SiC பீங்கான் தட்டு எண்ட் எஃபெக்டர் வேஃபர் கையாளுதல் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கூறுகள்
SiC பீங்கான் & அலுமினா பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள் சுருக்கம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட தொழில்துறை பீங்கான் பொருட்கள் ஆகும், அவை அவற்றின்மிக அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன். சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க உதவுகின்றன.வலுவான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கும் அதே வேளையில் அதிக வெப்பநிலை சூழல்கள். SiC மட்பாண்டங்கள் போன்ற செயல்முறைகள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றனஅழுத்தமற்ற சிண்டரிங், எதிர்வினை சிண்டரிங் அல்லது சூடான அழுத்த சிண்டரிங்மேலும் இயந்திர சீல் வளையங்கள், தண்டு ஸ்லீவ்கள், முனைகள், உலை குழாய்கள், வேஃபர் படகுகள் மற்றும் தேய்மான-எதிர்ப்பு லைனிங் தகடுகள் உள்ளிட்ட சிக்கலான வடிவங்களில் தனிப்பயனாக்கலாம்.
அலுமினா பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள்
அலுமினா (Al₂O₃) பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள் வலியுறுத்துகின்றனஅதிக காப்பு, நல்ல இயந்திர வலிமை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு. தூய்மை தரங்களால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது (எ.கா., 95%, 99%), துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கலுடன் கூடிய அலுமினா (Al₂O₃) பீங்கான் தனிப்பயன் கூறுகள் அவற்றை மின்கடத்திகள், தாங்கு உருளைகள், வெட்டும் கருவிகள் மற்றும் மருத்துவ உள்வைப்புகள் என வடிவமைக்க அனுமதிக்கிறது. அலுமினா மட்பாண்டங்கள் முதன்மையாகஉலர் அழுத்துதல், ஊசி மோல்டிங் அல்லது ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்துதல் செயல்முறைகள், மேற்பரப்புகளை கண்ணாடி பூச்சுக்கு பாலிஷ் செய்ய முடியும்.
XKH ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் தனிப்பயன் உற்பத்தியில் நிபுணத்துவம் பெற்றதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் அலுமினா (Al₂O₃) மட்பாண்டங்கள். SiC பீங்கான் தயாரிப்புகள் உயர் வெப்பநிலை, அதிக தேய்மானம் மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் கவனம் செலுத்துகின்றன, குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளை (எ.கா., வேஃபர் படகுகள், கான்டிலீவர் துடுப்புகள், உலை குழாய்கள்) அத்துடன் புதிய ஆற்றல் துறைகளுக்கான வெப்ப புல கூறுகள் மற்றும் உயர்நிலை முத்திரைகள் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. அலுமினா பீங்கான் தயாரிப்புகள் மின்னணு அடி மூலக்கூறுகள், இயந்திர முத்திரை மோதிரங்கள் மற்றும் மருத்துவ உள்வைப்புகள் உள்ளிட்ட காப்பு, சீல் மற்றும் உயிரி மருத்துவ பண்புகளை வலியுறுத்துகின்றன. போன்ற தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துதல்ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்துதல், அழுத்தமற்ற சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கல், குறைக்கடத்திகள், ஒளிமின்னழுத்தங்கள், விண்வெளி, மருத்துவம் மற்றும் வேதியியல் செயலாக்கம் உள்ளிட்ட தொழில்களுக்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம், தீவிர நிலைமைகளில் துல்லியம், நீண்ட ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கான கடுமையான தேவைகளை கூறுகள் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறோம்.
SiC பீங்கான் செயல்பாட்டு சக்ஸ் & CMP அரைக்கும் வட்டுகள் அறிமுகம்
SiC பீங்கான் வெற்றிட சக்ஸ்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் வெற்றிட சக்குகள் என்பது உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் உயர்-துல்லிய உறிஞ்சுதல் கருவிகள் ஆகும். அவை குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் துல்லியமான உற்பத்தித் தொழில்கள் போன்ற தீவிர தூய்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கோரும் பயன்பாடுகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு: கண்ணாடி-நிலை மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்பு (0.3–0.5 μm க்குள் தட்டையானது கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது), மிக உயர்ந்த விறைப்பு மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் (நானோ-நிலை வடிவம் மற்றும் நிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது), மிகவும் இலகுரக அமைப்பு (இயக்க மந்தநிலையை கணிசமாகக் குறைக்கிறது), மற்றும் விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பு (9.5 வரை மோஸ் கடினத்தன்மை, உலோக சக்குகளின் ஆயுட்காலத்தை விட அதிகமாக உள்ளது). இந்த பண்புகள் மாறி மாறி உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை, வலுவான அரிப்பு மற்றும் அதிவேக கையாளுதல் கொண்ட சூழல்களில் நிலையான செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகின்றன, வேஃபர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் கூறுகள் போன்ற துல்லியமான கூறுகளுக்கான செயலாக்க மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.
அளவியல் மற்றும் ஆய்வுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பம்ப் வெற்றிட சக்
வேஃபர் குறைபாடு ஆய்வு செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த உயர்-துல்லிய உறிஞ்சுதல் கருவி சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் பொருளிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது. அதன் தனித்துவமான மேற்பரப்பு பம்ப் அமைப்பு, வேஃபருடனான தொடர்பு பகுதியைக் குறைக்கும் அதே வேளையில், சக்திவாய்ந்த வெற்றிட உறிஞ்சுதல் சக்தியை வழங்குகிறது, இதன் மூலம் வேஃபர் மேற்பரப்புக்கு சேதம் அல்லது மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் ஆய்வின் போது நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. சக் விதிவிலக்கான தட்டையானது (0.3–0.5 μm) மற்றும் கண்ணாடியால் மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிவேக இயக்கத்தின் போது நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்ய மிக இலகுவான எடை மற்றும் அதிக விறைப்புத்தன்மையுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. தயாரிப்பு வெவ்வேறு வேஃபர் அளவுகளின் ஆய்வுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய 6, 8 மற்றும் 12-அங்குல விவரக்குறிப்புகளில் தனிப்பயனாக்கத்தை ஆதரிக்கிறது.
