150மிமீ 200மிமீ 6இஞ்ச் 8இஞ்ச் கேஎன் சிலிக்கான் எபி-லேயர் செதில் காலியம் நைட்ரைடு எபிடாக்சியல் வேஃபர்
உற்பத்தி முறை
உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) அல்லது மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) போன்ற மேம்பட்ட நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி சபையர் அடி மூலக்கூறில் GaN அடுக்குகளை வளர்ப்பதை உற்பத்தி செயல்முறை உள்ளடக்கியது. உயர் படிக தரம் மற்றும் சீரான படத்தை உறுதி செய்வதற்காக படிவு செயல்முறை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நிலைமைகளின் கீழ் மேற்கொள்ளப்படுகிறது.
6inch GaN-On-Sapphire பயன்பாடுகள்: 6-inch sapphire substrate சில்லுகள் மைக்ரோவேவ் கம்யூனிகேஷன்ஸ், ரேடார் அமைப்புகள், வயர்லெஸ் டெக்னாலஜி மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
சில பொதுவான பயன்பாடுகள் அடங்கும்
1. Rf சக்தி பெருக்கி
2. LED விளக்கு தொழில்
3. வயர்லெஸ் நெட்வொர்க் தொடர்பு உபகரணங்கள்
4. அதிக வெப்பநிலை சூழலில் மின்னணு சாதனங்கள்
5. ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகள்
- அளவு: அடி மூலக்கூறு விட்டம் 6 அங்குலம் (சுமார் 150 மிமீ).
- மேற்பரப்பு தரம்: சிறந்த கண்ணாடி தரத்தை வழங்க மேற்பரப்பு நன்றாக மெருகூட்டப்பட்டுள்ளது.
- தடிமன்: GaN லேயரின் தடிமன் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.
- பேக்கேஜிங்: போக்குவரத்தின் போது சேதத்தைத் தடுக்க அடி மூலக்கூறு ஆன்டி-ஸ்டேடிக் பொருட்களால் கவனமாக நிரம்பியுள்ளது.
- நிலைப்படுத்தல் விளிம்புகள்: அடி மூலக்கூறு குறிப்பிட்ட நிலைப்படுத்தல் விளிம்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது சாதனம் தயாரிப்பின் போது சீரமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டை எளிதாக்குகிறது.
- பிற அளவுருக்கள்: மெல்லிய தன்மை, எதிர்ப்புத்திறன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு போன்ற குறிப்பிட்ட அளவுருக்கள் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப சரிசெய்யப்படலாம்.
அவற்றின் உயர்ந்த பொருள் பண்புகள் மற்றும் பல்வேறு பயன்பாடுகளுடன், 6-இன்ச் சபையர் அடி மூலக்கூறு செதில்கள் பல்வேறு தொழில்களில் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்க நம்பகமான தேர்வாகும்.
அடி மூலக்கூறு | 6” 1மிமீ <111> p-வகை Si | 6” 1மிமீ <111> p-வகை Si |
Epi ThickAvg | ~5um | ~7um |
எபி திக்யூனிஃப் | <2% | <2% |
வில் | +/-45um | +/-45um |
விரிசல் | <5மிமீ | <5மிமீ |
செங்குத்து பி.வி | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT தடிமன் | 20-30 நா.மீ | 20-30 நா.மீ |
Insitu SiN கேப் | 5-60 நா.மீ | 5-60 நா.மீ |
2DEG conc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
இயக்கம் | ~2000செ.மீ2/Vs (<2%) | ~2000செ.மீ2/Vs (<2%) |
ரூ | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |