வேஃபர் கேரிங்கிற்கான SiC பீங்கான் எண்ட் எஃபெக்டர் ஹேண்டிங் ஆர்ம்

குறுகிய விளக்கம்:

LiNbO₃ வேஃபர்கள் ஒருங்கிணைந்த ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் துல்லியமான ஒலியியலில் தங்கத் தரத்தை பிரதிநிதித்துவப்படுத்துகின்றன, நவீன ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் அமைப்புகளில் இணையற்ற செயல்திறனை வழங்குகின்றன. ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளராக, மேம்பட்ட நீராவி போக்குவரத்து சமநிலை நுட்பங்கள் மூலம் இந்த பொறிக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறுகளை உற்பத்தி செய்யும் கலையை நாங்கள் முழுமையாக்கியுள்ளோம், 50/cm² க்கும் குறைவான குறைபாடு அடர்த்தியுடன் தொழில்துறையில் முன்னணி படிக பரிபூரணத்தை அடைகிறோம்.

XKH உற்பத்தி திறன்கள் 75 மிமீ முதல் 150 மிமீ வரை விட்டம் கொண்டவை, துல்லியமான நோக்குநிலை கட்டுப்பாடு (X/Y/Z-வெட்டு ±0.3°) மற்றும் அரிய-பூமி கூறுகள் உட்பட சிறப்பு ஊக்கமருந்து விருப்பங்களுடன். LiNbO₃ வேஃபர்களில் உள்ள பண்புகளின் தனித்துவமான கலவை - அவற்றின் குறிப்பிடத்தக்க r₃₃ குணகம் (32±2 pm/V) மற்றும் UV-க்கு அருகில் இருந்து நடுத்தர-IR வரை பரந்த வெளிப்படைத்தன்மை - அடுத்த தலைமுறை ஃபோட்டானிக் சுற்றுகள் மற்றும் உயர்-அதிர்வெண் ஒலி சாதனங்களுக்கு அவற்றை இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

SiC பீங்கான் முடிவு விளைவு சுருக்கம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட நுண் தயாரிப்பு சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-துல்லியமான வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகளில் SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) பீங்கான் எண்ட்-எஃபெக்டர் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மிகவும் சுத்தமான, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் மிகவும் நிலையான சூழல்களின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த சிறப்பு எண்ட்-எஃபெக்டர், லித்தோகிராஃபி, எட்சிங் மற்றும் படிவு போன்ற முக்கிய உற்பத்தி படிகளின் போது வேஃபர்களின் நம்பகமான மற்றும் மாசு இல்லாத போக்குவரத்தை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உயர்ந்த பொருள் பண்புகளை - அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், அதீத கடினத்தன்மை, சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் குறைந்தபட்ச வெப்ப விரிவாக்கம் போன்றவற்றைப் பயன்படுத்தி - SiC பீங்கான் இறுதி-விளைப்பான், விரைவான வெப்ப சுழற்சியின் கீழோ அல்லது அரிக்கும் செயல்முறை அறைகளிலோ கூட ஒப்பிடமுடியாத இயந்திர விறைப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. அதன் குறைந்த துகள் உருவாக்கம் மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு பண்புகள், வேஃபர் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிப்பது மற்றும் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைப்பது மிக முக்கியமான சுத்தமான அறை மற்றும் வெற்றிட செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.

SiC பீங்கான் இறுதி விளைபொருள் பயன்பாடு

1. குறைக்கடத்தி வேஃபர் கையாளுதல்

தானியங்கி உற்பத்தியின் போது சிலிக்கான் வேஃபர்களைக் கையாள குறைக்கடத்தித் துறையில் SiC பீங்கான் முனை விளைபொருள்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த முனை விளைபொருள்கள் பொதுவாக ரோபோடிக் கைகள் அல்லது வெற்றிட பரிமாற்ற அமைப்புகளில் பொருத்தப்படுகின்றன, மேலும் 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ போன்ற பல்வேறு அளவுகளில் வேஃபர்களுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அதிக வெப்பநிலை, வெற்றிட நிலைமைகள் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் பொதுவாகக் காணப்படும் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD), பொறித்தல் மற்றும் பரவல் உள்ளிட்ட செயல்முறைகளில் அவை அவசியம். SiC இன் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மை, சிதைவு இல்லாமல் இத்தகைய கடுமையான சூழல்களைத் தாங்கும் ஒரு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