ஃபிளிப் சிப் பிணைப்பு சக்
ஃபிளிப் சிப் பிணைப்பு சக் என்பது சிப் ஃபிளிப்-சிப் பிணைப்பு செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது அதிவேக, உயர்-துல்லிய பிணைப்பு செயல்பாடுகளின் போது நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக துல்லியமாக உறிஞ்சும் வேஃபர்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது கண்ணாடி-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்பு (தட்டையானது/இணையானது ≤1 μm) மற்றும் சீரான வெற்றிட உறிஞ்சுதல் சக்தியை அடைய துல்லியமான வாயு சேனல் பள்ளங்களைக் கொண்டுள்ளது, இது வேஃபர் இடப்பெயர்ச்சி அல்லது சேதத்தைத் தடுக்கிறது. அதன் அதிக விறைப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (சிலிக்கான் பொருளுக்கு அருகில்) உயர் வெப்பநிலை பிணைப்பு சூழல்களில் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் அதிக அடர்த்தி கொண்ட பொருள் (எ.கா., சிலிக்கான் கார்பைடு அல்லது சிறப்பு மட்பாண்டங்கள்) வாயு ஊடுருவலைத் திறம்பட தடுக்கிறது, நீண்ட கால வெற்றிட நம்பகத்தன்மையை பராமரிக்கிறது. இந்த பண்புகள் கூட்டாக மைக்ரான்-நிலை பிணைப்பு துல்லியத்தை ஆதரிக்கின்றன மற்றும் சிப் பேக்கேஜிங் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.
SiC பிணைப்பு சக்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பிணைப்பு சக் என்பது சிப் பிணைப்பு செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது குறிப்பாக துல்லியமாக உறிஞ்சுதல் மற்றும் வேஃபர்களைப் பாதுகாப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த பிணைப்பு நிலைமைகளின் கீழ் மிகவும் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. உயர் அடர்த்தி கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் (போரோசிட்டி <0.1%) இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது நானோமீட்டர்-நிலை கண்ணாடி மெருகூட்டல் (மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra <0.1 μm) மற்றும் துல்லியமான வாயு சேனல் பள்ளங்கள் (துளை விட்டம்: 5-50 μm) மூலம் சீரான உறிஞ்சுதல் விசை விநியோகத்தை (விலகல் <5%) அடைகிறது, இது வேஃபர் இடப்பெயர்ச்சி அல்லது மேற்பரப்பு சேதத்தைத் தடுக்கிறது. அதன் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.5×10⁻⁶/℃) சிலிக்கான் வேஃபர்களுடன் நெருக்கமாக பொருந்துகிறது, வெப்ப அழுத்தத்தால் தூண்டப்பட்ட வார்பேஜ் குறைக்கிறது. அதிக விறைப்பு (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa) மற்றும் ≤1 μm தட்டையான தன்மை/இணைத்தன்மை ஆகியவற்றுடன் இணைந்து, இது பிணைப்பு சீரமைப்பு துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங், 3D ஸ்டேக்கிங் மற்றும் சிப்லெட் ஒருங்கிணைப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் இது, நானோ அளவிலான துல்லியம் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் உயர்நிலை உற்பத்தி பயன்பாடுகளை ஆதரிக்கிறது.
CMP அரைக்கும் வட்டு
CMP அரைக்கும் வட்டு என்பது வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் (CMP) உபகரணங்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது குறிப்பாக அதிவேக மெருகூட்டலின் போது வேஃபர்களைப் பாதுகாப்பாகப் பிடித்து நிலைப்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது நானோமீட்டர் அளவிலான உலகளாவிய பிளானரைசேஷனை செயல்படுத்துகிறது. அதிக விறைப்பு, அதிக அடர்த்தி கொண்ட பொருட்களிலிருந்து (எ.கா., சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் அல்லது சிறப்பு உலோகக் கலவைகள்) கட்டமைக்கப்பட்டது, இது துல்லியத்தால் வடிவமைக்கப்பட்ட எரிவாயு சேனல் பள்ளங்கள் மூலம் சீரான வெற்றிட உறிஞ்சுதலை உறுதி செய்கிறது. அதன் கண்ணாடி-மெருகூட்டப்பட்ட மேற்பரப்பு (தட்டையானது/இணையானது ≤3 μm) வேஃபர்களுடன் அழுத்தமில்லாத தொடர்பை உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (சிலிக்கானுடன் பொருந்தியது) மற்றும் உள் குளிரூட்டும் சேனல்கள் வெப்ப சிதைவை திறம்பட அடக்குகின்றன. 12-அங்குல (750 மிமீ விட்டம்) வேஃபர்களுடன் இணக்கமானது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தங்களின் கீழ் பல அடுக்கு கட்டமைப்புகளின் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்ய வட்டு பரவல் பிணைப்பு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, CMP செயல்முறை சீரான தன்மை மற்றும் மகசூலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பல்வேறு SiC மட்பாண்ட பாகங்கள் அறிமுகம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சதுர கண்ணாடி
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சதுர கண்ணாடி என்பது மேம்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கானால் தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு உயர்-துல்லியமான ஒளியியல் கூறு ஆகும், இது குறிப்பாக லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற உயர்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது பகுத்தறிவு இலகுரக கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு (எ.கா., பின்புற தேன்கூடு குழிவு) மூலம் மிக இலகுவான எடை மற்றும் அதிக விறைப்புத்தன்மை (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa) ஆகியவற்றை அடைகிறது, அதே நேரத்தில் அதன் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (≈4.5×10⁻⁶/℃) வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. துல்லியமான மெருகூட்டலுக்குப் பிறகு, கண்ணாடி மேற்பரப்பு ≤1 μm தட்டையான தன்மை/இணையான தன்மையை அடைகிறது, மேலும் அதன் விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பு (மோஸ் கடினத்தன்மை 9.5) சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. இது லித்தோகிராஃபி இயந்திர பணிநிலையங்கள், லேசர் பிரதிபலிப்பான்கள் மற்றும் விண்வெளி தொலைநோக்கிகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு மிக உயர் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மை மிக முக்கியமானவை.