சிலிக்கான் கார்பைடு அறிமுகம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) என்பது கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் ஆகியவற்றால் ஆன ஒரு கலவை குறைக்கடத்தி பொருளாகும், இது அதிக வெப்பநிலை, அதிக அதிர்வெண், அதிக சக்தி மற்றும் உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கான சிறந்த பொருட்களில் ஒன்றாகும்.பாரம்பரிய சிலிக்கான் பொருளுடன் (Si) ஒப்பிடும்போது, சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பேண்ட் இடைவெளி சிலிக்கானை விட 3 மடங்கு அதிகம்.வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 4-5 மடங்கு;முறிவு மின்னழுத்தம் சிலிக்கானை விட 8-10 மடங்கு;எலக்ட்ரானிக் செறிவூட்டல் சறுக்கல் விகிதம் சிலிக்கானை விட 2-3 மடங்கு ஆகும், இது நவீன தொழில்துறையின் உயர் சக்தி, உயர் மின்னழுத்தம் மற்றும் அதிக அதிர்வெண் ஆகியவற்றின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.இது முக்கியமாக அதிவேக, அதிக அதிர்வெண், அதிக சக்தி மற்றும் ஒளி-உமிழும் மின்னணு கூறுகளின் உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.கீழ்நிலை பயன்பாட்டுப் புலங்களில் ஸ்மார்ட் கிரிட், புதிய ஆற்றல் வாகனங்கள், ஒளிமின்னழுத்த காற்றாலை சக்தி, 5G தொடர்பு போன்றவை அடங்கும். சிலிக்கான் கார்பைடு டையோட்கள் மற்றும் MOSFETகள் வணிக ரீதியாகப் பயன்படுத்தப்பட்டுள்ளன.
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு.சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பேண்ட் இடைவெளி அகலம் சிலிக்கானை விட 2-3 மடங்கு அதிகம், எலக்ட்ரான்கள் அதிக வெப்பநிலையில் மாறுவது எளிதானது அல்ல, மேலும் அதிக இயக்க வெப்பநிலையைத் தாங்கும், மேலும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட 4-5 மடங்கு அதிகம், சாதனத்தின் வெப்பச் சிதறலை எளிதாக்குகிறது மற்றும் வரம்பு இயக்க வெப்பநிலை அதிகமாகும்.அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு சக்தி அடர்த்தியை கணிசமாக அதிகரிக்கும் அதே வேளையில் குளிரூட்டும் அமைப்பில் தேவைகளை குறைக்கிறது, முனையத்தை இலகுவாகவும் சிறியதாகவும் ஆக்குகிறது.
அதிக அழுத்தத்தைத் தாங்கும்.சிலிக்கான் கார்பைட்டின் முறிவு மின்சார புல வலிமை சிலிக்கானை விட 10 மடங்கு அதிகமாகும், இது அதிக மின்னழுத்தங்களை தாங்கக்கூடியது மற்றும் உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
உயர் அதிர்வெண் எதிர்ப்பு.சிலிக்கான் கார்பைடு சிலிக்கானை விட இரு மடங்கு நிறைவுற்ற எலக்ட்ரான் சறுக்கல் விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது, இதன் விளைவாக பணிநிறுத்தம் செயல்பாட்டின் போது மின்னோட்டம் இல்லாதது, இது சாதனத்தின் மாறுதல் அதிர்வெண்ணை திறம்பட மேம்படுத்துவதோடு சாதனத்தின் சிறியமயமாக்கலை உணரவும் முடியும்.
குறைந்த ஆற்றல் இழப்பு.சிலிக்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடுகையில், சிலிக்கான் கார்பைடு மிகக் குறைந்த எதிர்ப்புத் திறன் மற்றும் குறைந்த இழப்பைக் கொண்டுள்ளது.அதே நேரத்தில், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் அதிக பேண்ட்-இடை அகலம் கசிவு மின்னோட்டத்தையும் மின் இழப்பையும் வெகுவாகக் குறைக்கிறது.கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனம் பணிநிறுத்தம் செயல்பாட்டின் போது தற்போதைய பின்தங்கிய நிகழ்வு இல்லை, மேலும் மாறுதல் இழப்பு குறைவாக உள்ளது.
சிலிக்கான் கார்பைடு தொழில் சங்கிலி
இது முக்கியமாக அடி மூலக்கூறு, எபிடாக்ஸி, சாதன வடிவமைப்பு, உற்பத்தி, சீல் மற்றும் பலவற்றை உள்ளடக்கியது.சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளில் இருந்து குறைக்கடத்தி சக்தி சாதனம் ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, இங்காட் ஸ்லைசிங், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, செதில் வடிவமைப்பு, உற்பத்தி, பேக்கேஜிங் மற்றும் பிற செயல்முறைகளை அனுபவிக்கும்.சிலிக்கான் கார்பைடு தூளின் தொகுப்புக்குப் பிறகு, சிலிக்கான் கார்பைடு இங்காட் முதலில் தயாரிக்கப்படுகிறது, பின்னர் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு வெட்டுதல், அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல் மூலம் பெறப்படுகிறது, மேலும் எபிடாக்சியல் தாள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியால் பெறப்படுகிறது.எபிடாக்சியல் வேஃபர் சிலிக்கான் கார்பைடால் லித்தோகிராபி, எச்சிங், அயன் இம்ப்லாண்டேஷன், மெட்டல் பாஸிவேஷன் மற்றும் பிற செயல்முறைகள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, செதில் டையாக வெட்டப்பட்டு, சாதனம் தொகுக்கப்பட்டு, சாதனம் ஒரு சிறப்பு ஷெல்லுடன் இணைக்கப்பட்டு ஒரு தொகுதியாக இணைக்கப்படுகிறது.
தொழில் சங்கிலியின் அப்ஸ்ட்ரீம் 1: அடி மூலக்கூறு - படிக வளர்ச்சி என்பது முக்கிய செயல்முறை இணைப்பு
சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் விலையில் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு சுமார் 47% ஆகும், மிக உயர்ந்த உற்பத்தி தொழில்நுட்ப தடைகள், மிகப்பெரிய மதிப்பு, எதிர்காலத்தில் SiC இன் பெரிய அளவிலான தொழில்மயமாக்கலின் மையமாகும்.
மின் வேதியியல் பண்பு வேறுபாடுகளின் கண்ணோட்டத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு பொருட்களை கடத்தும் அடி மூலக்கூறுகளாகவும் (எதிர்ப்பு மண்டலம் 15~30mΩ·cm) மற்றும் அரை-இன்சுலேட்டட் அடி மூலக்கூறுகளாகவும் (105Ω·cm க்கும் அதிகமான மின்தடை) பிரிக்கலாம்.எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்குப் பிறகு முறையே சக்தி சாதனங்கள் மற்றும் ரேடியோ அதிர்வெண் சாதனங்கள் போன்ற தனித்துவமான சாதனங்களைத் தயாரிக்க இந்த இரண்டு வகையான அடி மூலக்கூறுகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.அவற்றில், அரை-இன்சுலேட்டட் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு முக்கியமாக காலியம் நைட்ரைடு RF சாதனங்கள், ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்கள் மற்றும் பலவற்றின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.அரை-இன்சுலேட்டட் SIC அடி மூலக்கூறில் gan epitaxial அடுக்கை வளர்ப்பதன் மூலம், sic எபிடாக்சியல் தட்டு தயாரிக்கப்படுகிறது, இது HEMT gan iso-nitride RF சாதனங்களில் மேலும் தயாரிக்கப்படலாம்.மின்கடத்தா சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு முக்கியமாக சக்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.பாரம்பரிய சிலிக்கான் பவர் சாதன உற்பத்தி செயல்முறையிலிருந்து வேறுபட்டது, சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறில் சிலிக்கான் கார்பைடு சக்தி சாதனத்தை நேரடியாக உருவாக்க முடியாது, சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் தாள் மற்றும் எபிடாக்சியல் தாள் பெற கடத்தும் அடி மூலக்கூறில் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் லேயரை வளர்க்க வேண்டும். அடுக்கு ஷாட்கி டையோடு, MOSFET, IGBT மற்றும் பிற சக்தி சாதனங்களில் தயாரிக்கப்படுகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு தூள் உயர் தூய்மை கார்பன் பவுடர் மற்றும் உயர் தூய்மை சிலிக்கான் தூள் ஆகியவற்றிலிருந்து ஒருங்கிணைக்கப்பட்டது, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு இங்காட்டின் வெவ்வேறு அளவுகள் சிறப்பு வெப்பநிலை புலத்தின் கீழ் வளர்க்கப்பட்டன, பின்னர் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு பல செயலாக்க செயல்முறைகள் மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது.முக்கிய செயல்முறை அடங்கும்:
மூலப்பொருள் தொகுப்பு: உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் பவுடர் + டோனர் சூத்திரத்தின்படி கலக்கப்படுகிறது, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு துகள்களை குறிப்பிட்ட படிக வகை மற்றும் துகள்களுடன் ஒருங்கிணைக்க 2000°Cக்கு மேல் உள்ள உயர் வெப்பநிலை நிலையில் எதிர்வினை அறையில் எதிர்வினை மேற்கொள்ளப்படுகிறது. அளவு.பின்னர் நசுக்குதல், திரையிடுதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பிற செயல்முறைகள் மூலம், உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு தூள் மூலப்பொருட்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
படிக வளர்ச்சி என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு உற்பத்தியின் முக்கிய செயல்முறையாகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறின் மின் பண்புகளை தீர்மானிக்கிறது.தற்போது, படிக வளர்ச்சிக்கான முக்கிய முறைகள் உடல் நீராவி பரிமாற்றம் (PVT), அதிக வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (HT-CVD) மற்றும் திரவ நிலை எபிடாக்ஸி (LPE) ஆகும்.அவற்றில், PVT முறையானது தற்போது SiC அடி மூலக்கூறின் வணிக வளர்ச்சிக்கான முக்கிய முறையாகும், இது அதிக தொழில்நுட்ப முதிர்ச்சியுடன் மற்றும் பொறியியலில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
SiC அடி மூலக்கூறைத் தயாரிப்பது கடினம், இது அதன் அதிக விலைக்கு வழிவகுக்கிறது
வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடு கடினமானது: Si படிகக் கம்பியின் வளர்ச்சிக்கு 1500℃ மட்டுமே தேவைப்படுகிறது, அதே சமயம் SiC படிகக் கம்பியை 2000℃க்கு மேல் அதிக வெப்பநிலையில் வளர்க்க வேண்டும், மேலும் 250க்கும் மேற்பட்ட SiC ஐசோமர்கள் உள்ளன, ஆனால் முக்கிய 4H-SiC ஒற்றைப் படிக அமைப்பு சக்தி சாதனங்களின் உற்பத்தி, துல்லியமான கட்டுப்பாடு இல்லையென்றால், மற்ற படிக அமைப்புகளைப் பெறும்.கூடுதலாக, க்ரூசிபிளில் உள்ள வெப்பநிலை சாய்வு SiC பதங்கமாதல் பரிமாற்ற வீதம் மற்றும் படிக இடைமுகத்தில் வாயு அணுக்களின் ஏற்பாடு மற்றும் வளர்ச்சி முறை ஆகியவற்றை தீர்மானிக்கிறது, இது படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் படிக தரத்தை பாதிக்கிறது, எனவே முறையான வெப்பநிலை புலத்தை உருவாக்குவது அவசியம். கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பம்.Si பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC உற்பத்தியில் உள்ள வேறுபாடு உயர் வெப்பநிலை அயனி பொருத்துதல், உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம், உயர் வெப்பநிலை செயல்படுத்தல் மற்றும் இந்த உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு தேவைப்படும் கடினமான முகமூடி செயல்முறை போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளிலும் உள்ளது.
மெதுவான படிக வளர்ச்சி: Si படிகக் கம்பியின் வளர்ச்சி விகிதம் 30 ~ 150mm/h ஐ எட்டும், மேலும் 1-3m சிலிக்கான் படிகக் கம்பியின் உற்பத்தி 1 நாள் மட்டுமே ஆகும்;உதாரணமாக PVT முறையுடன் கூடிய SiC படிகக் கம்பி, வளர்ச்சி விகிதம் சுமார் 0.2-0.4mm/h, 3-6cm க்கும் குறைவாக வளர 7 நாட்கள், சிலிக்கான் பொருளின் வளர்ச்சி விகிதம் 1% க்கும் குறைவாக உள்ளது, உற்பத்தி திறன் மிகவும் அதிகமாக உள்ளது. வரையறுக்கப்பட்ட.
