சபையர் SiC Si க்கான அயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரம்

குறுகிய விளக்கம்:

அயன் பீம் ஃபிகரிங் மற்றும் பாலிஷிங் இயந்திரம் இதன் கொள்கையை அடிப்படையாகக் கொண்டதுஅயன் ஸ்பட்டரிங்ஒரு உயர்-வெற்றிட அறைக்குள், ஒரு அயனி மூலமானது பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது, இது உயர்-ஆற்றல் அயனி கற்றையாக முடுக்கிவிடப்படுகிறது. இந்த கற்றை ஒளியியல் கூறுகளின் மேற்பரப்பைத் தாக்கி, அணு அளவில் உள்ள பொருளை அகற்றி, மிகத் துல்லியமான மேற்பரப்பு திருத்தம் மற்றும் முடித்தலை அடைகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

விரிவான வரைபடம்

அயன் பீம் பாலிஷிங் இயந்திரத்தின் தயாரிப்பு கண்ணோட்டம்

அயன் கற்றை உருவகப்படுத்துதல் மற்றும் மெருகூட்டல் இயந்திரம் அயன் தெளித்தல் கொள்கையை அடிப்படையாகக் கொண்டது. ஒரு உயர்-வெற்றிட அறைக்குள், ஒரு அயனி மூலமானது பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது, இது உயர் ஆற்றல் அயன் கற்றையாக முடுக்கிவிடப்படுகிறது. இந்த கற்றை ஒளியியல் கூறுகளின் மேற்பரப்பைத் தாக்கி, அணு அளவில் உள்ள பொருளை அகற்றி, மிகத் துல்லியமான மேற்பரப்பு திருத்தம் மற்றும் முடித்தலை அடைகிறது.

தொடர்பு இல்லாத செயல்முறையாக, அயன் கற்றை மெருகூட்டல் இயந்திர அழுத்தத்தை நீக்குகிறது மற்றும் நிலத்தடி சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது, இது வானியல், விண்வெளி, குறைக்கடத்திகள் மற்றும் மேம்பட்ட ஆராய்ச்சி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-துல்லிய ஒளியியலை உற்பத்தி செய்வதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

அயன் கற்றை பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை

அயன் தலைமுறை
மந்த வாயு (எ.கா., ஆர்கான்) வெற்றிட அறைக்குள் செலுத்தப்பட்டு, மின் வெளியேற்றத்தின் மூலம் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு பிளாஸ்மா உருவாகிறது.

முடுக்கம் & பீம் உருவாக்கம்
அயனிகள் பல நூறு அல்லது ஆயிரம் எலக்ட்ரான் வோல்ட்டுகளுக்கு (eV) முடுக்கிவிடப்பட்டு, ஒரு நிலையான, கவனம் செலுத்தப்பட்ட கற்றை இடமாக வடிவமைக்கப்படுகின்றன.

பொருள் அகற்றுதல்
வேதியியல் எதிர்வினைகளைத் தொடங்காமல், அயனி கற்றை மேற்பரப்பில் இருந்து அணுக்களை உடல் ரீதியாக வெளியேற்றுகிறது.

பிழை கண்டறிதல் & பாதை திட்டமிடல்
மேற்பரப்பு உருவ விலகல்கள் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரி மூலம் அளவிடப்படுகின்றன. இருப்பிட நேரங்களைத் தீர்மானிக்கவும் உகந்த கருவி பாதைகளை உருவாக்கவும் அகற்றுதல் செயல்பாடுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

மூடிய-லூப் திருத்தம்
RMS/PV துல்லிய இலக்குகள் அடையும் வரை செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டின் தொடர்ச்சியான சுழற்சிகள் தொடரும்.

அயன் பீம் பாலிஷிங் இயந்திரத்தின் முக்கிய அம்சங்கள்

உலகளாவிய மேற்பரப்பு இணக்கத்தன்மை- தட்டையான, கோள வடிவ, கோள வடிவ மற்றும் ஃப்ரீஃபார்ம் மேற்பரப்புகளைச் செயலாக்குகிறது.

அல்ட்ரா-ஸ்டேபிள் நீக்குதல் விகிதம்– துணை-நானோமீட்டர் எண்ணிக்கை திருத்தத்தை இயக்குகிறது

சேதமில்லாத செயலாக்கம்- நிலத்தடி குறைபாடுகள் அல்லது கட்டமைப்பு மாற்றங்கள் இல்லை.

நிலையான செயல்திறன்- மாறுபட்ட கடினத்தன்மை கொண்ட பொருட்களில் சமமாக நன்றாக வேலை செய்கிறது.

குறைந்த/நடுத்தர அதிர்வெண் திருத்தம்- நடுத்தர/உயர் அதிர்வெண் கலைப்பொருட்களை உருவாக்காமல் பிழைகளை நீக்குகிறது.

குறைந்த பராமரிப்பு தேவை- குறைந்தபட்ச செயலிழப்பு நேரத்துடன் நீண்ட தொடர்ச்சியான செயல்பாடு.