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) காற்று மிதவை வழிகாட்டிகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) காற்று மிதப்பு வழிகாட்டிகள் தொடர்பு இல்லாத ஏரோஸ்டேடிக் தாங்கி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன, அங்கு சுருக்கப்பட்ட வாயு உராய்வு இல்லாத மற்றும் அதிர்வு இல்லாத மென்மையான இயக்கத்தை அடைய ஒரு மைக்ரான்-நிலை காற்று படலத்தை (பொதுவாக 3-20μm) உருவாக்குகிறது. அவை நானோமெட்ரிக் இயக்க துல்லியம் (±75nm வரை மீண்டும் மீண்டும் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம்) மற்றும் துணை-மைக்ரான் வடிவியல் துல்லியம் (நேராக ±0.1-0.5μm, தட்டையான தன்மை ≤1μm) ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன, இது துல்லியமான கிராட்டிங் செதில்கள் அல்லது லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர்களுடன் மூடிய-லூப் பின்னூட்டக் கட்டுப்பாட்டால் செயல்படுத்தப்படுகிறது. கோர் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருள் (விருப்பங்களில் கோர்சிக்® SP/மார்வெல் சிக் தொடர் அடங்கும்) மிக உயர்ந்த விறைப்புத்தன்மையை (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa), மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (4.0–4.5×10⁻⁶/K, பொருந்தக்கூடிய சிலிக்கான்) மற்றும் அதிக அடர்த்தி (போரோசிட்டி <0.1%) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இதன் இலகுரக வடிவமைப்பு (அடர்த்தி 3.1g/cm³, அலுமினியத்திற்கு அடுத்தபடியாக) இயக்க நிலைமத்தைக் குறைக்கிறது, அதே நேரத்தில் விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பு (Mohs கடினத்தன்மை 9.5) மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை அதிவேக (1m/s) மற்றும் உயர்-முடுக்கம் (4G) நிலைமைகளின் கீழ் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. இந்த வழிகாட்டிகள் குறைக்கடத்தி லித்தோகிராபி, வேஃபர் ஆய்வு மற்றும் அல்ட்ரா-துல்லிய இயந்திரமயமாக்கலில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) குறுக்கு-விட்டங்கள்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) குறுக்கு-கற்றைகள் குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் உயர்நிலை தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மைய இயக்கக் கூறுகளாகும், முதன்மையாக வேஃபர் நிலைகளை எடுத்துச் சென்று அதிவேக, அதி-துல்லிய இயக்கத்திற்கான குறிப்பிட்ட பாதைகளில் அவற்றை வழிநடத்துகின்றன. உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் (விருப்பங்களில் கோர்சிக்® SP அல்லது மார்வெல் சிக் தொடர் அடங்கும்) மற்றும் இலகுரக கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைப் பயன்படுத்தி, அவை அதிக விறைப்புத்தன்மையுடன் (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa) மிக இலகுவான எடையை அடைகின்றன, மேலும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் (≈4.5×10⁻⁶/℃) மற்றும் அதிக அடர்த்தி (போரோசிட்டி <0.1%) ஆகியவற்றுடன், வெப்ப மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களின் கீழ் நானோமெட்ரிக் நிலைத்தன்மையை (தட்டையானது/இணையானது ≤1μm) உறுதி செய்கிறது. அவற்றின் ஒருங்கிணைந்த பண்புகள் அதிவேக மற்றும் அதிவேக முடுக்கம் செயல்பாடுகளை (எ.கா., 1m/s, 4G) ஆதரிக்கின்றன, அவை லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகள் மற்றும் துல்லியமான உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன, இயக்க துல்லியம் மற்றும் டைனமிக் மறுமொழி செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இயக்கக் கூறுகள்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இயக்கக் கூறுகள் உயர்-துல்லியமான குறைக்கடத்தி இயக்க அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட முக்கியமான பாகங்களாகும், அவை அதிக அடர்த்தி கொண்ட SiC பொருட்களைப் பயன்படுத்தி (எ.கா., கோர்சிக்® SP அல்லது மார்வெல் சிக் தொடர், போரோசிட்டி <0.1%) மற்றும் இலகுரக கட்டமைப்பு வடிவமைப்பைப் பயன்படுத்தி அதிக விறைப்புத்தன்மையுடன் (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa) மிக-இலகுரக எடையை அடைகின்றன. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் (≈4.5×10⁻⁶/℃) உடன், அவை வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் நானோமெட்ரிக் நிலைத்தன்மையை (தட்டையானது/இணையானது ≤1μm) உறுதி செய்கின்றன. இந்த ஒருங்கிணைந்த பண்புகள் அதிவேக மற்றும் உயர்-முடுக்கம் செயல்பாடுகளை ஆதரிக்கின்றன (எ.கா., 1மீ/வி, 4G), அவை லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள், வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகள் மற்றும் துல்லியமான உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன, இயக்க துல்லியம் மற்றும் டைனமிக் பதில் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆப்டிகல் பாதைத் தகடு
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆப்டிகல் பாத் பிளேட் என்பது வேஃபர் ஆய்வு உபகரணங்களில் இரட்டை-ஆப்டிகல்-பாதை அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு மைய அடிப்படை தளமாகும். உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கானால் தயாரிக்கப்பட்ட இது, இலகுரக கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு மூலம் மிக இலகுரக (அடர்த்தி ≈3.1 கிராம்/செமீ³) மற்றும் அதிக விறைப்புத்தன்மை (மீள் மாடுலஸ் >400 GPa) ஆகியவற்றை அடைகிறது, அதே நேரத்தில் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் (≈4.5×10⁻⁶/℃) மற்றும் அதிக அடர்த்தி (போரோசிட்டி <0.1%) ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, வெப்ப மற்றும் இயந்திர ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் நானோமெட்ரிக் நிலைத்தன்மையை (தட்டையானது/இணையானது ≤0.02mm) உறுதி செய்கிறது. அதன் பெரிய அதிகபட்ச அளவு (900×900mm) மற்றும் விதிவிலக்கான விரிவான செயல்திறனுடன், இது ஆப்டிகல் அமைப்புகளுக்கான நீண்ட கால நிலையான மவுண்டிங் அடிப்படையை வழங்குகிறது, ஆய்வு துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. இது குறைக்கடத்தி அளவியல், ஒளியியல் சீரமைப்பு மற்றும் உயர் துல்லிய இமேஜிங் அமைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கிராஃபைட் + டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்
