மிகத் துல்லியமான SiC காற்று தாங்கும் நிலை

அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் SiC ஏர்-பேரிங் ஸ்டேஜ் சிறப்பு படம்

குறுகிய விளக்கம்:

குறைக்கடத்தித் துறையின் தொடர்ச்சியான பரிணாம வளர்ச்சியுடன், செயலாக்கம் மற்றும் ஆய்வு உபகரணங்களுக்கு எப்போதும் இல்லாத அளவுக்கு அதிக செயல்திறன் தேவைப்படுகிறது. இயக்கக் கட்டுப்பாடு மற்றும் நானோமீட்டர்-நிலை நிலைப்படுத்தலில் விரிவான நிபுணத்துவத்தை உருவாக்கி, நாங்கள் ஒரு பிளானர் H-வகை இரட்டை-அச்சு அல்ட்ரா-துல்லிய காற்று-தாங்கி கட்டத்தை உருவாக்கியுள்ளோம்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

விரிவான வரைபடம்

கண்ணோட்டம்

வரையறுக்கப்பட்ட-உறுப்பு-உகந்த சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் அமைப்பு மற்றும் ஈடுசெய்யப்பட்ட காற்று-தாங்கி தொழில்நுட்பத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த மேடை, சிறந்த துல்லியம், விறைப்பு மற்றும் மாறும் பதிலை வழங்குகிறது. இது இதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது:

குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் மற்றும் ஆய்வு
நுண்/நானோ உற்பத்தி மற்றும் அளவியல்
நானோமீட்டர் அளவிலான ஈ-வெட்டுதல் மற்றும் மெருகூட்டல்
அதிவேக துல்லியமான ஸ்கேனிங்

முக்கிய அம்சங்கள்

SiC காற்று தாங்கும் வழிகாட்டி பாதைமிக உயர்ந்த விறைப்பு மற்றும் துல்லியத்திற்காக
உயர் இயக்கவியல்: 1 மீ/வி வரை வேகம், 4 கிராம் வரை முடுக்கம், விரைவான நிலைப்புத்தன்மை
இரட்டை-இயக்கி கேன்ட்ரி Y-அச்சுஅதிக சுமை திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது
என்கோடர் விருப்பங்கள்: ஆப்டிகல் கிரேட்டிங் அல்லது லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்
நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்: ±0.15 μm;மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை: ±75 நா.மீ.
உகந்த கேபிள் ரூட்டிங்சுத்தமான வடிவமைப்பு மற்றும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மைக்கு
தனிப்பயனாக்கக்கூடிய உள்ளமைவுகள்பயன்பாடு சார்ந்த தேவைகளுக்கு

மிகத் துல்லியமான வடிவமைப்பு & நேரடி இயக்கி, தொடர்பு இல்லாத கட்டமைப்பு

SiC பீங்கான் சட்டகம்: அலுமினிய கலவையின் ~5× விறைப்பு மற்றும் ~5× குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம், அதிவேக நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப வலிமையை உறுதி செய்கிறது.
ஈடுசெய்யப்பட்ட காற்று தாங்குதல்: தனியுரிம வடிவமைப்பு விறைப்பு, சுமை திறன் மற்றும் இயக்க நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
டைனமிக் செயல்திறன்: 1 மீ/வி வேகம் மற்றும் 4 கிராம் முடுக்கம் ஆகியவற்றை ஆதரிக்கிறது, அதிக செயல்திறன் செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது.
தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பு: அதிர்வு தனிமைப்படுத்தல் அமைப்புகள், சுழல் நிலைகள், சாய்வு தொகுதிகள் மற்றும் வேஃபர் கையாளுதல் தளங்களுடன் இணக்கமானது.
கேபிள் மேலாண்மை: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வளைக்கும் ஆரம் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கைக்கான அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது.

கோர்லெஸ் லீனியர் மோட்டார்: பூஜ்ஜிய கோகிங் விசையுடன் மென்மையான இயக்கம்.
பல மோட்டார் இயக்கி: சுமை-தள மோட்டார் பொருத்துதல் நேரான தன்மை, தட்டையான தன்மை மற்றும் கோண துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.
வெப்ப தனிமைப்படுத்தல்: மோட்டார்கள் மேடை அமைப்பிலிருந்து தனிமைப்படுத்தப்படுகின்றன; உயர்-கடமை சுழற்சிகளுக்கு விருப்ப காற்று அல்லது நீர் குளிரூட்டல்.