உயர் தயாரிப்பு அளவுருக்கள் மற்றும் குறைந்த மகசூல்: SiC அடி மூலக்கூறின் முக்கிய அளவுருக்களில் நுண்குழாய் அடர்த்தி, இடப்பெயர்வு அடர்த்தி, மின்தடை, போர்ப்பக்கம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை போன்றவை அடங்கும். இது ஒரு மூடிய உயர் வெப்பநிலை அறையில் அணுக்களை ஒழுங்கமைப்பது மற்றும் முழுமையான படிக வளர்ச்சி ஆகும். அளவுரு குறியீடுகளை கட்டுப்படுத்தும் போது.
பொருள் அதிக கடினத்தன்மை, அதிக உடையக்கூடிய தன்மை, நீண்ட வெட்டு நேரம் மற்றும் அதிக தேய்மானம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது: SiC Mohs கடினத்தன்மை 9.25 வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது, இது வெட்டுதல், அரைத்தல் மற்றும் மெருகூட்டல் ஆகியவற்றின் சிரமத்தில் குறிப்பிடத்தக்க அதிகரிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, மேலும் இதற்கு சுமார் 120 மணிநேரம் ஆகும். 3 செமீ தடிமன் கொண்ட 35-40 துண்டுகளை வெட்டுங்கள்.கூடுதலாக, SiC இன் அதிக உடையக்கூடிய தன்மை காரணமாக, செதில் செயலாக்க உடைகள் அதிகமாக இருக்கும், மேலும் வெளியீட்டு விகிதம் 60% மட்டுமே.
வளர்ச்சி போக்கு: அளவு அதிகரிப்பு + விலை குறைவு
உலகளாவிய SiC சந்தை 6 அங்குல அளவு உற்பத்தி வரிசை முதிர்ச்சியடைந்து வருகிறது, மேலும் முன்னணி நிறுவனங்கள் 8 அங்குல சந்தையில் நுழைந்துள்ளன.உள்நாட்டு வளர்ச்சித் திட்டங்கள் முக்கியமாக 6 அங்குலங்கள்.தற்போது, பெரும்பாலான உள்நாட்டு நிறுவனங்கள் இன்னும் 4 அங்குல உற்பத்தி வரிகளை அடிப்படையாகக் கொண்டாலும், தொழில்துறை படிப்படியாக 6 அங்குலமாக விரிவடைகிறது, 6 அங்குல துணை உபகரண தொழில்நுட்பத்தின் முதிர்ச்சியுடன், உள்நாட்டு SiC அடி மூலக்கூறு தொழில்நுட்பமும் படிப்படியாக பொருளாதாரத்தை மேம்படுத்துகிறது. பெரிய அளவிலான உற்பத்தி வரிகளின் அளவு பிரதிபலிக்கப்படும், மேலும் தற்போதைய உள்நாட்டு 6 அங்குல வெகுஜன உற்பத்தி நேர இடைவெளி 7 ஆண்டுகளாகக் குறைந்துள்ளது.பெரிய செதில் அளவு ஒற்றை சில்லுகளின் எண்ணிக்கையை அதிகரிக்கவும், மகசூல் விகிதத்தை மேம்படுத்தவும், விளிம்பு சில்லுகளின் விகிதத்தை குறைக்கவும் முடியும், மேலும் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டிற்கான செலவு மற்றும் மகசூல் இழப்பு சுமார் 7% ஆக பராமரிக்கப்படும், இதனால் செதில் மேம்படும். பயன்பாடு.
சாதன வடிவமைப்பில் இன்னும் பல சிரமங்கள் உள்ளன
SiC டையோடின் வணிகமயமாக்கல் படிப்படியாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, தற்போது, பல உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் SiC SBD தயாரிப்புகளை வடிவமைத்துள்ளனர், நடுத்தர மற்றும் உயர் மின்னழுத்த SiC SBD தயாரிப்புகள் நல்ல நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, OBC வாகனத்தில், SiC SBD+SI IGBT இன் பயன்பாடு நிலையானது. தற்போதைய அடர்த்தி.தற்போது, சீனாவில் SiC SBD தயாரிப்புகளின் காப்புரிமை வடிவமைப்பில் எந்த தடையும் இல்லை, மேலும் வெளிநாடுகளுடனான இடைவெளி சிறியது.
SiC MOS இன்னும் பல சிரமங்களைக் கொண்டுள்ளது, SiC MOS மற்றும் வெளிநாட்டு உற்பத்தியாளர்களுக்கு இடையே இன்னும் இடைவெளி உள்ளது, மேலும் தொடர்புடைய உற்பத்தி தளம் இன்னும் கட்டுமானத்தில் உள்ளது.தற்போது, ST, Infineon, Rohm மற்றும் பிற 600-1700V SiC MOS ஆகியவை வெகுஜன உற்பத்தியை அடைந்துள்ளன மற்றும் பல உற்பத்தித் தொழில்களுடன் ஒப்பந்தம் செய்து அனுப்பப்பட்டுள்ளன, தற்போதைய உள்நாட்டு SiC MOS வடிவமைப்பு அடிப்படையில் முடிக்கப்பட்டுள்ளது, பல வடிவமைப்பு உற்பத்தியாளர்கள் ஃபேப்களுடன் பணிபுரிகின்றனர். செதில் ஓட்டம் நிலை, பின்னர் வாடிக்கையாளர் சரிபார்ப்புக்கு இன்னும் சிறிது நேரம் தேவைப்படுகிறது, எனவே பெரிய அளவிலான வணிகமயமாக்கலுக்கு இன்னும் நீண்ட காலம் உள்ளது.
தற்போது, பிளானர் அமைப்பு முக்கிய தேர்வாக உள்ளது, மேலும் எதிர்காலத்தில் உயர் அழுத்த புலத்தில் அகழி வகை பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.பிளானர் அமைப்பு SiC MOS உற்பத்தியாளர்கள் பலர் உள்ளனர், பள்ளத்துடன் ஒப்பிடும்போது பிளானர் கட்டமைப்பானது உள்ளூர் முறிவு சிக்கல்களை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல, இது வேலையின் ஸ்திரத்தன்மையை பாதிக்கிறது, 1200V க்கு கீழே சந்தையில் பரந்த அளவிலான பயன்பாட்டு மதிப்பு உள்ளது, மேலும் சமதள அமைப்பு ஒப்பீட்டளவில் உள்ளது. உற்பத்தி முடிவில் எளிமையானது, உற்பத்தித்திறன் மற்றும் செலவுக் கட்டுப்பாடு இரண்டு அம்சங்களைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.பள்ளம் சாதனம் மிகவும் குறைந்த ஒட்டுண்ணி தூண்டல், வேகமாக மாறுதல் வேகம், குறைந்த இழப்பு மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் அதிக செயல்திறன் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.
2--SiC வேஃபர் செய்தி
சிலிக்கான் கார்பைடு சந்தை உற்பத்தி மற்றும் விற்பனை வளர்ச்சி, வழங்கல் மற்றும் தேவைக்கு இடையே உள்ள கட்டமைப்பு ஏற்றத்தாழ்வுகளுக்கு கவனம் செலுத்துங்கள்
அதிக அதிர்வெண் மற்றும் உயர்-சக்தி மின்னியல் சாதனங்களுக்கான சந்தை தேவையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உடல் வரம்பு இடையூறு படிப்படியாக முக்கியத்துவம் பெற்றது, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மூலம் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தப்படும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்கள் படிப்படியாக உள்ளன. தொழில்மயமாகிறது.பொருள் செயல்திறன் பார்வையில், சிலிக்கான் கார்பைடு சிலிக்கான் பொருளின் பேண்ட் இடைவெளி அகலத்தை விட 3 மடங்கு, முக்கியமான முறிவு மின்சார புல வலிமையை விட 10 மடங்கு, வெப்ப கடத்துத்திறனை விட 3 மடங்கு, எனவே சிலிக்கான் கார்பைடு சக்தி சாதனங்கள் அதிக அதிர்வெண், உயர் அழுத்தம், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் பிற பயன்பாடுகள், ஆற்றல் மின்னணு அமைப்புகளின் செயல்திறன் மற்றும் ஆற்றல் அடர்த்தியை மேம்படுத்த உதவுகின்றன.