கிராஃபைட் + டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒற்றை படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இதன் முக்கிய செயல்பாடு, உயர் வெப்பநிலை வாயு ஓட்டத்தை துல்லியமாக இயக்குவதாகும், இது எதிர்வினை அறைக்குள் வெப்பநிலை மற்றும் ஓட்ட புலங்களின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. CVD-டெபாசிட் செய்யப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு (TaC) அடுக்குடன் (பூச்சு அசுத்த உள்ளடக்கம் <5 ppm) பூசப்பட்ட உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறிலிருந்து (தூய்மை >99.99%) தயாரிக்கப்படுகிறது, இது விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் (≈120 W/m·K) மற்றும் தீவிர வெப்பநிலையின் கீழ் (2200°C வரை தாங்கும்) வேதியியல் மந்தநிலையை வெளிப்படுத்துகிறது, சிலிக்கான் நீராவி அரிப்பைத் திறம்படத் தடுக்கிறது மற்றும் அசுத்த பரவலை அடக்குகிறது. பூச்சுகளின் உயர் சீரான தன்மை (விலகல் <3%, முழு-பகுதி கவரேஜ்) நிலையான வாயு வழிகாட்டுதலையும் நீண்ட கால சேவை நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது, SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் தரம் மற்றும் மகசூலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) உலை குழாய் சுருக்கம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செங்குத்து உலை குழாய்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செங்குத்து உலை குழாய் என்பது உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், முதன்மையாக காற்று வளிமண்டலத்தின் கீழ் உலைக்குள் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்வதற்கான வெளிப்புற பாதுகாப்பு குழாயாக செயல்படுகிறது, வழக்கமான இயக்க வெப்பநிலை சுமார் 1200°C ஆகும். 3D பிரிண்டிங் ஒருங்கிணைந்த உருவாக்கும் தொழில்நுட்பம் மூலம் தயாரிக்கப்படும் இது, அடிப்படை பொருள் அசுத்த உள்ளடக்கம் <300 ppm ஐக் கொண்டுள்ளது, மேலும் விருப்பமாக CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (பூச்சு அசுத்தங்கள் <5 ppm) உடன் பொருத்தப்படலாம். அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (≈20 W/m·K) மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மை (வெப்ப சாய்வுகளுக்கு>800°C ஐ எதிர்க்கும்) ஆகியவற்றை இணைத்து, குறைக்கடத்தி வெப்ப சிகிச்சை, ஒளிமின்னழுத்த பொருள் சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான பீங்கான் உற்பத்தி போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் உபகரணங்களின் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கிடைமட்ட உலை குழாய்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கிடைமட்ட உலை குழாய் என்பது உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது ஆக்ஸிஜன் (எதிர்வினை வாயு), நைட்ரஜன் (பாதுகாப்பு வாயு) மற்றும் டிரேஸ் ஹைட்ரஜன் குளோரைடு ஆகியவற்றைக் கொண்ட வளிமண்டலங்களில் இயங்கும் ஒரு செயல்முறை குழாயாக செயல்படுகிறது, இது வழக்கமான இயக்க வெப்பநிலை சுமார் 1250°C ஆகும். 3D பிரிண்டிங் ஒருங்கிணைந்த உருவாக்கும் தொழில்நுட்பம் மூலம் தயாரிக்கப்படும் இது, அடிப்படை பொருள் அசுத்த உள்ளடக்கம் <300 ppm ஐக் கொண்டுள்ளது, மேலும் விருப்பமாக CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (பூச்சு அசுத்தங்கள் <5 ppm) உடன் பொருத்தப்படலாம். அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (≈20 W/m·K) மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப அதிர்ச்சி நிலைத்தன்மை (வெப்ப சாய்வுகளுக்கு> 800°C ஐ எதிர்க்கும்) ஆகியவற்றை இணைத்து, ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் மெல்லிய-படல படிவு போன்ற குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளை கோருவதற்கு இது சிறந்தது, கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு, வளிமண்டல தூய்மை மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட கால வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
SiC பீங்கான் ஃபோர்க் ஆயுதங்கள் அறிமுகம்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தியில், SiC பீங்கான் போர்க் ஆர்ம்கள் முதன்மையாக வேஃபர்களை மாற்றுவதற்கும் நிலைநிறுத்துவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவை பொதுவாகக் காணப்படுகின்றன:
- வேஃபர் செயலாக்க உபகரணங்கள்: வேஃபர் கேசட்டுகள் மற்றும் செயல்முறை படகுகள் போன்றவை, அவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில் நிலையாக இயங்குகின்றன.
- லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள்: நிலைகள், வழிகாட்டிகள் மற்றும் ரோபோ கைகள் போன்ற துல்லியமான கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அவற்றின் அதிக விறைப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப சிதைவு நானோமீட்டர் அளவிலான இயக்க துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.
- பொறித்தல் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகள்: குறைக்கடத்தி பரவல் செயல்முறைகளுக்கான ICP பொறித்தல் தட்டுகளாகவும் கூறுகளாகவும் செயல்படுவதால், அவற்றின் உயர் தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு செயல்முறை அறைகளில் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது.
தொழில்துறை ஆட்டோமேஷன் மற்றும் ரோபாட்டிக்ஸ்
உயர் செயல்திறன் கொண்ட தொழில்துறை ரோபோக்கள் மற்றும் தானியங்கி உபகரணங்களில் SiC பீங்கான் போர்க் ஆயுதங்கள் முக்கியமான கூறுகளாகும்:
- ரோபோடிக் எண்ட் எஃபெக்டர்கள்: கையாளுதல், அசெம்பிளி மற்றும் துல்லியமான செயல்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் இலகுரக பண்புகள் (அடர்த்தி ~3.21 கிராம்/செ.மீ³) ரோபோ வேகம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன, அதே நேரத்தில் அவற்றின் அதிக கடினத்தன்மை (விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை ~2500) விதிவிலக்கான உடைகள் எதிர்ப்பை உறுதி செய்கிறது.
- தானியங்கி உற்பத்தி வரிசைகள்: அதிக அதிர்வெண், அதிக துல்லிய கையாளுதல் தேவைப்படும் சூழ்நிலைகளில் (எ.கா., மின் வணிகக் கிடங்குகள், தொழிற்சாலை சேமிப்பு), SiC ஃபோர்க் ஆயுதங்கள் நீண்டகால நிலையான செயல்திறனை உத்தரவாதம் செய்கின்றன.
விண்வெளி மற்றும் புதிய ஆற்றல்
தீவிர சூழல்களில், SiC பீங்கான் போர்க் கைகள் அவற்றின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன:
- விண்வெளி: விண்கலம் மற்றும் ட்ரோன்களின் முக்கியமான கூறுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அவற்றின் இலகுரக மற்றும் அதிக வலிமை பண்புகள் எடையைக் குறைத்து செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகின்றன.
