சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கிடைமட்ட உலை குழாய்

குறுகிய விளக்கம்:

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கிடைமட்ட உலை குழாய், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பொருள் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்-வெப்பநிலை வாயு-கட்ட எதிர்வினைகள் மற்றும் வெப்ப சிகிச்சைகளுக்கான முக்கிய செயல்முறை அறை மற்றும் அழுத்த எல்லையாக செயல்படுகிறது.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்பவும்

அம்சங்கள்

விரிவான வரைபடம்

தயாரிப்பு நிலைப்படுத்தல் & மதிப்பு முன்மொழிவு

அடர்த்தியான CVD-SiC பாதுகாப்பு அடுக்குடன் இணைந்து, ஒற்றை-துண்டு, சேர்க்கையால் தயாரிக்கப்பட்ட SiC அமைப்புடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த குழாய், விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்தபட்ச மாசுபாடு, வலுவான இயந்திர ஒருமைப்பாடு மற்றும் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
இதன் வடிவமைப்பு சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை, நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை இடைவெளிகள் மற்றும் நிலையான நீண்டகால செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய நன்மைகள்

அமைப்பின் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, தூய்மை மற்றும் ஒட்டுமொத்த உபகரண செயல்திறனை (OEE) அதிகரிக்கிறது.
சுத்தம் செய்வதற்கான வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் மாற்று சுழற்சிகளை நீட்டிக்கிறது, மொத்த உரிமைச் செலவைக் (TCO) குறைக்கிறது.
குறைந்த ஆபத்துடன் அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற மற்றும் குளோரின் நிறைந்த வேதியியலைக் கையாளக்கூடிய நீண்ட ஆயுட்கால அறையை வழங்குகிறது.

பொருந்தக்கூடிய வளிமண்டலங்கள் & செயல்முறை சாளரம்

வினைபுரியும் வாயுக்கள்: ஆக்ஸிஜன் (O₂) மற்றும் பிற ஆக்ஸிஜனேற்ற கலவைகள்
கேரியர்/பாதுகாப்பு வாயுக்கள்: நைட்ரஜன் (N₂) மற்றும் மிகவும் தூய்மையான மந்த வாயுக்கள்
இணக்கமான இனங்கள்: குளோரின் தாங்கும் வாயுக்களைக் கண்டறியவும் (செறிவு மற்றும் வசிக்கும் நேரம் செய்முறையால் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது)

வழக்கமான செயல்முறைகள்: உலர்/ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங், பரவல், LPCVD/CVD படிவு, மேற்பரப்பு செயல்படுத்தல், ஒளிமின்னழுத்த செயலிழப்பு, செயல்பாட்டு மெல்லிய-படல வளர்ச்சி, கார்பனேற்றம், நைட்ரைடேஷன் மற்றும் பல.

இயக்க நிலைமைகள்

வெப்பநிலை: அறை வெப்பநிலை 1250 °C வரை (ஹீட்டர் வடிவமைப்பு மற்றும் ΔT ஐப் பொறுத்து 10–15% பாதுகாப்பு விளிம்பை அனுமதிக்கவும்)
அழுத்தம்: குறைந்த அழுத்தம்/LPCVD வெற்றிட நிலைகளிலிருந்து வளிமண்டலத்திற்கு அருகில் உள்ள நேர்மறை அழுத்தம் வரை (கொள்முதல் ஆர்டருக்கு இறுதி விவரக்குறிப்பு)

பொருட்கள் & கட்டமைப்பு தர்க்கம்

மோனோலிதிக் SiC உடல் (சேர்க்கை தயாரிக்கப்பட்டது)

உயர் அடர்த்தி β-SiC அல்லது மல்டிஃபேஸ் SiC, ஒற்றைக் கூறாகக் கட்டமைக்கப்பட்டது - கசிவு அல்லது அழுத்தப் புள்ளிகளை உருவாக்கக்கூடிய பிரேஸ் செய்யப்பட்ட மூட்டுகள் அல்லது சீம்கள் இல்லை.
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் விரைவான வெப்ப எதிர்வினை மற்றும் சிறந்த அச்சு/ஆர வெப்பநிலை சீரான தன்மையை செயல்படுத்துகிறது.
குறைந்த, நிலையான வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) உயர்ந்த வெப்பநிலையில் பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகமான முத்திரைகளை உறுதி செய்கிறது.

