அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு கொண்ட வேஃபர் கேரியருக்கான SiC பீங்கான் தட்டு
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு (SiC தட்டு)
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொருளை அடிப்படையாகக் கொண்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் கூறு, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் LED உற்பத்தி போன்ற மேம்பட்ட தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் முக்கிய செயல்பாடுகளில் வேஃபர் கேரியராக பணியாற்றுதல், பொறித்தல் செயல்முறை தளம் அல்லது உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறை ஆதரவு, விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை செயல்முறை சீரான தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை உறுதி செய்கின்றன.
முக்கிய அம்சங்கள்
1. வெப்ப செயல்திறன்
- அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: 140–300 W/m·K, பாரம்பரிய கிராஃபைட்டை (85 W/m·K) கணிசமாக விஞ்சுகிறது, விரைவான வெப்பச் சிதறலை செயல்படுத்துகிறது மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது.
- குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), நெருக்கமாக பொருந்தக்கூடிய சிலிக்கான் (2.6×10⁻⁶/℃), வெப்ப சிதைவு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது.
2. இயந்திர பண்புகள்
- அதிக வலிமை: நெகிழ்வு வலிமை ≥320 MPa (20℃), சுருக்கம் மற்றும் தாக்கத்திற்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
- அதிக கடினத்தன்மை: மோஸ் கடினத்தன்மை 9.5, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
3. வேதியியல் நிலைத்தன்மை
- அரிப்பு எதிர்ப்பு: வலுவான அமிலங்களுக்கு (எ.கா., HF, H₂SO₄) எதிர்ப்பு, பொறித்தல் செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
- காந்தமற்றது: உள்ளார்ந்த காந்த உணர்திறன் <1×10⁻⁶ emu/g, துல்லியமான கருவிகளுடன் குறுக்கீட்டைத் தவிர்க்கிறது.
4. தீவிர சுற்றுச்சூழல் சகிப்புத்தன்மை
- அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: 1600–1900℃ வரை நீண்ட கால செயல்பாட்டு வெப்பநிலை; 2200℃ வரை குறுகிய கால எதிர்ப்பு (ஆக்ஸிஜன் இல்லாத சூழல்).
- வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: விரிசல் இல்லாமல் திடீர் வெப்பநிலை மாற்றங்களை (ΔT >1000℃) தாங்கும்.
பயன்பாடுகள்
| விண்ணப்பப் புலம் | குறிப்பிட்ட காட்சிகள் | தொழில்நுட்ப மதிப்பு |
| குறைக்கடத்தி உற்பத்தி | வேஃபர் எட்சிங் (ICP), மெல்லிய-படல படிவு (MOCVD), CMP பாலிஷ் செய்தல் | அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் சீரான வெப்பநிலை புலங்களை உறுதி செய்கிறது; குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் வேஃபர் சிதைவைக் குறைக்கிறது. |
| எல்.ஈ.டி உற்பத்தி | எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி (எ.கா., GaN), வேஃபர் டைசிங், பேக்கேஜிங் | பல வகையான குறைபாடுகளை அடக்குகிறது, LED ஒளிரும் திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் அதிகரிக்கிறது. |
| ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில் | சிலிக்கான் வேஃபர் சின்டரிங் உலைகள், PECVD உபகரண ஆதரவுகள் | அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. |
| லேசர் & ஒளியியல் | உயர்-சக்தி லேசர் குளிரூட்டும் அடி மூலக்கூறுகள், ஆப்டிகல் சிஸ்டம் ஆதரவுகள் | அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் விரைவான வெப்பச் சிதறலை செயல்படுத்துகிறது, ஒளியியல் கூறுகளை நிலைப்படுத்துகிறது. |
| பகுப்பாய்வு கருவிகள் | TGA/DSC மாதிரி வைத்திருப்பவர்கள் | குறைந்த வெப்பத் திறன் மற்றும் வேகமான வெப்ப எதிர்வினை அளவீட்டு துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது. |
தயாரிப்பு நன்மைகள்
- விரிவான செயல்திறன்: வெப்ப கடத்துத்திறன், வலிமை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை அலுமினா மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களை விட மிக அதிகமாக உள்ளன, தீவிர செயல்பாட்டு தேவைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன.
- இலகுரக வடிவமைப்பு: 3.1–3.2 கிராம்/செ.மீ³ அடர்த்தி (எஃகின் 40%), நிலைம சுமையைக் குறைத்து இயக்கத் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.
- நீண்ட ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை: 1600℃ வெப்பநிலையில் சேவை வாழ்க்கை 5 ஆண்டுகளை மீறுகிறது, இது செயலிழப்பு நேரத்தைக் குறைத்து செயல்பாட்டு செலவுகளை 30% குறைக்கிறது.