- புதிய ஆற்றல்: ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிலுக்கான உற்பத்தி உபகரணங்களில் (எ.கா., பரவல் உலைகள்) மற்றும் லித்தியம்-அயன் பேட்டரி உற்பத்தியில் துல்லியமான கட்டமைப்பு கூறுகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை செயலாக்கம்
SiC பீங்கான் முட்கரண்டி கைகள் 1600°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இதனால் அவை பின்வருவனவற்றிற்கு ஏற்றதாக அமைகின்றன:
- உலோகவியல், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் கண்ணாடித் தொழில்கள்: உயர் வெப்பநிலை கையாளிகள், செட்டர் தகடுகள் மற்றும் புஷ் தகடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
- அணுசக்தி: அவற்றின் கதிர்வீச்சு எதிர்ப்பு காரணமாக, அவை அணு உலைகளில் உள்ள சில கூறுகளுக்கு ஏற்றவை.
மருத்துவ உபகரணங்கள்
மருத்துவத் துறையில், SiC பீங்கான் முட்கரண்டி ஆயுதங்கள் முதன்மையாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:
- மருத்துவ ரோபோக்கள் மற்றும் அறுவை சிகிச்சை கருவிகள்: அவற்றின் உயிர் இணக்கத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் கருத்தடை சூழல்களில் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றிற்காக மதிப்பிடப்படுகின்றன.
SiC பூச்சு கண்ணோட்டம்
| வழக்கமான பண்புகள் | அலகுகள் | மதிப்புகள் |
| அமைப்பு |
| FCC β கட்டம் |
| நோக்குநிலை | பின்னம் (%) | 111 பேர் விரும்பப்படுகிறார்கள் |
| மொத்த அடர்த்தி | கிராம்/செ.மீ³ | 3.21 (ஆங்கிலம்) |
| கடினத்தன்மை | விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை | 2500 ரூபாய் |
| வெப்ப கொள்ளளவு | ஜே·கிகி-1 ·கே-1 | 640 தமிழ் |
| வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) | 10-6 கே-1 | 4.5 अंगिराला |
| யங்கின் மாடுலஸ் | Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) | 430 (ஆங்கிலம்) |
| தானிய அளவு | μமீ | 2~10 |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | ℃ (எண்) | 2700 समानींग |
| ஃபெலெக்சுரல் வலிமை | MPa (RT 4-புள்ளி) | 415 अनिका 415 |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | (அமெரிக்க/மெகாவாட்) | 300 மீ |
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கட்டமைப்பு பாகங்கள் கண்ணோட்டம்
சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கட்டமைப்பு கூறுகள், சின்டரிங் மூலம் ஒன்றாக பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு துகள்களிலிருந்து பெறப்படுகின்றன. அவை வாகனம், இயந்திரங்கள், வேதியியல், குறைக்கடத்தி, விண்வெளி தொழில்நுட்பம், நுண் மின்னணுவியல் மற்றும் ஆற்றல் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இந்தத் தொழில்களுக்குள் பல்வேறு பயன்பாடுகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் விதிவிலக்கான பண்புகள் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கட்டமைப்பு கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், அரிப்பு மற்றும் தேய்மானம் உள்ளிட்ட கடுமையான நிலைமைகளுக்கு ஒரு சிறந்த பொருளாக மாறியுள்ளன, சவாலான இயக்க சூழல்களில் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகின்றன.SiC சீல் பாகங்கள் கண்ணோட்டம்
SiC முத்திரைகள் அவற்றின் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, தேய்மான எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு (1600°C அல்லது 2000°C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும்) மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு காரணமாக கடுமையான சூழல்களுக்கு (அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம், அரிக்கும் ஊடகம் மற்றும் அதிவேக தேய்மானம் போன்றவை) ஒரு சிறந்த தேர்வாகும். அவற்றின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் திறமையான வெப்பச் சிதறலை எளிதாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் அவற்றின் குறைந்த உராய்வு குணகம் மற்றும் சுய-மசகு பண்புகள் தீவிர இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் சீல் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை மேலும் உறுதி செய்கின்றன. இந்த பண்புகள் SiC முத்திரைகளை பெட்ரோ கெமிக்கல்ஸ், சுரங்கம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, கழிவுநீர் சுத்திகரிப்பு மற்றும் ஆற்றல் போன்ற தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்துகின்றன, பராமரிப்பு செலவுகளைக் கணிசமாகக் குறைக்கின்றன, செயலற்ற நேரத்தைக் குறைக்கின்றன மற்றும் உபகரணங்களின் செயல்பாட்டுத் திறன் மற்றும் பாதுகாப்பை மேம்படுத்துகின்றன.
SiC பீங்கான் தட்டுகள் சுருக்கம்
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பீங்கான் தகடுகள் அவற்றின் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை (9.5 வரை மோஸ் கடினத்தன்மை, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக), சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (திறமையான வெப்ப மேலாண்மைக்காக பெரும்பாலான மட்பாண்டங்களை விட மிக அதிகம்) மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன மந்தநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு (வலுவான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்கும்) ஆகியவற்றிற்குப் பெயர் பெற்றவை. இந்த பண்புகள் தீவிர சூழல்களில் (எ.கா., அதிக வெப்பநிலை, சிராய்ப்பு மற்றும் அரிப்பு) கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கின்றன, அதே நேரத்தில் சேவை ஆயுளை நீட்டித்து பராமரிப்பு தேவைகளைக் குறைக்கின்றன.
SiC பீங்கான் தகடுகள் உயர் செயல்திறன் துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:
•சிராய்ப்புகள் மற்றும் அரைக்கும் கருவிகள்: அரைக்கும் சக்கரங்கள் மற்றும் மெருகூட்டல் கருவிகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மையைப் பயன்படுத்துதல், சிராய்ப்பு சூழல்களில் துல்லியம் மற்றும் நீடித்துழைப்பை மேம்படுத்துதல்.
•பயனற்ற பொருட்கள்: உலை லைனிங் மற்றும் சூளை கூறுகளாக சேவை செய்தல், வெப்ப செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைக்கவும் 1600°C க்கு மேல் நிலைத்தன்மையைப் பராமரித்தல்.
• குறைக்கடத்தி தொழில்: உயர்-சக்தி மின்னணு சாதனங்களுக்கு (எ.கா., பவர் டையோட்கள் மற்றும் RF பெருக்கிகள்) அடி மூலக்கூறுகளாகச் செயல்படுதல், நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆற்றல் செயல்திறனை அதிகரிக்க உயர்-மின்னழுத்தம் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை செயல்பாடுகளை ஆதரித்தல்.
