPITAXIAL வளர்ச்சியில், செதில்களை வெப்பப்படுத்தவும் சரிசெய்யவும் ஒரு கேரியராக, அதிக வெப்பநிலையில் வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் படிக தரத்தை உறுதி செய்தல், சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
2. ஒளிமின்னழுத்த உபகரணங்கள்
Led எல்.ஈ.டி உற்பத்தி:
சபையர் அல்லது எஸ்.ஐ.சி அடி மூலக்கூறுகளை சரிசெய்யப் பயன்படுகிறது, மற்றும் MOCVD செயல்பாட்டில் ஒரு வெப்ப கேரியராக, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த, எல்.ஈ.டி ஒளிரும் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.
● லேசர் டையோடு:
செயல்முறை வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த, அதிக துல்லியமான பொருத்தமாக, சரிசெய்தல் மற்றும் வெப்பமூட்டும் அடி மூலக்கூறு, லேசர் டையோடின் வெளியீட்டு சக்தி மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தவும்.
3. துல்லிய எந்திரம்
● ஆப்டிகல் கூறு செயலாக்கம்:
ஆப்டிகல் லென்ஸ்கள் மற்றும் வடிப்பான்கள் போன்ற துல்லியமான கூறுகளை சரிசெய்ய இது பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது செயலாக்கத்தின் போது அதிக துல்லியமாகவும் குறைந்த மாசுபாட்டையும் உறுதிப்படுத்தவும், மேலும் அதிக தீவிரம் கொண்ட எந்திரத்திற்கு ஏற்றது.
● பீங்கான் செயலாக்கம்:
அதிக நிலைத்தன்மை அங்கமாக, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழலின் கீழ் எந்திர துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கு பீங்கான் பொருட்களின் துல்லியமான எந்திரத்திற்கு இது ஏற்றது.
4. அறிவியல் சோதனைகள்
வெப்பநிலை சோதனை:
அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் ஒரு மாதிரி நிர்ணயிக்கும் சாதனமாக, வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் மாதிரி நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த 1600 ° C க்கு மேல் தீவிர வெப்பநிலை சோதனைகளை இது ஆதரிக்கிறது.
● வெற்றிட சோதனை:
வெற்றிட சூழலில் ஒரு மாதிரி சரிசெய்தல் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கேரியராக, பரிசோதனையின் துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை உறுதிப்படுத்த, வெற்றிட பூச்சு மற்றும் வெப்ப சிகிச்சைக்கு ஏற்றது.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்
(பொருள் சொத்து) | (அலகு) | (SSIC) | |
(Sic உள்ளடக்கம்) |
| (Wt)% | > 99 |
(சராசரி தானிய அளவு) |
| மைக்ரான் | 4-10 |
(அடர்த்தி) |
| kg/dm3 | > 3.14 |
(வெளிப்படையான போரோசிட்டி) |
| Vo1% | <0.5 |
(விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை) | எச்.வி 0.5 | ஜி.பி.ஏ. | 28 |
*(நெகிழ்வு வலிமை) | 20ºC | Mpa | 450 |
(சுருக்க வலிமை) | 20ºC | Mpa | 3900 |
(மீள்நிலை மாடுலஸ்) | 20ºC | ஜி.பி.ஏ. | 420 |
(எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மை) |
| Mpa/m '% | 3.5 |
(வெப்ப கடத்துத்திறன்) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
(எதிர்ப்பு) | 20 ° ºC | ஓ.எம்.சி.எம் | 106-108 |
| a (rt ** ... 80ºC) | கே -1*10-6 | 4.3 |
|
| oºC | 1700 |
பல ஆண்டுகளாக தொழில்நுட்பக் குவிப்பு மற்றும் தொழில் அனுபவத்துடன், வாடிக்கையாளரின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப சக்கின் அளவு, வெப்பமூட்டும் முறை மற்றும் வெற்றிட உறிஞ்சுதல் வடிவமைப்பு போன்ற முக்கிய அளவுருக்களை XKH வடிவமைக்க முடியும், இது தயாரிப்பு வாடிக்கையாளரின் செயல்முறைக்கு ஏற்றதாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது. எஸ்.ஐ.சி சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்ஸ் அவற்றின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் ஸ்திரத்தன்மை காரணமாக செதில் செயலாக்கம், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் பிற முக்கிய செயல்முறைகளில் இன்றியமையாத கூறுகளாக மாறியுள்ளது. குறிப்பாக SIC மற்றும் GAN போன்ற மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்தியில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்ஸின் தேவை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருகிறது. எதிர்காலத்தில், 5 ஜி, மின்சார வாகனங்கள், செயற்கை நுண்ணறிவு மற்றும் பிற தொழில்நுட்பங்களின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், குறைக்கடத்தி துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சக்ஸின் பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள் பரந்ததாக இருக்கும்.




விரிவான வரைபடம்