தற்போது, SiC டையோட்கள் மற்றும் SiC MOSFET கள் படிப்படியாக சந்தைக்கு நகர்ந்துள்ளன, மேலும் முதிர்ந்த தயாரிப்புகள் உள்ளன, சில துறைகளில் சிலிகான்-அடிப்படையிலான டையோட்களுக்கு பதிலாக SiC டையோட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் அவை தலைகீழ் மீட்புக் கட்டணத்தின் நன்மையைக் கொண்டிருக்கவில்லை;SiC MOSFET படிப்படியாக வாகனம், ஆற்றல் சேமிப்பு, சார்ஜிங் பைல், ஃபோட்டோவோல்டாயிக் மற்றும் பிற துறைகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது;வாகனப் பயன்பாடுகள் துறையில், மாடுலரைசேஷன் போக்கு மேலும் மேலும் முக்கியத்துவம் பெறுகிறது, SiC இன் சிறந்த செயல்திறன் அடைய மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளை நம்பியிருக்க வேண்டும், தொழில்நுட்ப ரீதியாக ஒப்பீட்டளவில் முதிர்ந்த ஷெல் சீலிங் முக்கிய, எதிர்காலம் அல்லது பிளாஸ்டிக் சீல் மேம்பாடு. , அதன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேம்பாட்டு பண்புகள் SiC தொகுதிகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
சிலிக்கான் கார்பைடு விலை சரிவு வேகம் அல்லது கற்பனைக்கு அப்பாற்பட்டது
சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் பயன்பாடு முக்கியமாக அதிக விலையால் வரையறுக்கப்படுகிறது, அதே அளவில் SiC MOSFET இன் விலை Si அடிப்படையிலான IGBT ஐ விட 4 மடங்கு அதிகமாக உள்ளது, ஏனெனில் சிலிக்கான் கார்பைடின் செயல்முறை சிக்கலானது, இதில் வளர்ச்சி ஒற்றை படிக மற்றும் எபிடாக்சியல் சுற்றுச்சூழலுக்கு கடுமையானது மட்டுமல்ல, வளர்ச்சி விகிதம் மெதுவாக உள்ளது, மேலும் அடி மூலக்கூறுக்குள் ஒற்றை படிக செயலாக்கம் வெட்டுதல் மற்றும் மெருகூட்டல் செயல்முறை மூலம் செல்ல வேண்டும்.அதன் சொந்த பொருள் பண்புகள் மற்றும் முதிர்ச்சியடையாத செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தின் அடிப்படையில், உள்நாட்டு அடி மூலக்கூறின் மகசூல் 50% க்கும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் பல்வேறு காரணிகள் அதிக அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் விலைகளுக்கு வழிவகுக்கும்.
இருப்பினும், சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான சாதனங்களின் விலைக் கலவை முற்றிலும் நேர்மாறானது, முன் சேனலின் அடி மூலக்கூறு மற்றும் எபிடாக்சியல் செலவுகள் முறையே முழு சாதனத்தின் 47% மற்றும் 23% ஆகும், மொத்தம் சுமார் 70%, சாதன வடிவமைப்பு, உற்பத்தி பின் சேனலின் சீல் இணைப்புகள் 30% மட்டுமே ஆகும், சிலிக்கான் அடிப்படையிலான சாதனங்களின் உற்பத்திச் செலவு முக்கியமாக பின் சேனலின் செதில் உற்பத்தியில் 50% குவிந்துள்ளது, மேலும் அடி மூலக்கூறு செலவு 7% மட்டுமே.சிலிக்கான் கார்பைடு தொழில் சங்கிலியின் மதிப்பு தலைகீழானது என்பது, அப்ஸ்ட்ரீம் அடி மூலக்கூறு எபிடாக்சி உற்பத்தியாளர்களுக்கு பேசுவதற்கான முக்கிய உரிமை உள்ளது, இது உள்நாட்டு மற்றும் வெளிநாட்டு நிறுவனங்களின் தளவமைப்புக்கு முக்கியமாகும்.