அயன் பீம் பாலிஷிங் இயந்திரத்தின் முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

பொருள்	விவரக்குறிப்பு
செயலாக்க முறை	அதிக வெற்றிட சூழலில் அயன் சிதறல்
செயலாக்க வகை	தொடுதல் இல்லாத மேற்பரப்பு உருவமைப்பு & மெருகூட்டல்
அதிகபட்ச பணிப்பகுதி அளவு	Φ4000 மிமீ
இயக்க அச்சுகள்	3-அச்சு / 5-அச்சு
அகற்றுதல் நிலைத்தன்மை	≥95%
மேற்பரப்பு துல்லியம்	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (வழக்கமான RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
அதிர்வெண் சரிசெய்தல் திறன்	நடுத்தர/உயர் அதிர்வெண் பிழைகளை அறிமுகப்படுத்தாமல் குறைந்த–நடுத்தர அதிர்வெண் பிழைகளை நீக்குகிறது.
தொடர்ச்சியான செயல்பாடு	வெற்றிட பராமரிப்பு இல்லாமல் 3–5 வாரங்கள்
பராமரிப்பு செலவு	குறைந்த

அயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரத்தின் செயலாக்க திறன்கள்

ஆதரிக்கப்படும் மேற்பரப்பு வகைகள்

எளிமையானது: தட்டையானது, கோளமானது, ப்ரிஸம்

சிக்கலானது: சமச்சீர்/சமச்சீரற்ற கோளம், அச்சுக்கு வெளியே கோளம், உருளை வடிவமானது

சிறப்பு: மிக மெல்லிய ஒளியியல், ஸ்லேட் ஒளியியல், அரைக்கோள ஒளியியல், இணக்க ஒளியியல், கட்டத் தகடுகள், ஃப்ரீஃபார்ம் மேற்பரப்புகள்

ஆதரிக்கப்படும் பொருட்கள்

ஆப்டிகல் கண்ணாடி: குவார்ட்ஸ், மைக்ரோகிரிஸ்டலின், K9, முதலியன.

அகச்சிவப்பு பொருட்கள்: சிலிக்கான், ஜெர்மானியம், முதலியன.

உலோகங்கள்: அலுமினியம், துருப்பிடிக்காத எஃகு, டைட்டானியம் அலாய், முதலியன.

படிகங்கள்: YAG, ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் கார்பைடு, முதலியன.

கடினமான/உடையக்கூடிய பொருட்கள்: சிலிக்கான் கார்பைடு, முதலியன.

மேற்பரப்பு தரம் / துல்லியம்

பி.வி < 10 நா.மீ.

ஆர்.எம்.எஸ் ≤ 0.5 நா.மீ.

அயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரத்தின் செயலாக்க வழக்கு ஆய்வுகள்

வழக்கு 1 - நிலையான பிளாட் மிரர்

வேலைப்பொருள்: D630 மிமீ குவார்ட்ஸ் பிளாட்

முடிவு: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

வழக்கு 2 - எக்ஸ்-ரே பிரதிபலிப்பு கண்ணாடி

வேலைப் பகுதி: 150 × 30 மிமீ சிலிக்கான் பிளாட்

முடிவு: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; சாய்வு 0.13 µrad

வழக்கு 3 - ஆஃப்-ஆக்சிஸ் மிரர்

வேலைப்பொருள்: D326 மிமீ ஆஃப்-அச்சு தரை கண்ணாடி

முடிவு: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

குவார்ட்ஸ் கண்ணாடிகள் அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் - அயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரம்

Q1: அயன் கற்றை பாலிஷ் செய்வது என்றால் என்ன?
எ 1:அயன் கற்றை மெருகூட்டல் என்பது தொடர்பு இல்லாத செயல்முறையாகும், இது ஒரு பணிப்பொருள் மேற்பரப்பில் இருந்து பொருளை அகற்ற அயனிகளின் குவிமையப்படுத்தப்பட்ட கற்றை (ஆர்கான் அயனிகள் போன்றவை) பயன்படுத்துகிறது. அயனிகள் துரிதப்படுத்தப்பட்டு மேற்பரப்பை நோக்கி செலுத்தப்படுகின்றன, இதனால் அணு-நிலை பொருள் அகற்றப்படுகிறது, இதன் விளைவாக மிக மென்மையான பூச்சுகள் ஏற்படுகின்றன. இந்த செயல்முறை இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் நிலத்தடி சேதத்தை நீக்குகிறது, இது துல்லியமான ஒளியியல் கூறுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

கேள்வி 2: அயன் பீம் பாலிஷிங் இயந்திரம் எந்த வகையான மேற்பரப்புகளை செயலாக்க முடியும்?
A2:திஅயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரம்எளிய ஒளியியல் கூறுகள் உட்பட பல்வேறு மேற்பரப்புகளை செயலாக்க முடியும்தட்டையானவை, கோளங்கள் மற்றும் ப்ரிஸங்கள், அத்துடன் சிக்கலான வடிவியல் போன்றவைகோளங்கள், அச்சுக்கு அப்பாற்பட்ட கோளங்கள், மற்றும்ஃப்ரீஃபார்ம் மேற்பரப்புகள். இது குறிப்பாக ஆப்டிகல் கண்ணாடி, அகச்சிவப்பு ஒளியியல், உலோகங்கள் மற்றும் கடினமான/உடையக்கூடிய பொருட்கள் போன்ற பொருட்களில் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

Q3: அயன் பீம் பாலிஷிங் இயந்திரம் எந்தெந்த பொருட்களுடன் வேலை செய்ய முடியும்?
A3:திஅயன் பீம் பாலிஷ் செய்யும் இயந்திரம்பின்வருவன உட்பட பல்வேறு வகையான பொருட்களை மெருகூட்ட முடியும்:

ஆப்டிகல் கண்ணாடி: குவார்ட்ஸ், மைக்ரோகிரிஸ்டலின், K9, முதலியன.
அகச்சிவப்பு பொருட்கள்: சிலிக்கான், ஜெர்மானியம், முதலியன.
உலோகங்கள்: அலுமினியம், துருப்பிடிக்காத எஃகு, டைட்டானியம் அலாய், முதலியன.
படிகப் பொருட்கள்: YAG, ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் கார்பைடு, முதலியன.
பிற கடினமான/உடையக்கூடிய பொருட்கள்: சிலிக்கான் கார்பைடு, முதலியன.

எங்களை பற்றி

சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.