SiC செராமிக் ஃபோர்க் ஆர்ம் / எண்ட் எஃபெக்டர் - குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான மேம்பட்ட துல்லிய கையாளுதல்

உருவாக்கம்SiC பீங்கான் முடிவு எஃபெக்டர்கள்செயல்திறன் மற்றும் நீடித்து உழைக்கும் தன்மை இரண்டையும் உறுதி செய்யும் உயர்-துல்லியமான, உயர்-தூய்மை செயல்முறைகளின் வரிசையை உள்ளடக்கியது. இரண்டு முக்கிய செயல்முறைகள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

வினை-பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RB-SiC)

இந்தச் செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் கார்பைடு தூள் மற்றும் பைண்டரிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு முன்வடிவம் அதிக வெப்பநிலையில் (~1500°C) உருகிய சிலிக்கானுடன் ஊடுருவி, எஞ்சிய கார்பனுடன் வினைபுரிந்து அடர்த்தியான, உறுதியான SiC-Si கலவையை உருவாக்குகிறது. இந்த முறை சிறந்த பரிமாணக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது மற்றும் பெரிய அளவிலான உற்பத்திக்கு செலவு குறைந்ததாகும்.

அழுத்தமற்ற சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC)

SSiC என்பது மிக அதிக வெப்பநிலையில் (>2000°C) கூடுதல் பொருட்கள் அல்லது பிணைப்பு கட்டத்தைப் பயன்படுத்தாமல், மிக நுண்ணிய, உயர்-தூய்மை SiC தூளை சின்டர் செய்வதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இதன் விளைவாக கிட்டத்தட்ட 100% அடர்த்தி கொண்ட ஒரு தயாரிப்பு மற்றும் SiC பொருட்களில் கிடைக்கக்கூடிய மிக உயர்ந்த இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகள் உள்ளன. இது மிகவும் முக்கியமான வேஃபர் கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு

• துல்லியமான CNC இயந்திரமயமாக்கல்: அதிக தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மையை அடைகிறது.

• மேற்பரப்பு முடித்தல்: வைர மெருகூட்டல் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை <0.02 µm ஆகக் குறைக்கிறது.

• ஆய்வு: ஒவ்வொரு பகுதியையும் சரிபார்க்க ஆப்டிகல் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி, CMM மற்றும் அழிவில்லாத சோதனை ஆகியவை பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த படிகள் உறுதியளிக்கின்றனSiC இறுதி விளைவுசீரான வேஃபர் வேலை வாய்ப்பு துல்லியம், சிறந்த பிளானாரிட்டி மற்றும் குறைந்தபட்ச துகள் உருவாக்கத்தை வழங்குகிறது.