சந்தையில் மாறும் பார்வையில், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் விலையைக் குறைப்பது, சிலிக்கான் கார்பைடு நீண்ட படிக மற்றும் ஸ்லைசிங் செயல்முறையை மேம்படுத்துவதுடன், செதில் அளவை விரிவுபடுத்துவது, இது கடந்த காலத்தில் குறைக்கடத்தி வளர்ச்சியின் முதிர்ந்த பாதையாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குலமாக மேம்படுத்தப்பட்டு, தகுதிவாய்ந்த சிப் உற்பத்தி 80%-90% வரை அதிகரிக்கலாம் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்த உதவும் என்று Wolfspeed தரவு காட்டுகிறது.ஒருங்கிணைந்த அலகு செலவை 50% குறைக்கலாம்.
2023 "8-இன்ச் SiC முதல் ஆண்டு" என்று அழைக்கப்படுகிறது, இந்த ஆண்டு, உள்நாட்டு மற்றும் வெளிநாட்டு சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தியாளர்கள் 8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தளவமைப்பை துரிதப்படுத்துகின்றனர், சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தி விரிவாக்கத்திற்காக 14.55 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை Wolfspeed crazy முதலீடு, 8-அங்குல SiC அடி மூலக்கூறு உற்பத்தி ஆலையின் கட்டுமானம் இதில் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும், எதிர்காலத்தில் பல நிறுவனங்களுக்கு 200 mm SiC வெற்று உலோகத்தை வழங்குவதை உறுதிசெய்யும்;உள்நாட்டு Tianyue அட்வான்ஸ்டு மற்றும் Tianke Heda ஆகியவை எதிர்காலத்தில் 8 அங்குல சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளை வழங்க இன்ஃபினியனுடன் நீண்ட கால ஒப்பந்தங்களில் கையெழுத்திட்டுள்ளன.
இந்த ஆண்டு முதல், சிலிக்கான் கார்பைடு 6 அங்குலத்திலிருந்து 8 அங்குலமாக முடுக்கிவிடப்படும், 2022 இல் 6 அங்குல அடி மூலக்கூறின் யூனிட் சிப் விலையுடன் ஒப்பிடும்போது 2024 ஆம் ஆண்டளவில் 8 அங்குல அடி மூலக்கூறின் யூனிட் சிப் விலை 60% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்கப்படும் என்று Wolfspeed எதிர்பார்க்கிறது. , மற்றும் செலவு சரிவு பயன்பாட்டு சந்தையை மேலும் திறக்கும் என்று ஜி பாண்ட் கன்சல்டிங் ஆராய்ச்சி தரவு சுட்டிக்காட்டியது.8 அங்குல தயாரிப்புகளின் தற்போதைய சந்தை பங்கு 2% க்கும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் சந்தை பங்கு 2026 க்குள் சுமார் 15% ஆக உயரும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
உண்மையில், சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறின் விலையில் சரிவு விகிதம் பலரின் கற்பனையை விட அதிகமாக இருக்கலாம், 6-இன்ச் அடி மூலக்கூறுக்கான தற்போதைய சந்தை சலுகை 4000-5000 யுவான்/துண்டு ஆகும், இது ஆண்டின் தொடக்கத்துடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் குறைந்துள்ளது. அடுத்த ஆண்டு 4000 யுவானுக்கு கீழே குறையும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது, சில உற்பத்தியாளர்கள் முதல் சந்தையைப் பெறுவதற்காக, விற்பனை விலையை கீழே உள்ள விலைக்குக் குறைத்துள்ளனர் என்பது குறிப்பிடத்தக்கது குறைந்த மின்னழுத்த துறையில் வழங்கல் போதுமானதாக உள்ளது, உள்நாட்டு மற்றும் வெளிநாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் உற்பத்தி திறனை தீவிரமாக விரிவுபடுத்துகின்றனர் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு கற்பனைக்கு முன்னதாகவே அதிக விநியோகம் செய்யட்டும்.
இடுகை நேரம்: ஜன-19-2024