CVD SiC செயல்பாட்டு பூச்சு

துகள் உருவாக்கம் மற்றும் உலோக அயனி வெளியீட்டை அடக்குவதற்கு, இடத்திலேயே டெபாசிட் செய்யப்பட்ட, மிகவும் தூய்மையான (மேற்பரப்பு/பூச்சு அசுத்தங்கள் < 5 ppm).
ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் குளோரின் தாங்கும் வாயுக்களுக்கு எதிரான சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, சுவர் தாக்குதல் அல்லது மீண்டும் படிவதைத் தடுக்கிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப மறுமொழியை சமநிலைப்படுத்த மண்டல-குறிப்பிட்ட தடிமன் விருப்பங்கள்.

ஒருங்கிணைந்த பலன்: வலுவான SiC உடல் கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துதலை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் CVD அடுக்கு அதிகபட்ச நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனுக்காக தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய செயல்திறன் இலக்குகள்

தொடர்ச்சியான பயன்பாட்டு வெப்பநிலை:≤ 1250 °C
மொத்த அடி மூலக்கூறு அசுத்தங்கள்:< 300 பிபிஎம்
CVD-SiC மேற்பரப்பு மாசுக்கள்:< 5 பிபிஎம்
பரிமாண சகிப்புத்தன்மைகள்: OD ±0.3–0.5 மிமீ; கோஆக்சியாலிட்டி ≤ 0.3 மிமீ/மீ (இறுக்கம் கிடைக்கிறது)
உள்-சுவர் கடினத்தன்மை: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (மெருகூட்டப்பட்ட அல்லது கண்ணாடிக்கு அருகில் பூச்சு விருப்பத்தேர்வு)
ஹீலியம் கசிவு விகிதம்: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
வெப்ப அதிர்ச்சி தாங்கும் திறன்: விரிசல் அல்லது சிராய்ப்பு இல்லாமல் மீண்டும் மீண்டும் வெப்பம்/குளிர் சுழற்சியைத் தாங்கும்.
சுத்தமான அறை அசெம்பிளி: சான்றளிக்கப்பட்ட துகள்/உலோக-அயன் எச்ச அளவுகளுடன் ISO வகுப்பு 5–6

உள்ளமைவுகள் & விருப்பங்கள்

வடிவியல்: OD 50–400 மிமீ (மதிப்பீட்டின்படி பெரியது) நீண்ட ஒரு-துண்டு கட்டுமானத்துடன்; இயந்திர வலிமை, எடை மற்றும் வெப்பப் பாய்ச்சலுக்கு உகந்ததாக சுவர் தடிமன்.
இறுதி வடிவமைப்புகள்: விளிம்புகள், மணி-வாய், பயோனெட், இருப்பிட வளையங்கள், O-வளைய பள்ளங்கள் மற்றும் தனிப்பயன் பம்ப்-அவுட் அல்லது அழுத்த துறைமுகங்கள்.
செயல்பாட்டு துறைமுகங்கள்: தெர்மோகப்பிள் ஊட்டங்கள், பார்வைக் கண்ணாடி இருக்கைகள், பைபாஸ் எரிவாயு நுழைவாயில்கள் - இவை அனைத்தும் உயர் வெப்பநிலை, கசிவு-இறுக்கமான செயல்பாட்டிற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
பூச்சு திட்டங்கள்: உள் சுவர் (இயல்புநிலை), வெளிப்புற சுவர் அல்லது முழு கவரேஜ்; அதிக தாக்கப் பகுதிகளுக்கு இலக்கு வைக்கப்பட்ட கவசம் அல்லது தரப்படுத்தப்பட்ட தடிமன்.
மேற்பரப்பு சிகிச்சை மற்றும் தூய்மை: பல கடினத்தன்மை தரங்கள், மீயொலி/DI சுத்தம் செய்தல் மற்றும் தனிப்பயன் பேக்/உலர் நெறிமுறைகள்.
துணைக்கருவிகள்: கிராஃபைட்/பீங்கான்/உலோக விளிம்புகள், முத்திரைகள், பொருத்துதல்களைக் கண்டறிதல், கையாளும் சட்டைகள் மற்றும் சேமிப்பு தொட்டில்கள்.

