சிலிக்கான் கார்பைடு வைர கம்பி வெட்டும் இயந்திரம் 4/6/8/12 அங்குல SiC இங்காட் செயலாக்கம்

குறுகிய விளக்கம்:

சிலிக்கான் கார்பைடு வைர கம்பி வெட்டும் இயந்திரம் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இங்காட் துண்டுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஒரு வகையான உயர்-துல்லிய செயலாக்க உபகரணமாகும், இது வைர கம்பி சா தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, அதிவேக நகரும் வைர கம்பி (வரி விட்டம் 0.1~0.3 மிமீ) முதல் SiC இங்காட் மல்டி-வயர் வெட்டுதல் வரை, உயர்-துல்லியமான, குறைந்த-சேத வேஃபர் தயாரிப்பை அடைய உதவுகிறது. இந்த உபகரணங்கள் SiC பவர் செமிகண்டக்டர் (MOSFET/SBD), ரேடியோ அதிர்வெண் சாதனம் (GaN-on-SiC) மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதன அடி மூலக்கூறு செயலாக்கத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது SiC தொழில் சங்கிலியில் ஒரு முக்கிய உபகரணமாகும்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

வேலை கொள்கை:

1. இங்காட் பொருத்துதல்: நிலை துல்லியத்தை (±0.02மிமீ) உறுதி செய்வதற்காக, பொருத்துதல் வழியாக வெட்டும் தளத்தில் SiC இங்காட் (4H/6H-SiC) பொருத்தப்படுகிறது.

2. வைரக் கோடு இயக்கம்: வைரக் கோடு (மேற்பரப்பில் மின்முலாம் பூசப்பட்ட வைரத் துகள்கள்) அதிவேக சுழற்சிக்கான வழிகாட்டி சக்கர அமைப்பால் இயக்கப்படுகிறது (வரி வேகம் 10~30மீ/வி).

3. வெட்டு ஊட்டம்: இங்காட் அமைக்கப்பட்ட திசையில் ஊட்டப்படுகிறது, மேலும் வைரக் கோடு பல இணையான கோடுகளுடன் (100~500 கோடுகள்) ஒரே நேரத்தில் வெட்டப்பட்டு பல செதில்களை உருவாக்குகிறது.

4. குளிர்வித்தல் மற்றும் சில்லுகளை அகற்றுதல்: வெப்ப சேதத்தைக் குறைக்கவும் சில்லுகளை அகற்றவும் வெட்டும் பகுதியில் குளிரூட்டியை (டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் + சேர்க்கைகள்) தெளிக்கவும்.

முக்கிய அளவுருக்கள்:

1. வெட்டும் வேகம்: 0.2~1.0மிமீ/நிமிடம் (SiC இன் படிக திசை மற்றும் தடிமன் பொறுத்து).

2. கோடு பதற்றம்: 20~50N (கோட்டை உடைக்க மிக அதிகமாக எளிதானது, மிகக் குறைவாக வெட்டு துல்லியத்தை பாதிக்கிறது).

3. வேஃபர் தடிமன்: நிலையான 350~500μm, வேஃபர் 100μm ஐ அடையலாம்.

முக்கிய அம்சங்கள்:

(1) வெட்டு துல்லியம்
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை: ±5μm (@350μm வேஃபர்), வழக்கமான மோட்டார் வெட்டுதலை விட (±20μm) சிறந்தது.

மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை: Ra<0.5μm (அடுத்தடுத்த செயலாக்கத்தின் அளவைக் குறைக்க கூடுதல் அரைத்தல் தேவையில்லை).

வார்பேஜ்: <10μm (அடுத்தடுத்த மெருகூட்டலின் சிரமத்தைக் குறைக்கவும்).

(2) செயலாக்க திறன்
பல-வரி வெட்டுதல்: ஒரே நேரத்தில் 100~500 துண்டுகளை வெட்டுதல், உற்பத்தி திறனை 3~5 மடங்கு அதிகரித்தல் (எதிராக ஒற்றை வரி வெட்டு).

வரி ஆயுள்: வைரக் கோடு 100~300 கிமீ SiC குறைக்க முடியும் (இங்காட் கடினத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை உகப்பாக்கத்தைப் பொறுத்து).