2. சுத்தமான அறை மற்றும் வெற்றிட இணக்கத்தன்மை

துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க வேண்டிய சுத்தமான அறை மற்றும் வெற்றிட அமைப்புகளில், SiC மட்பாண்டங்கள் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளை வழங்குகின்றன. பொருளின் அடர்த்தியான, மென்மையான மேற்பரப்பு துகள் உருவாக்கத்தை எதிர்க்கிறது, போக்குவரத்தின் போது வேஃபர் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது. இது SiC எண்ட் எஃபெக்டர்களை குறிப்பாக எக்ஸ்ட்ரீம் அல்ட்ரா வயலட் லித்தோகிராபி (EUV) மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக ஆக்குகிறது, அங்கு தூய்மை மிக முக்கியமானது. மேலும், SiC இன் குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் அதிக பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு ஆகியவை வெற்றிட அறைகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன, கருவிகளின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்கின்றன மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன.

3. உயர்-துல்லிய நிலைப்படுத்தல் அமைப்புகள்

மேம்பட்ட வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகளில், குறிப்பாக அளவியல், ஆய்வு மற்றும் சீரமைப்பு உபகரணங்களில் துல்லியமும் நிலைத்தன்மையும் மிக முக்கியமானவை. SiC மட்பாண்டங்கள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் மற்றும் அதிக விறைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளன, இது வெப்ப சுழற்சி அல்லது இயந்திர சுமையின் கீழ் கூட இறுதி விளைபொருளை அதன் கட்டமைப்பு துல்லியத்தை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. இது போக்குவரத்தின் போது வேஃபர்கள் துல்லியமாக சீரமைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, மைக்ரோ-கீறல்கள், தவறான சீரமைப்பு அல்லது அளவீட்டு பிழைகள் ஆகியவற்றின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது - துணை-5nm செயல்முறை முனைகளில் பெருகிய முறையில் முக்கியமான காரணிகள்.

SiC பீங்கான் இறுதி விளைபொருள் பண்புகள்

1. அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை

SiC மட்பாண்டங்கள் விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமையைக் கொண்டுள்ளன, நெகிழ்வு வலிமை பெரும்பாலும் 400 MPa ஐ விட அதிகமாகும் மற்றும் Vickers கடினத்தன்மை மதிப்புகள் 2000 HV ஐ விட அதிகமாக இருக்கும். இது நீண்டகால செயல்பாட்டு பயன்பாட்டிற்குப் பிறகும் கூட இயந்திர அழுத்தம், தாக்கம் மற்றும் தேய்மானத்திற்கு அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. SiC இன் அதிக விறைப்புத்தன்மை அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்றங்களின் போது விலகலைக் குறைக்கிறது, துல்லியமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய நிலைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

2. சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

SiC மட்பாண்டங்களின் மிகவும் மதிப்புமிக்க பண்புகளில் ஒன்று, இயந்திர ஒருமைப்பாட்டை இழக்காமல் மிக அதிக வெப்பநிலையை - பெரும்பாலும் மந்த வளிமண்டலங்களில் 1600°C வரை - தாங்கும் திறன் ஆகும். அவற்றின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (~4.0 x 10⁻⁶ /K) வெப்ப சுழற்சியின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இது CVD, PVD மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங் போன்ற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

SiC பீங்கான் இறுதி விளைவு கேள்வி பதில்

கேள்வி: வேஃபர் எண்ட் எஃபெக்டரில் என்ன பொருள் பயன்படுத்தப்படுகிறது?

ஒரு:வேஃபர் எண்ட் எஃபெக்டர்கள் பொதுவாக அதிக வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த துகள் உருவாக்கத்தை வழங்கும் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. இவற்றில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் மிகவும் மேம்பட்ட மற்றும் விரும்பத்தக்க பொருட்களில் ஒன்றாகும். SiC பீங்கான்கள் மிகவும் கடினமானவை, வெப்ப ரீதியாக நிலையானவை, வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானவை மற்றும் அணிய எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை சுத்தமான அறை மற்றும் வெற்றிட சூழல்களில் மென்மையான சிலிக்கான் வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன. குவார்ட்ஸ் அல்லது பூசப்பட்ட உலோகங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் உயர்ந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது மற்றும் துகள்களை உதிர்க்காது, இது மாசுபாட்டைத் தடுக்க உதவுகிறது.