MOS அல்லது SBD உற்பத்தி ஆராய்ச்சி மற்றும் போலி தரத்திற்கான 6 இன்ச் 150 மிமீ சிலிக்கான் கார்பைடு SiC வேஃபர்ஸ் 4H-N வகை

MOS அல்லது SBD தயாரிப்பு ஆராய்ச்சிக்கான 6 இன்ச் 150மிமீ சிலிக்கான் கார்பைடு SiC வேஃபர்ஸ் 4H-N வகை மற்றும் டம்மி தர சிறப்புப் படம்

சுருக்கமான விளக்கம்:

6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளுடன் கூடிய உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும். உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகப் பொருளில் இருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. துல்லியமான உற்பத்தி செயல்முறைகள் மற்றும் உயர்தர பொருட்களால் செய்யப்பட்ட இந்த அடி மூலக்கூறு, பல்வேறு துறைகளில் அதிக திறன் கொண்ட மின்னணு சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கு விருப்பமான பொருளாக மாறியுள்ளது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

பயன்பாட்டு புலங்கள்

6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு பல தொழில்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. முதலாவதாக, பவர் டிரான்சிஸ்டர்கள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் மின் தொகுதிகள் போன்ற உயர்-சக்தி மின்னணு சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்காக குறைக்கடத்தி துறையில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு ஆகியவை சிறந்த வெப்பச் சிதறலை செயல்படுத்துகின்றன, இதன் விளைவாக மேம்பட்ட செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை. இரண்டாவதாக, புதிய பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களை உருவாக்க ஆராய்ச்சி துறைகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் அவசியம். கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் எல்.ஈ.டி மற்றும் லேசர் டையோட்களின் உற்பத்தி உட்பட ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் விரிவான பயன்பாடுகளைக் காண்கிறது.

தயாரிப்பு விவரக்குறிப்புகள்

6 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு 6 அங்குல விட்டம் (தோராயமாக 152.4 மிமீ) கொண்டது. மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra <0.5 nm, மற்றும் தடிமன் 600 ± 25 μm ஆகும். வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில் அடி மூலக்கூறு N-வகை அல்லது P-வகை கடத்துத்திறன் மூலம் தனிப்பயனாக்கப்படலாம். மேலும், இது விதிவிலக்கான இயந்திர நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, அழுத்தம் மற்றும் அதிர்வுகளை தாங்கும் திறன் கொண்டது.

விட்டம்		150±2.0மிமீ (6 இன்ச்)
தடிமன்		350 μm±25μm
நோக்குநிலை		அச்சில்: <0001>±0.5°		ஆஃப் அச்சு: 4.0° நோக்கி 1120±0.5°
பாலிடைப்		4H
எதிர்ப்பாற்றல்(Ω·cm)	4H-N	0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm
	4/6H-SI	>1E5
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை		{10-10}±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம் (மிமீ)		47.5 மிமீ ± 2.5 மிமீ
விளிம்பு		சேம்ஃபர்
TTV/Bow/Warp (um)		≤15 /≤40 /≤60
AFM முன் (Si-face)		போலிஷ் Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
எல்டிவி		≤3μm(10mm*10mm)	≤5μm(10mm*10mm)		≤10μm(10mm*10mm)
டிடிவி		≤5μm	≤10μm		≤15μm
ஆரஞ்சு தலாம்/குழிகள்/விரிசல்கள்/மாசுகள்/கறைகள்/கோடுகள்		இல்லை	இல்லை		இல்லை
உள்தள்ளல்கள்		இல்லை	இல்லை		இல்லை

6-இன்ச் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறு என்பது செமிகண்டக்டர், ஆராய்ச்சி மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருளாகும். இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது அதிக சக்தி கொண்ட மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் புதிய பொருள் ஆராய்ச்சிக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. பல்வேறு வாடிக்கையாளர் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு குறிப்புகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் பற்றிய கூடுதல் விவரங்களுக்கு எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்!