சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு உறிஞ்சி சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய் உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் தனிப்பயன் செயலாக்கத்தை வழங்குகிறது
முக்கிய அம்சங்கள்:
1. சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு
- அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: கடினத்தன்மை வைரத்திற்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் வேஃபர் செயலாக்கத்தில் இயந்திர தேய்மானத்தை நீண்ட நேரம் தாங்கும்.
- அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: வேகமான வெப்பச் சிதறல் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை, வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சிதைவைத் தவிர்க்கிறது.
- உயர் தட்டையான தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு பூச்சு: மேற்பரப்பு தட்டையானது மைக்ரான் அளவு வரை உள்ளது, இது வேஃபர் மற்றும் வட்டுக்கு இடையே முழு தொடர்பை உறுதி செய்கிறது, மாசுபாடு மற்றும் சேதத்தைக் குறைக்கிறது.
வேதியியல் நிலைத்தன்மை: வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஈரமான சுத்தம் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
2. சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய்
- அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: இது 1600°C க்கும் அதிகமான அதிக வெப்பநிலை சூழலில் நீண்ட நேரம் வேலை செய்ய முடியும், குறைக்கடத்தி உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைக்கு ஏற்றது.
சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் பல்வேறு இரசாயன கரைப்பான்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, கடுமையான செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
- அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு: துகள் அரிப்பு மற்றும் இயந்திர தேய்மானத்தை எதிர்க்கும், சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும்.
- அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: வெப்பத்தின் விரைவான கடத்தல் மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை, வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் சிதைவு அல்லது விரிசலைக் குறைத்தல்.
தயாரிப்பு அளவுரு:
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு அளவுரு:
| (பொருள் சொத்து) | (அலகு) | (சிசி) | |
| (SiC உள்ளடக்கம்) | (வெள்ளி)% | >99 काला | |
| (சராசரி தானிய அளவு) | மைக்ரான் | 4-10 | |
| (அடர்த்தி) | கிலோ/டிஎம்3 | >3.14 | |
| (வெளிப்படையான போரோசிட்டி) | வோ1% | <0.5 <0.5 | |
| (விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை) | எச்.வி 0.5 | ஜி.பி.ஏ. | 28 |
| *() நெகிழ்வு வலிமை* (மூன்று புள்ளிகள்) | 20ºC | எம்.பி.ஏ. | 450 மீ |
| (அமுக்க வலிமை) | 20ºC | எம்.பி.ஏ. | 3900 समानीकारिका समार्ग |
| (மீள் தன்மை) | 20ºC | ஜி.பி.ஏ. | 420 (அ) |
| (எலும்பின் கடினத்தன்மை) | MPa/மீ'% | 3.5 | |
| (வெப்ப கடத்துத்திறன்) | 20°ºC வெப்பநிலை | சதுர அடி | 160 தமிழ் |
| (எதிர்ப்பு) | 20°ºC வெப்பநிலை | ஓம்.செ.மீ. | 106-108 |
(வெப்ப விரிவாக்க குணகம்) | a(RT**...80ºC) | கே-1*10-6 | 4.3 தமிழ் |
(அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை) | oºC | 1700 - अनुक्षिती | |
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய் அளவுரு:
| பொருட்கள் | குறியீட்டு |
| α-SIC | 99% நிமிடம் |
| வெளிப்படையான போரோசிட்டி | அதிகபட்சம் 16% |
| மொத்த அடர்த்தி | 2.7 கிராம்/செ.மீ3 நிமிடம் |
| அதிக வெப்பநிலையில் வளைக்கும் வலிமை | 100 எம்பிஏ நிமிடம் |
| வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | கே-1 4.7x10 -6 |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் குணகம் (1400ºC) | 24 W/mk |
| அதிகபட்ச வேலை வெப்பநிலை | 1650ºC |
முக்கிய பயன்பாடுகள்:
1. சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டு
- வேஃபர் வெட்டுதல் மற்றும் மெருகூட்டுதல்: வெட்டுதல் மற்றும் மெருகூட்டலின் போது அதிக துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்ய ஒரு தாங்கி தளமாக செயல்படுகிறது.
- லித்தோகிராஃபி செயல்முறை: வெளிப்பாட்டின் போது அதிக துல்லியமான நிலைப்பாட்டை உறுதி செய்வதற்காக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் வேஃபர் நிலைநிறுத்தப்படுகிறது.
- கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங் (CMP): பாலிஷ் பேட்களுக்கு ஒரு ஆதரவு தளமாக செயல்படுகிறது, சீரான அழுத்தம் மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகிறது.
2. சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய்
- உயர் வெப்பநிலை உலை குழாய்: உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சிகிச்சைக்காக செதில்களை எடுத்துச் செல்ல பரவல் உலை மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற உலை போன்ற உயர் வெப்பநிலை உபகரணங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
- CVD/PVD செயல்முறை: எதிர்வினை அறையில் ஒரு தாங்கி குழாயாக, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது.
- குறைக்கடத்தி உபகரண பாகங்கள்: வெப்பப் பரிமாற்றிகள், எரிவாயு குழாய்வழிகள் போன்றவற்றுக்கு, உபகரணங்களின் வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறனை மேம்படுத்த.
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டுகள், உறிஞ்சும் கோப்பைகள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய்களுக்கு XKH முழு அளவிலான தனிப்பயன் சேவைகளை வழங்குகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தட்டுகள் மற்றும் உறிஞ்சும் கோப்பைகள், பல்வேறு அளவுகள், வடிவங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை ஆகியவற்றின் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப XKH ஐ தனிப்பயனாக்கலாம், மேலும் சிறப்பு பூச்சு சிகிச்சையை ஆதரிக்கலாம், தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்தலாம்; சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் குழாய்களுக்கு, XKH பல்வேறு உள் விட்டம், வெளிப்புற விட்டம், நீளம் மற்றும் சிக்கலான அமைப்பை (வடிவ குழாய் அல்லது நுண்துளை குழாய் போன்றவை) தனிப்பயனாக்கலாம், மேலும் மெருகூட்டல், ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு பூச்சு மற்றும் பிற மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறைகளை வழங்கலாம். குறைக்கடத்திகள், லெட்கள் மற்றும் ஃபோட்டோவோல்டாயிக்ஸ் போன்ற உயர்நிலை உற்பத்தித் துறைகளின் தேவைப்படும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் தயாரிப்புகளின் செயல்திறன் நன்மைகளை வாடிக்கையாளர்கள் முழுமையாகப் பயன்படுத்திக் கொள்ள முடியும் என்பதை XKH உறுதி செய்கிறது.
விரிவான வரைபடம்