விவரக்குறிப்புகள்

மாதிரி	400-400	500-500	600-600
அச்சுகள்	X (ஸ்கேன்) / Y (படி)	X (ஸ்கேன்) / Y (படி)	X (ஸ்கேன்) / Y (படி)
பயணம் (மிமீ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
துல்லியம் (μm)	±0.15	±0.2 அளவு	±0.2 அளவு
மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மை (nm)	±75	±100 (முதல் மாதம்)	±100 (முதல் மாதம்)
தெளிவுத்திறன் (nm)	0.3	0.3	0.3
அதிகபட்ச வேகம் (மீ/வி)	1	1	1
முடுக்கம் (கிராம்)	4	4	4
நேர்கோட்டுத்தன்மை (μm)	±0.2 அளவு	±0.3 அளவு	±0.4
நிலைத்தன்மை (nm)	±5	±5	±5
அதிகபட்ச சுமை (கிலோ)	20	20	20
பிட்ச்/ரோல்/யா (வில்-வினாடி)	±1 (அ)	±1 (அ)	±1 (அ)

சோதனை நிபந்தனைகள்:

காற்று வழங்கல்: சுத்தமான, உலர்ந்த; பனி புள்ளி ≤ 0°F; துகள் வடிகட்டுதல் ≤ 0.25 μm; அல்லது 99.99% நைட்ரஜன்.
துல்லியம் 20±1 °C, 40–60% RH இல் நிலை மையத்திலிருந்து 25 மிமீ மேலே அளவிடப்பட்டது.

பயன்பாடுகள்

குறைக்கடத்தி லித்தோகிராஃபி, ஆய்வு மற்றும் வேஃபர் கையாளுதல்
நுண்/நானோ உற்பத்தி மற்றும் துல்லிய அளவியல்
உயர்நிலை ஒளியியல் உற்பத்தி மற்றும் இடைச்செருகல் அளவீடு
விண்வெளி மற்றும் மேம்பட்ட அறிவியல் ஆராய்ச்சி

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் - சிலிக்கான் கார்பைடு காற்று தாங்கும் நிலை

1. காற்று தாங்கும் நிலை என்றால் என்ன?

ஒரு காற்று தாங்கும் மேடை, மேடைக்கும் வழிகாட்டிப் பாதைக்கும் இடையில் அழுத்தப்பட்ட காற்றின் மெல்லிய படலத்தைப் பயன்படுத்தி,உராய்வற்ற, தேய்மானமற்ற மற்றும் மிகவும் மென்மையான இயக்கம்வழக்கமான இயந்திர தாங்கு உருளைகளைப் போலன்றி, இது ஸ்டிக்-ஸ்லிப்பை நீக்குகிறது, நானோமீட்டர்-நிலை துல்லியத்தை வழங்குகிறது மற்றும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை ஆதரிக்கிறது.

2. மேடை அமைப்புக்கு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஏன் பயன்படுத்த வேண்டும்?

அதிக விறைப்பு: ~5× அலுமினிய உலோகக் கலவை, டைனமிக் இயக்கத்தின் போது சிதைவைக் குறைக்கிறது.
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம்: அலுமினியத்தை விட ~5× குறைவாக, வெப்பநிலை மாறுபாடுகளின் கீழ் துல்லியத்தை பராமரிக்கிறது.
இலகுரக: எஃகுடன் ஒப்பிடும்போது குறைந்த அடர்த்தி, அதிவேக மற்றும் அதிவேக செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது.
சிறந்த நிலைத்தன்மை: மிகத் துல்லியமான நிலைப்பாட்டிற்கான உயர்ந்த தணிப்பு மற்றும் விறைப்பு.

3. மேடைக்கு உயவு அல்லது பராமரிப்பு தேவையா?

பாரம்பரிய லூப்ரிகேஷன் தேவையில்லை, ஏனெனில்இயந்திர தொடர்பு இல்லைபரிந்துரைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்கியது:

வழங்குதல்சுத்தமான, உலர்ந்த அழுத்தப்பட்ட காற்று அல்லது நைட்ரஜன்
வடிகட்டிகள் மற்றும் உலர்த்திகளை அவ்வப்போது ஆய்வு செய்தல்.
கேபிள்கள் மற்றும் குளிரூட்டும் அமைப்புகளைக் கண்காணித்தல்

4. காற்று விநியோகத் தேவைகள் என்ன?

பனிப்புள்ளி: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
துகள் வடிகட்டுதல்: ≤ 0.25 μm
சுத்தமான, வறண்ட காற்று அல்லது 99.99% தூய நைட்ரஜன்
குறைந்தபட்ச ஏற்ற இறக்கங்களுடன் நிலையான அழுத்தம்

எங்களை பற்றி

சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.