செயல்திறன் ஒப்பீடு

மெட்ரிக்	SiC குழாய்	குவார்ட்ஸ் குழாய்	அலுமினா குழாய்	கிராஃபைட் குழாய்
வெப்ப கடத்துத்திறன்	உயரமான, சீரான	குறைந்த	குறைந்த	உயர்
அதிக வெப்பநிலை வலிமை/க்ரீப்	சிறப்பானது	நியாயமான	நல்லது	நல்லது (ஆக்ஸிஜனேற்ற உணர்திறன்)
வெப்ப அதிர்ச்சி	சிறப்பானது	பலவீனமானது	மிதமான	சிறப்பானது
தூய்மை / உலோக அயனிகள்	சிறந்தது (குறைந்தது)	மிதமான	மிதமான	ஏழை
ஆக்சிஜனேற்றம் & Cl-வேதியியல்	சிறப்பானது	நியாயமான	நல்லது	மோசமானது (ஆக்ஸிஜனேற்றம்)
செலவு vs. சேவை வாழ்க்கை	நடுத்தர / நீண்ட ஆயுள்	குறைவு / குறுகியது	நடுத்தர / நடுத்தர	நடுத்தர / சுற்றுச்சூழல் வரம்புக்குட்பட்டது

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQ)

கேள்வி 1. 3D-அச்சிடப்பட்ட ஒற்றைக்கல் SiC உடலை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?
A. இது கசிவு அல்லது அழுத்தத்தை குவிக்கக்கூடிய சீம்கள் மற்றும் பிரேஸ்களை நீக்குகிறது, மேலும் நிலையான பரிமாண துல்லியத்துடன் சிக்கலான வடிவவியலை ஆதரிக்கிறது.

கேள்வி 2. குளோரின் தாங்கும் வாயுக்களுக்கு SiC எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டதா?
A. ஆம். குறிப்பிட்ட வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்த வரம்புகளுக்குள் CVD-SiC மிகவும் மந்தமானது. அதிக தாக்கம் உள்ள பகுதிகளுக்கு, உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட தடிமனான பூச்சுகள் மற்றும் வலுவான சுத்திகரிப்பு/வெளியேற்ற அமைப்புகள் பரிந்துரைக்கப்படுகின்றன.

கேள்வி 3. இது குவார்ட்ஸ் குழாய்களை எவ்வாறு விஞ்சுகிறது?
A. SiC நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை, குறைந்த துகள்/உலோக-அயனி மாசுபாடு மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட TCO ஆகியவற்றை வழங்குகிறது - குறிப்பாக ~900 °C க்கு மேல் அல்லது ஆக்ஸிஜனேற்றம்/குளோரினேட்டட் வளிமண்டலங்களில்.

கேள்வி 4. குழாய் விரைவான வெப்ப சாய்வை கையாள முடியுமா?
A. ஆம், அதிகபட்ச ΔT மற்றும் சாய்வு-விகித வழிகாட்டுதல்கள் கடைபிடிக்கப்பட்டால். ஒரு உயர்-κ SiC உடலை மெல்லிய CVD அடுக்குடன் இணைப்பது வேகமான வெப்ப மாற்றங்களை ஆதரிக்கிறது.

கேள்வி 5. எப்போது மாற்றீடு தேவைப்படுகிறது?
A. ஃபிளேன்ஜ் அல்லது விளிம்பு விரிசல்கள், பூச்சு குழிகள் அல்லது விரிசல், அதிகரித்த கசிவு விகிதங்கள், குறிப்பிடத்தக்க வெப்பநிலை-சுயவிவர சறுக்கல் அல்லது அசாதாரண துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றைக் கண்டறிந்தால் குழாயை மாற்றவும்.

எங்களை பற்றி

சிறப்பு ஆப்டிகல் கண்ணாடி மற்றும் புதிய படிகப் பொருட்களின் உயர் தொழில்நுட்ப மேம்பாடு, உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் XKH நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் தயாரிப்புகள் ஆப்டிகல் எலக்ட்ரானிக்ஸ், நுகர்வோர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் இராணுவத்திற்கு சேவை செய்கின்றன. நாங்கள் சபையர் ஆப்டிகல் கூறுகள், மொபைல் போன் லென்ஸ் கவர்கள், மட்பாண்டங்கள், LT, சிலிக்கான் கார்பைடு SIC, குவார்ட்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி படிக வேஃபர்களை வழங்குகிறோம். திறமையான நிபுணத்துவம் மற்றும் அதிநவீன உபகரணங்களுடன், முன்னணி ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாக இருக்க வேண்டும் என்ற நோக்கத்துடன், தரமற்ற தயாரிப்பு செயலாக்கத்தில் சிறந்து விளங்குகிறோம்.