ICP-க்கான 4 அங்குல 6 அங்குல வேஃபர் ஹோல்டருக்கான SiC பீங்கான் தட்டு/தட்டு

குறுகிய விளக்கம்:

SiC பீங்கான் தட்டு என்பது உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது தீவிர வெப்ப, வேதியியல் மற்றும் இயந்திர சூழல்களில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்ற SiC தட்டு, குறைக்கடத்தி, LED, ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் விண்வெளித் தொழில்களில் வேஃபர் கேரியர், சஸ்பெக்டர் அல்லது கட்டமைப்பு கூறுகளாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

SiC பீங்கான் தட்டு சுருக்கம்

1600°C வரை சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டு, SiC தட்டு உயர் வெப்பநிலை பொறித்தல், படிவு மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளின் போது நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. அதன் அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத நுண் கட்டமைப்பு துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது, இது வெற்றிட அல்லது சுத்தமான அறை அமைப்புகளில் மிகவும் சுத்தமான பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

SiC பீங்கான் தட்டு பயன்பாடு

1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

SiC பீங்கான் தகடுகள் பொதுவாக CVD (வேதியியல் நீராவி படிவு), PVD (இயற்பியல் நீராவி படிவு) மற்றும் பொறித்தல் அமைப்புகள் போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் வேஃபர் கேரியர்கள், சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் பீடத் தகடுகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் ஆகியவை சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க அனுமதிக்கின்றன, இது உயர் துல்லியமான வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கு மிகவும் முக்கியமானது. அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாக்களுக்கு SiC இன் எதிர்ப்பு கடுமையான சூழல்களில் நீடித்துழைப்பை உறுதி செய்கிறது, துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் உபகரண பராமரிப்பைக் குறைக்க உதவுகிறது.

2. LED தொழில் - ICP எட்சிங்

LED உற்பத்தித் துறையில், SiC தகடுகள் ICP (Inductively Coupled Plasma) பொறித்தல் அமைப்புகளில் முக்கிய கூறுகளாக உள்ளன. வேஃபர் ஹோல்டர்களாகச் செயல்படும் அவை, பிளாஸ்மா செயலாக்கத்தின் போது சபையர் அல்லது GaN செதில்களை ஆதரிக்க ஒரு நிலையான மற்றும் வெப்ப ரீதியாக வலுவான தளத்தை வழங்குகின்றன. அவற்றின் சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு, மேற்பரப்பு தட்டையானது மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை அதிக பொறித்தல் துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த உதவுகின்றன, இது LED சில்லுகளில் அதிகரித்த மகசூல் மற்றும் சாதன செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது.

3. ஒளிமின்னழுத்தங்கள் (PV) மற்றும் சூரிய ஆற்றல்

SiC பீங்கான் தகடுகள் சூரிய மின்கல உற்பத்தியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் அனீலிங் படிகளின் போது. உயர்ந்த வெப்பநிலையில் அவற்றின் மந்தநிலை மற்றும் வார்ப்பிங்கை எதிர்க்கும் திறன் சிலிக்கான் செதில்களின் சீரான செயலாக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன. கூடுதலாக, ஒளிமின்னழுத்த மின்கலங்களின் செயல்திறனைப் பராமரிக்க அவற்றின் குறைந்த மாசுபாடு ஆபத்து மிக முக்கியமானது.

SiC பீங்கான் தட்டு பண்புகள்

1. விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை

SiC பீங்கான் தகடுகள் மிக உயர்ந்த இயந்திர வலிமையைக் கொண்டுள்ளன, வழக்கமான நெகிழ்வு வலிமை 400 MPa ஐ விட அதிகமாகவும், விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை >2000 HV ஐ அடைகிறது. இது இயந்திர தேய்மானம், சிராய்ப்பு மற்றும் சிதைவுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, அதிக சுமை அல்லது மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சுழற்சியின் கீழ் கூட நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது.

2. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்

SiC சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது (பொதுவாக 120–200 W/m·K), இது அதன் மேற்பரப்பு முழுவதும் வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்க அனுமதிக்கிறது. வெப்பநிலை சீரான தன்மை தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கும் வேஃபர் பொறித்தல், படிதல் அல்லது சின்டரிங் போன்ற செயல்முறைகளில் இந்தப் பண்பு முக்கியமானது.

3. உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

அதிக உருகுநிலை (2700°C) மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.0 × 10⁻⁶/K) கொண்ட SiC பீங்கான் தகடுகள் விரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் கீழ் பரிமாண துல்லியம் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கின்றன. இது உயர் வெப்பநிலை உலைகள், வெற்றிட அறைகள் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

தொழில்நுட்ப பண்புகள்
குறியீட்டு	அலகு	மதிப்பு
பொருள் பெயர்		வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு	அழுத்தமற்ற சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு	மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு
கலவை		ஆர்.பி.எஸ்.ஐ.சி.	எஸ்எஸ்ஐசி	ஆர்-சிஐசி
மொத்த அடர்த்தி	கிராம்/செ.மீ3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
நெகிழ்வு வலிமை	MPa (kpsi)	338(49) க்கு 10	380(55) க்கு மேல்	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
அமுக்க வலிமை	MPa (kpsi)	1120(158) க்கு மேல்	3970(560) க்கு வாங்கவும்	> 600
கடினத்தன்மை	நூப்	2700 समानींग	2800 மீ	/
விடாமுயற்சியை உடைத்தல்	MPa மீ1/2	4.5 अंगिराला	4	/
வெப்ப கடத்துத்திறன்	மேற்கு	95	120 (அ)	23
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	10^-6.1/°C	5	4	4.7 தமிழ்
குறிப்பிட்ட வெப்பம்	ஜூல்/கிராம் 0 கி	0.8 மகரந்தச் சேர்க்கை	0.67 (0.67)	/
காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை	℃ (எண்)	1200 மீ	1500 மீ	1600 தமிழ்
மீள் தன்மை மாடுலஸ்	ஜிபிஏ	360 360 தமிழ்	410 410 தமிழ்	240 समानी240 தமிழ்

SiC பீங்கான் தட்டு கேள்வி பதில்

கேள்வி: சிலிக்கான் கார்பைடு தட்டின் பண்புகள் என்ன?

ஒரு: சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) தகடுகள் அவற்றின் அதிக வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றவை. அவை சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தை வழங்குகின்றன, தீவிர வெப்பநிலையின் கீழ் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன. SiC வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, இது குறைக்கடத்தி மற்றும் LED செயலாக்கத்திற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இதன் அடர்த்தியான, மென்மையான மேற்பரப்பு துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது, சுத்தமான அறை இணக்கத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது. குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் விண்வெளித் தொழில்களில் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் SiC தகடுகள் வேஃபர் கேரியர்கள், சஸ்பெக்டர்கள் மற்றும் ஆதரவு கூறுகளாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.