• வார்ப்பு மற்றும் உருக்குதல்: திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் மற்றும் வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பை உறுதி செய்வதற்காக உலோக செயலாக்கத்தில் பாரம்பரிய பொருட்களை மாற்றுதல், உலோகவியல் தரம் மற்றும் செலவு-செயல்திறனை மேம்படுத்துதல்.
SiC வேஃபர் படகு சுருக்கம்
XKH SiC பீங்கான் படகுகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் பொருளாதார செயல்திறனை வழங்குகின்றன, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு உயர் செயல்திறன் கொண்ட கேரியர் தீர்வை வழங்குகின்றன. அவை வேஃபர் கையாளுதல் பாதுகாப்பு, தூய்மை மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன, மேலும் மேம்பட்ட வேஃபர் உற்பத்தியில் அவற்றை இன்றியமையாத கூறுகளாக ஆக்குகின்றன.
SiC பீங்கான் படகுகள் பயன்பாடுகள்:
SiC பீங்கான் படகுகள் முன்-முனை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:
• படிவு செயல்முறைகள்: LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) மற்றும் PECVD (பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு) போன்றவை.
•அதிக வெப்பநிலை சிகிச்சைகள்: வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், அனீலிங், பரவல் மற்றும் அயனி பொருத்துதல் உட்பட.
•ஈரமான மற்றும் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகள்: வேஃபர் சுத்தம் செய்தல் மற்றும் ரசாயன கையாளுதல் நிலைகள்.
வளிமண்டல மற்றும் வெற்றிட செயல்முறை சூழல்களுடன் இணக்கமானது,
மாசுபாட்டின் அபாயங்களைக் குறைத்து உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்த விரும்பும் ஃபேப்களுக்கு அவை சிறந்தவை.
SiC வேஃபர் படகின் அளவுருக்கள்:
| தொழில்நுட்ப பண்புகள் | ||||
| குறியீட்டு | அலகு | மதிப்பு | ||
| பொருள் பெயர் | வினை சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு | அழுத்தமற்ற சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு | மறுபடிகமாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு | |
| கலவை | ஆர்.பி.எஸ்.ஐ.சி. | எஸ்எஸ்ஐசி | ஆர்-சிஐசி | |
| மொத்த அடர்த்தி | கிராம்/செ.மீ3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| நெகிழ்வு வலிமை | MPa (kpsi) | 338(49) க்கு 10 | 380(55) க்கு மேல் | 80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
| அமுக்க வலிமை | MPa (kpsi) | 1120(158) க்கு மேல் | 3970(560) க்கு வாங்கவும் | > 600 |
| கடினத்தன்மை | நூப் | 2700 समानींग | 2800 மீ | / |
| விடாமுயற்சியை உடைத்தல் | MPa மீ1/2 | 4.5 अंगिराला | 4 | / |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | மேற்கு | 95 | 120 (அ) | 23 |
| வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 10-6.1/°C | 5 | 4 | 4.7 தமிழ் |
| குறிப்பிட்ட வெப்பம் | ஜூல்/கிராம் 0 கி | 0.8 மகரந்தச் சேர்க்கை | 0.67 (0.67) | / |
| காற்றில் அதிகபட்ச வெப்பநிலை | ℃ (எண்) | 1200 மீ | 1500 மீ | 1600 தமிழ் |
| மீள் தன்மை மாடுலஸ் | ஜிபிஏ | 360 360 தமிழ் | 410 410 தமிழ் | 240 समानी 240 தமிழ் |
SiC செராமிக்ஸ் பல்வேறு தனிப்பயன் கூறுகள் காட்சி
SiC பீங்கான் சவ்வு
SiC பீங்கான் சவ்வு என்பது தூய சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு மேம்பட்ட வடிகட்டுதல் தீர்வாகும், இது உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் செயல்முறைகள் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு வலுவான மூன்று-அடுக்கு அமைப்பை (ஆதரவு அடுக்கு, மாற்ற அடுக்கு மற்றும் பிரிப்பு சவ்வு) கொண்டுள்ளது. இந்த வடிவமைப்பு விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமை, துல்லியமான துளை அளவு விநியோகம் மற்றும் சிறந்த நீடித்துழைப்பை உறுதி செய்கிறது. திரவங்களை திறம்பட பிரித்தல், குவித்தல் மற்றும் சுத்திகரித்தல் மூலம் இது பல்வேறு தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் சிறந்து விளங்குகிறது. முக்கிய பயன்பாடுகளில் நீர் மற்றும் கழிவு நீர் சுத்திகரிப்பு (இடைநீக்கம் செய்யப்பட்ட திடப்பொருட்கள், பாக்டீரியா மற்றும் கரிம மாசுபடுத்திகளை அகற்றுதல்), உணவு மற்றும் பான செயலாக்கம் (சாறுகள், பால் மற்றும் புளித்த திரவங்களை தெளிவுபடுத்துதல் மற்றும் குவித்தல்), மருந்து மற்றும் உயிரி தொழில்நுட்ப செயல்பாடுகள் (உயிர் திரவங்கள் மற்றும் இடைநிலைகளை சுத்திகரித்தல்), வேதியியல் செயலாக்கம் (அரிக்கும் திரவங்கள் மற்றும் வினையூக்கிகளை வடிகட்டுதல்), மற்றும் எண்ணெய் மற்றும் எரிவாயு பயன்பாடுகள் (உற்பத்தி செய்யப்பட்ட நீர் மற்றும் மாசுபாட்டை அகற்றுதல்) ஆகியவை அடங்கும்.
