சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு (SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு)
விரிவான வரைபடம்
தயாரிப்பு கண்ணோட்டம்
உயர் செயல்திறன் கொண்ட வினை-பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSiC) இலிருந்து தயாரிக்கப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு, குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த பயன்பாடுகளுக்கான வேஃபர் ஏற்றுதல் மற்றும் கையாளுதல் அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.
பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் அல்லது கிராஃபைட் துடுப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC கான்டிலீவர் துடுப்புகள் சிறந்த இயந்திர வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன. அவை அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் சிறந்த கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கின்றன, பெரிய வேஃபர் அளவுகள், நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் மிகக் குறைந்த மாசுபாடு ஆகியவற்றின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
பெரிய வேஃபர் விட்டம், அதிக செயல்திறன் மற்றும் தூய்மையான செயலாக்க சூழல்களை நோக்கி குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், SiC கான்டிலீவர் துடுப்புகள் படிப்படியாக வழக்கமான பொருட்களை மாற்றி, பரவல் உலைகள், LPCVD மற்றும் தொடர்புடைய உயர் வெப்பநிலை உபகரணங்களுக்கு விருப்பமான தேர்வாக மாறிவிட்டன.
தயாரிப்பு பண்புகள்
-
சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
-
1000–1300℃ வெப்பநிலையில் உருமாற்றம் இல்லாமல் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுகிறது.
-
அதிகபட்ச சேவை வெப்பநிலை 1380℃ வரை.
-
-
அதிக சுமை தாங்கும் திறன்
-
வளைக்கும் வலிமை 250–280 MPa வரை, குவார்ட்ஸ் துடுப்புகளை விட மிக அதிகம்.
-
பெரிய விட்டம் கொண்ட செதில்களை (300 மிமீ மற்றும் அதற்கு மேல்) கையாளும் திறன் கொண்டது.
-
-
நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை & குறைந்த பராமரிப்பு
-
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD பூச்சுப் பொருட்களுடன் நன்கு பொருந்துகிறது.
-
மன அழுத்தத்தால் ஏற்படும் விரிசல்கள் மற்றும் உரிதலைக் குறைத்து, சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பராமரிப்பு சுழற்சிகளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது.
-
-
அரிப்பு எதிர்ப்பு & தூய்மை
-
அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு.
-
திறந்த போரோசிட்டி <0.1% உடன் அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு, துகள் உருவாக்கம் மற்றும் அசுத்த வெளியீட்டைக் குறைக்கிறது.
-
-
ஆட்டோமேஷன்-இணக்கமான வடிவமைப்பு
-
உயர் பரிமாண துல்லியத்துடன் நிலையான குறுக்குவெட்டு வடிவியல்.
-
ரோபோ வேஃபர் ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் அமைப்புகளுடன் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது, முழுமையாக தானியங்கி உற்பத்தியை செயல்படுத்துகிறது.
-
இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள்
| பொருள் | அலகு | தரவு |
|---|---|---|
| அதிகபட்ச சேவை வெப்பநிலை | ℃ (எண்) | 1380 - अनुक्षिती |
| அடர்த்தி | கிராம்/செ.மீ³ | 3.04 – 3.08 |
| திறந்த போரோசிட்டி | % | < 0.1 |
| வளைக்கும் வலிமை | எம்.பி.ஏ. | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| நெகிழ்ச்சித்தன்மையின் மட்டு | ஜி.பி.ஏ. | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | வெ/மீ·கீ | 45 (1200℃) |
| வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | கே⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 अंगिराला |
| விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | எச்வி2 | ≥ 2100 (ஆங்கிலம்) |
| அமில/கார எதிர்ப்பு | - | சிறப்பானது |
-
நிலையான நீளம்:2378 மிமீ, 2550 மிமீ, 2660 மிமீ
-
கோரிக்கையின் பேரில் தனிப்பயன் பரிமாணங்கள் கிடைக்கும்
பயன்பாடுகள்
-
குறைக்கடத்தி தொழில்
-
LPCVD (குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு)
-
பரவல் செயல்முறைகள் (பாஸ்பரஸ், போரான், முதலியன)
-
வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம்
-
-
ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்
-
பாலிசிலிக்கான் மற்றும் மோனோகிரிஸ்டலின் வேஃபர் பரவல் மற்றும் பூச்சு
-
உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங் மற்றும் செயலிழப்பு
-
-
பிற துறைகள்
-
அதிக வெப்பநிலை அரிக்கும் சூழல்கள்
-
நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு தேவைப்படும் துல்லியமான வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகள்
-
வாடிக்கையாளர் நன்மைகள்
-
குறைக்கப்பட்ட இயக்க செலவுகள்- குவார்ட்ஸ் துடுப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது நீண்ட ஆயுட்காலம், செயலிழப்பு நேரம் மற்றும் மாற்று அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.
-
அதிக மகசூல்- மிகக் குறைந்த மாசுபாடு வேஃபர் மேற்பரப்பு தூய்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் குறைபாடு விகிதங்களைக் குறைக்கிறது.
-
எதிர்கால-சான்று- பெரிய வேஃபர் அளவுகள் மற்றும் அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுடன் இணக்கமானது.
-
மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தித்திறன்- அதிக அளவிலான உற்பத்தியை ஆதரிக்கும் ரோபோடிக் ஆட்டோமேஷன் அமைப்புகளுடன் முழுமையாக இணக்கமானது.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் - சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு
Q1: சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் துடுப்பு என்றால் என்ன?
A: இது எதிர்வினை-பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RBSiC) ஆல் செய்யப்பட்ட ஒரு வேஃபர் ஆதரவு மற்றும் கையாளுதல் கூறு ஆகும். இது பரவல் உலைகள், LPCVD மற்றும் பிற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
Q2: குவார்ட்ஸ் துடுப்புகளை விட SiC ஐ ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?
A: குவார்ட்ஸ் துடுப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC துடுப்புகள் வழங்குகின்றன:
-
அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் சுமை தாங்கும் திறன்
-
1380℃ வரையிலான வெப்பநிலையில் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை
-
மிக நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு சுழற்சிகள்
-
குறைந்த துகள் உற்பத்தி மற்றும் மாசுபாடு ஆபத்து
-
பெரிய வேஃபர் அளவுகளுடன் இணக்கத்தன்மை (300 மிமீ மற்றும் அதற்கு மேல்)
Q3: SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு எந்த அளவு வேஃபர்களை ஆதரிக்க முடியும்?
A: 2378 மிமீ, 2550 மிமீ மற்றும் 2660 மிமீ உலை அமைப்புகளுக்கு நிலையான துடுப்புகள் கிடைக்கின்றன. 300 மிமீ மற்றும் அதற்கு மேற்பட்ட செதில்களை ஆதரிக்க தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பரிமாணங்கள் கிடைக்கின்றன.
எங்களை பற்றி
சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.