- தனிப்பயனாக்கம்: துல்லியமான பயன்பாடுகளுக்கு தட்டையான தன்மை பிழை <15 μm உடன் சிக்கலான வடிவவியலை (எ.கா., நுண்துளை உறிஞ்சும் கோப்பைகள், பல அடுக்கு தட்டுகள்) ஆதரிக்கிறது.
தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்
| அளவுரு வகை | காட்டி |
| இயற்பியல் பண்புகள் | |
| அடர்த்தி | ≥3.10 கிராம்/செ.மீ³ |
| நெகிழ்வு வலிமை (20℃) | 320–410 எம்.பி.ஏ. |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் (20℃) | 140–300 W/(மீ·கே) |
| வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| வேதியியல் பண்புகள் | |
| அமில எதிர்ப்பு (HF/H₂SO₄) | 24 மணிநேரம் மூழ்கிய பிறகு அரிப்பு இல்லை. |
| இயந்திர துல்லியம் | |
| தட்டையானது | ≤15 μm (300×300 மிமீ) |
| மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (ரா) | ≤0.4 μm |
XKH இன் சேவைகள்
XKH தனிப்பயன் மேம்பாடு, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய விரிவான தொழில்துறை தீர்வுகளை வழங்குகிறது. தனிப்பயன் மேம்பாட்டிற்காக, இது உயர்-தூய்மை (>99.999%) மற்றும் நுண்துளை (30–50% போரோசிட்டி) பொருள் தீர்வுகளை வழங்குகிறது, குறைக்கடத்திகள் மற்றும் விண்வெளி போன்ற பயன்பாடுகளுக்கான சிக்கலான வடிவவியலை மேம்படுத்த 3D மாடலிங் மற்றும் உருவகப்படுத்துதலுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. துல்லியமான எந்திரம் ஒரு நெறிப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறையைப் பின்பற்றுகிறது: தூள் செயலாக்கம் → ஐசோஸ்டேடிக்/உலர் அழுத்துதல் → 2200°C சின்டரிங் → CNC/வைர அரைத்தல் → ஆய்வு, நானோமீட்டர்-நிலை மெருகூட்டல் மற்றும் ±0.01 மிமீ பரிமாண சகிப்புத்தன்மையை உறுதி செய்தல். தரக் கட்டுப்பாட்டில் முழு-செயல்முறை சோதனை (XRD கலவை, SEM நுண் கட்டமைப்பு, 3-புள்ளி வளைத்தல்) மற்றும் தொழில்நுட்ப ஆதரவு (செயல்முறை உகப்பாக்கம், 24/7 ஆலோசனை, 48-மணிநேர மாதிரி விநியோகம்) ஆகியவை அடங்கும், இது மேம்பட்ட தொழில்துறை தேவைகளுக்கு நம்பகமான, உயர்-செயல்திறன் கூறுகளை வழங்குகிறது.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)
1. கே: எந்தெந்த தொழிற்சாலைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன?
A: அவற்றின் தீவிர வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை காரணமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி (செதில் கையாளுதல்), சூரிய ஆற்றல் (PECVD செயல்முறைகள்), மருத்துவ உபகரணங்கள் (MRI கூறுகள்) மற்றும் விண்வெளி (உயர் வெப்பநிலை பாகங்கள்) ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2. கேள்வி: சிலிக்கான் கார்பைடு குவார்ட்ஸ்/கண்ணாடி தட்டுகளை எவ்வாறு விஞ்சுகிறது?
A: அதிக வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு (குவார்ட்ஸின் 1100°C உடன் ஒப்பிடும்போது 1800°C வரை), பூஜ்ஜிய காந்த குறுக்கீடு மற்றும் நீண்ட ஆயுட்காலம் (5+ ஆண்டுகள் vs. குவார்ட்ஸின் 6-12 மாதங்கள்).
3. கேள்வி: சிலிக்கான் கார்பைடு தட்டுகள் அமில சூழல்களைக் கையாள முடியுமா?
ப: ஆம். வருடத்திற்கு <0.01மிமீ அரிப்புடன் HF, H2SO4 மற்றும் NaOH ஆகியவற்றை எதிர்க்கும், இதனால் அவை ரசாயன பொறித்தல் மற்றும் வேஃபர் சுத்தம் செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன.
4. கே: சிலிக்கான் கார்பைடு தட்டுகள் ஆட்டோமேஷனுடன் இணக்கமாக உள்ளதா?
ப: ஆம். தானியங்கி ஃபேப்களில் துகள் மாசுபாட்டைத் தடுக்க மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை <0.01 மிமீ உடன், வெற்றிட பிக்அப் மற்றும் ரோபோ கையாளுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
5. கே: பாரம்பரிய பொருட்களுக்கும் விலைக்கும் என்ன ஒப்பீடு?
A: அதிக ஆரம்ப செலவு (3-5x குவார்ட்ஸ்) ஆனால் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம், குறைக்கப்பட்ட செயலிழப்பு நேரம் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனில் இருந்து ஆற்றல் சேமிப்பு காரணமாக 30-50% குறைவான TCO.