SiC பைப்புகள்
SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) குழாய்கள், குறைக்கடத்தி உலை அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் கூறுகள் ஆகும், இவை மேம்பட்ட சின்டரிங் நுட்பங்கள் மூலம் உயர்-தூய்மை நுண்ணிய-துகள் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன. அவை விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (1600°C க்கு மேல் தாங்கும்) மற்றும் வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் காட்டுகின்றன. அவற்றின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் உயர் இயந்திர வலிமை தீவிர வெப்ப சுழற்சியின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன, வெப்ப அழுத்த சிதைவு மற்றும் தேய்மானத்தை திறம்பட குறைக்கின்றன. SiC குழாய்கள் பரவல் உலைகள், ஆக்ஸிஜனேற்ற உலைகள் மற்றும் LPCVD/PECVD அமைப்புகளுக்கு ஏற்றவை, சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் நிலையான செயல்முறை நிலைமைகளை வேஃபர் குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் மெல்லிய-படல படிவு ஒருமைப்பாட்டை மேம்படுத்தவும் உதவுகின்றன. கூடுதலாக, SiC இன் அடர்த்தியான, நுண்துளைகள் இல்லாத அமைப்பு மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆக்ஸிஜன், ஹைட்ரஜன் மற்றும் அம்மோனியா போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கின்றன, சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கின்றன மற்றும் செயல்முறை தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன. SiC குழாய்களை அளவு மற்றும் சுவர் தடிமனில் தனிப்பயனாக்கலாம், துல்லியமான இயந்திரமயமாக்கல் மென்மையான உள் மேற்பரப்புகள் மற்றும் லேமினார் ஓட்டம் மற்றும் சீரான வெப்ப சுயவிவரங்களை ஆதரிக்க அதிக செறிவு ஆகியவற்றை அடைகிறது. மேற்பரப்பு மெருகூட்டல் அல்லது பூச்சு விருப்பங்கள் துகள் உற்பத்தியை மேலும் குறைத்து அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகின்றன, துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
SiC பீங்கான் கான்டிலீவர் துடுப்பு
SiC கான்டிலீவர் பிளேடுகளின் ஒற்றைக்கல் வடிவமைப்பு, கலப்புப் பொருட்களில் பொதுவான மூட்டுகள் மற்றும் பலவீனமான புள்ளிகளை நீக்கும் அதே வேளையில், இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. அவற்றின் மேற்பரப்பு கண்ணாடிக்கு அருகில் பூச்சுக்கு துல்லியமாக மெருகூட்டப்பட்டுள்ளது, துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது மற்றும் சுத்தமான அறை தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்கிறது. SiC இன் உள்ளார்ந்த வேதியியல் மந்தநிலை, எதிர்வினை சூழல்களில் (எ.கா., ஆக்ஸிஜன், நீராவி) வாயு வெளியேற்றம், அரிப்பு மற்றும் செயல்முறை மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது, பரவல்/ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகளில் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. விரைவான வெப்ப சுழற்சி இருந்தபோதிலும், SiC கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் பராமரிப்பு செயலிழப்பு நேரத்தைக் குறைக்கிறது. SiC இன் இலகுரக தன்மை வேகமான வெப்ப பதிலை செயல்படுத்துகிறது, வெப்பமாக்கல்/குளிரூட்டும் விகிதங்களை துரிதப்படுத்துகிறது மற்றும் உற்பத்தித்திறன் மற்றும் ஆற்றல் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. இந்த பிளேடுகள் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய அளவுகளில் (100mm முதல் 300mm+ வேஃபர்களுடன் இணக்கமானது) கிடைக்கின்றன மற்றும் பல்வேறு உலை வடிவமைப்புகளுக்கு ஏற்ப மாற்றியமைக்கப்படுகின்றன, முன்-இறுதி மற்றும் பின்-இறுதி குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் நிலையான செயல்திறனை வழங்குகின்றன.
அலுமினா வெற்றிட சக் அறிமுகம்
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் Al₂O₃ வெற்றிட சக்குகள் முக்கியமான கருவிகளாகும், அவை பல செயல்முறைகளில் நிலையான மற்றும் துல்லியமான ஆதரவை வழங்குகின்றன:•மெல்லியதாக்குதல்: வேஃபர் மெலிதலின் போது சீரான ஆதரவை வழங்குகிறது, சிப் வெப்பச் சிதறல் மற்றும் சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்த உயர் துல்லியமான அடி மூலக்கூறு குறைப்பை உறுதி செய்கிறது.
•டைசிங்: வேஃபர் டைசிங்கின் போது பாதுகாப்பான உறிஞ்சுதலை வழங்குகிறது, சேத அபாயங்களைக் குறைக்கிறது மற்றும் தனிப்பட்ட சில்லுகளுக்கு சுத்தமான வெட்டுக்களை உறுதி செய்கிறது.
•சுத்தம் செய்தல்: அதன் மென்மையான, சீரான உறிஞ்சுதல் மேற்பரப்பு, சுத்தம் செய்யும் செயல்முறைகளின் போது செதில்களை சேதப்படுத்தாமல் மாசுபாட்டை திறம்பட அகற்ற உதவுகிறது.
•போக்குவரத்து: வேஃபர் கையாளுதல் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது நம்பகமான மற்றும் பாதுகாப்பான ஆதரவை வழங்குகிறது, சேதம் மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது.
1. சீரான மைக்ரோ-போரஸ் பீங்கான் தொழில்நுட்பம்
•சமமாக விநியோகிக்கப்பட்ட மற்றும் ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட துளைகளை உருவாக்க நானோ-பொடிகளைப் பயன்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக அதிக போரோசிட்டி மற்றும் சீரான மற்றும் நம்பகமான வேஃபர் ஆதரவுக்கான சீரான அடர்த்தியான அமைப்பு ஏற்படுகிறது.
2. விதிவிலக்கான பொருள் பண்புகள்
-மிகவும் தூய்மையான 99.99% அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்பட்ட இது, பின்வருவனவற்றை வெளிப்படுத்துகிறது:
•வெப்ப பண்புகள்: அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி சூழல்களுக்கு ஏற்றது.
•இயந்திர பண்புகள்: அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை ஆயுள், உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது.
•கூடுதல் நன்மைகள்: உயர் மின் காப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, பல்வேறு உற்பத்தி நிலைமைகளுக்கு ஏற்ப மாற்றக்கூடியது.
3. உயர்ந்த தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மை•அதிக தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மையுடன் துல்லியமான மற்றும் நிலையான வேஃபர் கையாளுதலை உறுதிசெய்கிறது, சேத அபாயங்களைக் குறைக்கிறது மற்றும் நிலையான செயலாக்க முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது. இதன் நல்ல காற்று ஊடுருவல் மற்றும் சீரான உறிஞ்சுதல் சக்தி செயல்பாட்டு நம்பகத்தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.