(3) குறைந்த சேத செயலாக்கம்
விளிம்பு உடைப்பு: <15μm (பாரம்பரிய வெட்டு >50μm), வேஃபர் விளைச்சலை மேம்படுத்தவும்.

துணை மேற்பரப்பு சேத அடுக்கு: <5μm (மெருகூட்டல் அகற்றலைக் குறைக்கவும்).

(4) சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பு மற்றும் பொருளாதாரம்
மோட்டார் மாசுபாடு இல்லை: மோட்டார் வெட்டுதலுடன் ஒப்பிடும்போது கழிவு திரவத்தை அகற்றும் செலவுகள் குறைக்கப்பட்டன.

பொருள் பயன்பாடு: <100μm/ கட்டர் இழப்பைக் குறைத்தல், SiC மூலப்பொருட்களைச் சேமித்தல்.

வெட்டு விளைவு:

1. வேஃபர் தரம்: மேற்பரப்பில் மேக்ரோஸ்கோபிக் விரிசல்கள் இல்லை, சில நுண்ணிய குறைபாடுகள் (கட்டுப்படுத்தக்கூடிய இடப்பெயர்ச்சி நீட்டிப்பு). கரடுமுரடான மெருகூட்டல் இணைப்பில் நேரடியாக நுழையலாம், செயல்முறை ஓட்டத்தை குறைக்கலாம்.

2. நிலைத்தன்மை: தொகுப்பில் உள்ள வேஃபரின் தடிமன் விலகல் <±3%, தானியங்கி உற்பத்திக்கு ஏற்றது.

3.பொருந்தக்கூடிய தன்மை: 4H/6H-SiC இங்காட் வெட்டுதலை ஆதரிக்கிறது, கடத்தும்/அரை-காப்பிடப்பட்ட வகையுடன் இணக்கமானது.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்பு:

விவரக்குறிப்பு	விவரங்கள்
பரிமாணங்கள் (L × W × H)	2500x2300x2500 அல்லது தனிப்பயனாக்கு
செயலாக்கப் பொருளின் அளவு வரம்பு	4, 6, 8, 10, 12 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	ரா≤0.3u
சராசரி வெட்டு வேகம்	0.3மிமீ/நிமிடம்
எடை	5.5டி
வெட்டும் செயல்முறை அமைப்பு படிகள்	≤30 படிகள்
உபகரண சத்தம்	≤80 டெசிபல்
எஃகு கம்பி இழுவிசை	0~110N (0.25 கம்பி பதற்றம் 45N)
எஃகு கம்பி வேகம்	0~30மீ/வி
மொத்த சக்தி	50 கிலோவாட்
வைர கம்பி விட்டம்	≥0.18மிமீ
முடிவு தட்டையானது	≤0.05மிமீ
வெட்டுதல் மற்றும் உடைத்தல் விகிதம்	≤1% (மனித காரணங்கள், சிலிக்கான் பொருள், லைன், பராமரிப்பு மற்றும் பிற காரணங்கள் தவிர)

XKH சேவைகள்:

XKH சிலிக்கான் கார்பைடு வைர கம்பி வெட்டும் இயந்திரத்தின் முழு செயல்முறை சேவையையும் வழங்குகிறது, இதில் உபகரணங்கள் தேர்வு (கம்பி விட்டம்/கம்பி வேக பொருத்தம்), செயல்முறை மேம்பாடு (வெட்டும் அளவுரு உகப்பாக்கம்), நுகர்பொருட்கள் வழங்கல் (வைர கம்பி, வழிகாட்டி சக்கரம்) மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய ஆதரவு (உபகரண பராமரிப்பு, வெட்டு தர பகுப்பாய்வு) ஆகியவை அடங்கும், இது வாடிக்கையாளர்கள் அதிக மகசூலை (>95%), குறைந்த விலை SiC வேஃபர் வெகுஜன உற்பத்தியை அடைய உதவுகிறது. இது 4-8 வார முன்னணி நேரத்துடன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேம்படுத்தல்களையும் (மிக மெல்லிய வெட்டு, தானியங்கி ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் போன்றவை) வழங்குகிறது.