MOS அல்லது SBD உற்பத்தி ஆராய்ச்சி மற்றும் போலி தரத்திற்கான 6 அங்குல 150மிமீ சிலிக்கான் கார்பைடு SiC வேஃபர்கள் 4H-N வகை
விண்ணப்பப் புலங்கள்
6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு பல தொழில்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. முதலாவதாக, இது குறைக்கடத்தித் துறையில் பவர் டிரான்சிஸ்டர்கள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் பவர் தொகுதிகள் போன்ற உயர்-சக்தி மின்னணு சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு சிறந்த வெப்பச் சிதறலை செயல்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக மேம்பட்ட செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஏற்படுகிறது. இரண்டாவதாக, புதிய பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் வளர்ச்சிக்கு ஆராய்ச்சித் துறைகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர்கள் அவசியம். கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் LEDகள் மற்றும் லேசர் டையோட்களின் உற்பத்தி உட்பட ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் விரிவான பயன்பாடுகளைக் காண்கிறது.
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகள்
6-அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு 6 அங்குல விட்டம் (தோராயமாக 152.4 மிமீ) கொண்டது. மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra < 0.5 nm, மற்றும் தடிமன் 600 ± 25 μm ஆகும். வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில், அடி மூலக்கூறை N-வகை அல்லது P-வகை கடத்துத்திறன் மூலம் தனிப்பயனாக்கலாம். மேலும், இது விதிவிலக்கான இயந்திர நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, அழுத்தம் மற்றும் அதிர்வுகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது.
விட்டம் | 150±2.0மிமீ(6அங்குலம்) | ||||
தடிமன் | 350 μm±25μm | ||||
நோக்குநிலை | அச்சில்: <0001>±0.5° | அச்சிற்கு வெளியே: 4.0° 1120±0.5° நோக்கி | |||
பாலிடைப் | 4H | ||||
மின்தடை (Ω·செ.மீ) | 4எச்-என் | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6எச்-எஸ்ஐ | >1E5 | ||||
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை | {10-10}±5.0° | ||||
முதன்மை தட்டையான நீளம் (மிமீ) | 47.5 மிமீ±2.5 மிமீ | ||||
விளிம்பு | சேம்பர் | ||||
டிடிவி/வில்/வார்ப் (உம்) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM முன்பக்கம் (Si-face) | போலிஷ் Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
எல்டிவி | ≤3μm(10மிமீ*10மிமீ) | ≤5μm(10மிமீ*10மிமீ) | ≤10μm(10மிமீ*10மிமீ) | ||
டிடிவி | ≤5μm மீ | ≤10μm மீ | ≤15μm மீ | ||
ஆரஞ்சு தோல்/குழிகள்/பிளவுகள்/மாசுபாடு/கறைகள்/கோடுகள் | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | ||
உள்தள்ளல்கள் | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை | யாரும் இல்லை |
6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு என்பது குறைக்கடத்தி, ஆராய்ச்சி மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும். இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது உயர்-சக்தி மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் புதிய பொருள் ஆராய்ச்சியின் உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. பல்வேறு வாடிக்கையாளர் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்க விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர்கள் பற்றிய கூடுதல் விவரங்களுக்கு எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்!
விரிவான வரைபடம்