Al₂O₃ வெற்றிட சக் மேம்பட்ட மைக்ரோ-போரஸ் தொழில்நுட்பம், விதிவிலக்கான பொருள் பண்புகள் மற்றும் உயர் துல்லியம் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து, முக்கியமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது, மெலிதல், பகடை வெட்டுதல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் போக்குவரத்து நிலைகளில் செயல்திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
அலுமினா ரோபோ ஆர்ம் & அலுமினா செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் சுருக்கம்
அலுமினா (Al₂O₃) பீங்கான் ரோபோ ஆயுதங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேஃபர் கையாளுதலுக்கு முக்கியமான கூறுகளாகும். அவை வேஃபர்களை நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்கின்றன மற்றும் வெற்றிடம் அல்லது அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகள் போன்ற தேவைப்படும் சூழல்களில் துல்லியமான பரிமாற்றம் மற்றும் நிலைப்படுத்தலுக்கு பொறுப்பாகும். அவற்றின் முக்கிய மதிப்பு வேஃபர் பாதுகாப்பை உறுதி செய்தல், மாசுபாட்டைத் தடுப்பது மற்றும் விதிவிலக்கான பொருள் பண்புகள் மூலம் உபகரணங்களின் செயல்பாட்டு திறன் மற்றும் மகசூலை மேம்படுத்துவதில் உள்ளது.
| அம்ச பரிமாணம் | விரிவான விளக்கம் |
| இயந்திர பண்புகள் | அதிக தூய்மை கொண்ட அலுமினா (எ.கா. >99%) அதிக கடினத்தன்மை (மோஸ் கடினத்தன்மை 9 வரை) மற்றும் நெகிழ்வு வலிமை (250-500 MPa வரை) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் சிதைவைத் தவிர்ப்பதை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.
|
| மின் காப்பு | 10¹⁵ Ω·cm வரை அறை வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் 15 kV/mm காப்பு வலிமை மின்னியல் வெளியேற்றத்தை (ESD) திறம்பட தடுக்கிறது, மின் குறுக்கீடு மற்றும் சேதத்திலிருந்து உணர்திறன் கொண்ட வேஃபர்களைப் பாதுகாக்கிறது.
|
| வெப்ப நிலைத்தன்மை | 2050°C வரை உருகும் புள்ளி, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளை (எ.கா., RTA, CVD) தாங்க உதவுகிறது. குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் வார்ப்பிங்கைக் குறைக்கிறது மற்றும் வெப்பத்தின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.
|
| வேதியியல் மந்தநிலை | பெரும்பாலான அமிலங்கள், காரங்கள், செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் துப்புரவு முகவர்களுக்கு மந்தமானது, துகள் மாசுபாடு அல்லது உலோக அயனி வெளியீட்டைத் தடுக்கிறது. இது மிகவும் சுத்தமான உற்பத்தி சூழலை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வேஃபர் மேற்பரப்பு மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கிறது.
|
| பிற நன்மைகள் | முதிர்ந்த செயலாக்க தொழில்நுட்பம் அதிக செலவு-செயல்திறனை வழங்குகிறது; மேற்பரப்புகளை குறைந்த கடினத்தன்மைக்கு துல்லியமாக மெருகூட்டலாம், இதனால் துகள்கள் உருவாகும் அபாயங்கள் மேலும் குறையும்.
|
அலுமினா பீங்கான் ரோபோடிக் ஆயுதங்கள் முதன்மையாக முன்-இறுதி குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:
• வேஃபர் கையாளுதல் மற்றும் நிலைப்படுத்துதல்: வெற்றிடம் அல்லது உயர் தூய்மை மந்த வாயு சூழல்களில் வேஃபர்களை (எ.கா., 100 மிமீ முதல் 300 மிமீ+ அளவுகள்) பாதுகாப்பாகவும் துல்லியமாகவும் மாற்றுதல் மற்றும் நிலைநிறுத்துதல், சேதம் மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயங்களைக் குறைத்தல்.
•உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகள்: விரைவான வெப்ப அனீலிங் (RTA), வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்றவை, அங்கு அவை அதிக வெப்பநிலையின் கீழ் நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கின்றன, செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் மகசூலை உறுதி செய்கின்றன.
• தானியங்கி வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகள்: உபகரணங்களுக்கு இடையில் வேஃபர் பரிமாற்றத்தை தானியக்கமாக்குவதற்கும், உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் இறுதி விளைவுகளாக வேஃபர் கையாளுதல் ரோபோக்களுடன் ஒருங்கிணைக்கப்பட்டுள்ளது.
முடிவுரை
XKH, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் அலுமினா (Al₂O₃) பீங்கான் கூறுகளின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்தியில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இதில் ரோபோடிக் ஆயுதங்கள், கான்டிலீவர் துடுப்புகள், வெற்றிட சக்குகள், வேஃபர் படகுகள், உலை குழாய்கள் மற்றும் பிற உயர் செயல்திறன் பாகங்கள், குறைக்கடத்திகளுக்கு சேவை செய்தல், புதிய ஆற்றல், விண்வெளி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்கள் ஆகியவை அடங்கும். விதிவிலக்கான உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இயந்திர வலிமை, வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் பரிமாண துல்லியத்தை உறுதி செய்வதற்காக, துல்லியமான உற்பத்தி, கடுமையான தரக் கட்டுப்பாடு மற்றும் தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்புகளை நாங்கள் கடைபிடிக்கிறோம், மேம்பட்ட சின்டரிங் செயல்முறைகளை (எ.கா., அழுத்தமற்ற சின்டரிங், எதிர்வினை சின்டரிங்) மற்றும் துல்லியமான இயந்திர நுட்பங்களை (எ.கா., CNC அரைத்தல், மெருகூட்டல்) பயன்படுத்துகிறோம். வரைபடங்களின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கத்தை நாங்கள் ஆதரிக்கிறோம், குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரிமாணங்கள், வடிவங்கள், மேற்பரப்பு பூச்சுகள் மற்றும் பொருள் தரங்களுக்கு ஏற்றவாறு தீர்வுகளை வழங்குகிறோம். உலகளாவிய உயர்நிலை உற்பத்திக்கான நம்பகமான மற்றும் திறமையான பீங்கான் கூறுகளை வழங்கவும், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உபகரண செயல்திறன் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம்.
தொடர்புடைய தயாரிப்புகள்
-
Dia3mm SiC பீங்கான் பந்து சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்...
-
சிலிக்கான் கார்பைடு பிரிசம் / அகச்சிவப்பு விருப்பத்திற்கான கண்ணாடி...
-
சிலிக்கான் கார்பைடு பீம் சிலிக்கான் கார்பைடு பீம் ரீடெஃப்...
-
அலுமினா பீங்கான் கை தனிப்பயன் பீங்கான் ரோபோ கை
-
பாலிகிரிஸ்டலின் Al2O3 அலுமினா மட்பாண்டங்கள் தனிப்பயனாக்க...
-
SiC பீங்கான் சக் தட்டு பீங்கான் உறிஞ்சும் கோப்பைகள் முன்...