சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) வேஃபர் படகு

குறுகிய விளக்கம்:

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) வேஃபர் படகு என்பது உயர்-தூய்மை SiC பொருளால் ஆன ஒரு குறைக்கடத்தி செயல்முறை கேரியர் ஆகும், இது எபிடாக்ஸி, ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் அனீலிங் போன்ற முக்கியமான உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது வேஃபர்களைப் பிடித்து கொண்டு செல்ல வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

விரிவான வரைபடம்

குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியின் கண்ணோட்டம்

சக்தி குறைக்கடத்திகள் மற்றும் அகலமான பேண்ட்கேப் சாதனங்களின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், வழக்கமான குவார்ட்ஸ் படகுகள் அதிக வெப்பநிலையில் சிதைவு, கடுமையான துகள் மாசுபாடு மற்றும் குறுகிய சேவை வாழ்க்கை போன்ற வரம்புகளை எதிர்கொள்கின்றன. உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, குறைந்த மாசுபாடு மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றைக் கொண்ட SiC வேஃபர் படகுகள், குவார்ட்ஸ் படகுகளை அதிகளவில் மாற்றுகின்றன மற்றும் SiC சாதன உற்பத்தியில் விருப்பமான தேர்வாக மாறி வருகின்றன.

முக்கிய அம்சங்கள்

1. பொருள் நன்மைகள்

உயர் தூய்மை SiC இலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது உடன்அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வலிமை.
2700°C க்கு மேல் உருகுநிலை, குவார்ட்ஸை விட மிக அதிகம், தீவிர சூழல்களில் நீண்டகால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

2. வெப்ப பண்புகள்

விரைவான மற்றும் சீரான வெப்பப் பரிமாற்றத்திற்கான உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், வேஃபர் அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது.
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) SiC அடி மூலக்கூறுகளுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துகிறது, இதனால் வேஃபர் சாய்வு மற்றும் விரிசல் குறைகிறது.

3. வேதியியல் நிலைத்தன்மை

அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பல்வேறு வளிமண்டலங்களில் (H₂, N₂, Ar, NH₃, முதலியன) நிலையானது.
சிறந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, சிதைவு மற்றும் துகள் உருவாக்கத்தைத் தடுக்கிறது.

4. செயல்முறை செயல்திறன்

மென்மையான மற்றும் அடர்த்தியான மேற்பரப்பு துகள் உதிர்தல் மற்றும் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் சுமை திறனைப் பராமரிக்கிறது.

5. செலவுத் திறன்

குவார்ட்ஸ் படகுகளை விட 3-5 மடங்கு நீண்ட சேவை வாழ்க்கை.
குறைந்த பராமரிப்பு அதிர்வெண், செயலிழப்பு நேரம் மற்றும் மாற்று செலவுகளைக் குறைத்தல்.

பயன்பாடுகள்

SiC எபிடாக்ஸி: உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது 4-இன்ச், 6-இன்ச் மற்றும் 8-இன்ச் SiC அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கிறது.
மின் சாதன உற்பத்தி: SiC MOSFETகள், ஷாட்கி பேரியர் டையோட்கள் (SBDகள்), IGBTகள் மற்றும் பிற சாதனங்களுக்கு ஏற்றது.
வெப்ப சிகிச்சை: அனீலிங், நைட்ரைடேஷன் மற்றும் கார்பனேற்றம் செயல்முறைகள்.
ஆக்சிஜனேற்றம் & பரவல்: உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவலுக்கான நிலையான வேஃபர் ஆதரவு தளம்.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

பொருள்	விவரக்குறிப்பு
பொருள்	உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)
வேஃபர் அளவு	4-அங்குலம் / 6-அங்குலம் / 8-அங்குலம் (தனிப்பயனாக்கக்கூடியது)
அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை.	≤ 1800° செல்சியஸ்
வெப்ப விரிவாக்கம் CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (SiC அடி மூலக்கூறுக்கு அருகில்)
வெப்ப கடத்துத்திறன்	120–200 W/m·K
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	ரா < 0.2 μm
இணைநிலை	±0.1 மிமீ
சேவை வாழ்க்கை	குவார்ட்ஸ் படகுகளை விட ≥ 3× நீளம்

ஒப்பீடு: குவார்ட்ஸ் படகு vs. SiC படகு

பரிமாணம்	குவார்ட்ஸ் படகு	SiC படகு
வெப்பநிலை எதிர்ப்பு	≤ 1200°C, அதிக வெப்பநிலையில் உருமாற்றம்.	≤ 1800°C, வெப்ப ரீதியாக நிலையானது
SiC உடன் CTE பொருத்தம்	பெரிய பொருத்தமின்மை, வேஃபர் அழுத்தத்தின் ஆபத்து	நெருக்கமான பொருத்தம், வேஃபர் விரிசலைக் குறைக்கிறது
துகள் மாசுபாடு	அதிகமாக, அசுத்தங்களை உருவாக்குகிறது	குறைந்த, மென்மையான மற்றும் அடர்த்தியான மேற்பரப்பு
சேவை வாழ்க்கை	குறுகிய, அடிக்கடி மாற்றுதல்	நீண்ட, 3–5× நீண்ட ஆயுட்காலம்
பொருத்தமான செயல்முறை	வழக்கமான Si எபிடாக்ஸி	SiC எபிடாக்ஸி & பவர் சாதனங்களுக்கு உகந்ததாக்கப்பட்டது

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் - சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) வேஃபர் படகுகள்

1. SiC வேஃபர் படகு என்றால் என்ன?

SiC வேஃபர் படகு என்பது உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடால் ஆன ஒரு குறைக்கடத்தி செயல்முறை கேரியர் ஆகும். இது எபிடாக்ஸி, ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் அனீலிங் போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது வேஃபர்களைப் பிடித்து கொண்டு செல்லப் பயன்படுகிறது. பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC வேஃபர் படகுகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, குறைந்த மாசுபாடு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகின்றன.

2. குவார்ட்ஸ் படகுகளை விட SiC வேஃபர் படகுகளை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: குவார்ட்ஸ் (≤1200°C) உடன் ஒப்பிடும்போது 1800°C வரை நிலையானது.
சிறந்த CTE பொருத்தம்: SiC அடி மூலக்கூறுகளுக்கு அருகில், வேஃபர் அழுத்தம் மற்றும் விரிசலைக் குறைக்கிறது.
கீழ் துகள் உருவாக்கம்: மென்மையான, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது.
நீண்ட ஆயுட்காலம்: குவார்ட்ஸ் படகுகளை விட 3–5 மடங்கு நீளமானது, உரிமைச் செலவைக் குறைக்கிறது.

3. SiC வேஃபர் படகுகள் எந்த அளவுகளில் வேஃபர்களை ஆதரிக்க முடியும்?

நாங்கள் நிலையான வடிவமைப்புகளை வழங்குகிறோம்4-அங்குலம், 6-அங்குலம், மற்றும் 8-அங்குலம்வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முழு தனிப்பயனாக்கத்துடன் கூடிய வேஃபர்கள்.

4. SiC வேஃபர் படகுகள் பொதுவாக எந்த செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன?

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி
சக்தி குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தி (SiC MOSFETகள், SBDகள், IGBTகள்)
உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங், நைட்ரைடேஷன் மற்றும் கார்பனேற்றம்
ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகள்

எங்களை பற்றி

சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.